公开(公告)号：WO2022191054A1

公开(公告)日：2022-09-15

申请号：PCT/JP2022/009315

申请日：2022-03-04

Applicant: 株式会社ノリタケカンパニーリミテド

Inventor： 長江　省吾 ,  高田　重治 ,  村橋　大輔

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/032 ,  H01B1/22 ,  H05K1/03

Abstract: 電子材料を生産性高く得ることができる技術が提供される。ここで開示される感光性組成物は、導電性粉末と、光重合性化合物と、セラミック微粒子と、を含む。上記セラミック微粒子の平均粒子径は、３０ｎｍである。

公开(公告)号：WO2022190922A1

公开(公告)日：2022-09-15

申请号：PCT/JP2022/008175

申请日：2022-02-28

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 山口　修平 ,  三好　太朗

IPC: C08F216/14 ,  C08F220/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20

Abstract: 【課題】　得られるパターンのＬＷＲが優れる、感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、および、電子デバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】　酸の作用により分解して極性基を生じる基を有する樹脂を含む、感活性光線性または感放射線性樹脂組成物であって、樹脂が一般式（Ａ２）で表される繰り返し単位を含み、要件１および要件２の少なくとも一方を満たす、感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 要件１：感活性光線性または感放射線性樹脂組成物が、一般式（１）で表される塩を含む。 要件２：樹脂が一般式（１）で表される塩から水素原子を１つ除いて形成される残基を有する。

公开(公告)号：WO2022190599A1

公开(公告)日：2022-09-15

申请号：PCT/JP2022/000063

申请日：2022-01-05

Applicant: ＪＳＲ株式会社

Inventor： 丸山　研

IPC: C07C59/115 ,  C07C61/29 ,  C07C381/12 ,  C07J9/00 ,  C08F220/28 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20

Abstract: 次世代技術を適用した場合にも、感度やＣＤＵ性能、現像残渣抑制性を十分なレベルで有するレジスト膜を形成可能な感放射線性樹脂組成物及びパターン形成方法を提供する。下記式（１）で表される構造単位を含む樹脂と、有機酸アニオン部分とオニウムカチオン部分とを含む一種又は二種以上のオニウム塩と、溶剤とを含有し、上記オニウム塩における少なくとも一部の上記オニウムカチオン部分がフッ素原子を有する芳香環構造を含む感放射線性樹脂組成物。（上記式（１）において、Ｒは水素原子、炭素数１～５のアルキル基又は炭素数１～５のハロゲン化アルキル基であり、Ｙ１は２価の連結基であり、Ｘ１は酸解離性基である。）

公开(公告)号：WO2022182168A1

公开(公告)日：2022-09-01

申请号：PCT/KR2022/002719

申请日：2022-02-24

Applicant: 코오롱인더스트리 주식회사

Inventor： 석상훈

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/032 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  C08F2/50 ,  C08F220/30 ,  H05K3/12

Abstract: 본 발명은, 지지 기재; 및 프탈레이트 유도체를 포함하는 광중합성 화합물과 알칼리 현상성 바인더 수지를 포함하는 감광성 수지층;을 포함하고, 상기 감광성 수지층 내에 1㎛ 미만의 직경을 갖는 기포가 5개/mm2 이하로 존재하는 감광성 적층체와 상기 감광성 적층체의 제조 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：WO2022181611A1

公开(公告)日：2022-09-01

申请号：PCT/JP2022/007244

申请日：2022-02-22

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 松田　知樹 ,  石坂　壮二 ,  有岡　大輔

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/11 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06

Abstract: 本発明の課題は、形状性に優れる導体パターンを有する積層体を作製できる、導体パターンを有する積層体の製造方法を提供することである。　本発明の導体パターンを有する積層体の製造方法は、　仮支持体と、中間層と、感光性層とをこの順で有する転写フィルムを、上記感光性層側が、表面に金属層を有する基板の上記金属層に接するように、上記転写フィルムと上記基板とを貼合する貼合工程と、　上記基板を有する側とは反対側から上記感光性層をパターン露光する露光工程と、　露光された上記感光性層にアルカリ現像液を用いて現像処理を実施し、レジストパターンを形成する現像工程と、　上記レジストパターンが配置されていない領域にある上記金属層に、エッチング処理を行うエッチング処理工程、又は、めっき処理を行うめっき処理工程と、　上記レジストパターンを剥離するレジスト剥離工程と、　更に、上記めっき処理工程を有する場合は、上記レジスト剥離工程によって露出した上記金属層を除去し、上記基板上に導体パターンを形成する除去工程と、を有する、導体パターンを有する積層体の製造方法であって、　上記貼合工程と上記露光工程との間、又は、上記露光工程と上記現像工程との間に、更に、上記仮支持体を剥離する仮支持体剥離工程を有し、　上記感光性層が、架橋性アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、及び、光重合開始剤を含む。

公开(公告)号：WO2022181158A1

公开(公告)日：2022-09-01

申请号：PCT/JP2022/002606

申请日：2022-01-25

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 大谷　貴洋

IPC: C08F20/32 ,  C08G59/00 ,  C09B47/04 ,  C09B47/10 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  C09B67/20 ,  C09B67/22 ,  G02B5/20

Abstract: 得られる画素の線幅の照度依存性が小さく、かつ、感度の経時安定性に優れた着色組成物、膜、カラーフィルタおよび固体撮像素子を提供する。着色組成物は、着色剤と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、紫外線吸収剤と、溶剤とを含む着色組成物であって、着色剤は、無置換の銅フタロシアニン顔料と、ハロゲン化銅フタロシアニン顔料とを含み、着色剤の全質量中における無置換の銅フタロシアニン顔料の含有量が１０質量％以上であり、ハロゲン化銅フタロシアニン顔料の含有量が４０質量％以上である。

公开(公告)号：WO2022176869A1

公开(公告)日：2022-08-25

申请号：PCT/JP2022/006037

申请日：2022-02-16

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 中村　敦 ,  佐藤　直樹 ,  小泉　孝徳 ,  山下　広祐

IPC: C08F290/14 ,  C08G73/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/027 ,  G03F7/039 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40

Abstract: 第１の樹脂組成物を用いて、第１のパターンを有する基材を得る工程、第２の樹脂組成物を付与し、第１のパターン上、及び、第１のパターンの間の領域に第２の樹脂組成物の被膜を形成する工程、及び、第２の樹脂組成物の被膜の一部を除去し、第１のパターンと接する第２のパターンを形成する工程を含み、上記第１のパターンにおけるパターンの間の領域よりも、上記第１のパターン及び前記第２のパターンからなる複合パターンにおけるパターンの間の領域の方が狭い、永久膜の製造方法、上記永久膜の製造方法を含む積層体の製造方法、及び、上記永久膜の製造方法又は上記積層体の製造方法を含む半導体デバイスの製造方法。

公开(公告)号：WO2022176831A1

公开(公告)日：2022-08-25

申请号：PCT/JP2022/005835

申请日：2022-02-15

Applicant: 株式会社ＤＮＰファインケミカル

Inventor： 石原　星児 ,  藤田　麻希 ,  小野　充史

IPC: C09B25/00 ,  C09B29/42 ,  C09B47/04 ,  C09B47/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  C09B57/04 ,  C09B67/20 ,  G02B5/20 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H01L51/50

Abstract: 色材と、光重合性化合物と、光開始剤とを含有し、　前記色材が、青色顔料と黄色顔料を含み、当該黄色顔料がＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９を含み、ハロゲン化金属フタロシアニン顔料が１０％以下であり、　膜厚３．０μｍで硬化膜を形成した時に、３６０ｎｍ～３７０ｎｍのスペクトル透過率が０．７％以上である、感光性緑色樹脂組成物。

公开(公告)号：WO2022172996A1

公开(公告)日：2022-08-18

申请号：PCT/JP2022/005364

申请日：2022-02-10

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 浅川　大輔 ,  小泉　孝徳

IPC: C07C235/20 ,  C08F290/14 ,  C08G73/06 ,  C08K5/20 ,  C08L101/00 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  B32B15/08

Abstract: 樹脂、及び、下記式（１－１）で表される塩基発生剤を含む樹脂組成物、上記樹脂組成物を硬化してなる硬化物、上記硬化物を含む積層体、上記硬化物の製造方法、及び、上記硬化物又は上記積層体を含む半導体デバイス、並びに、塩基発生剤。

公开(公告)号：WO2022172913A1

公开(公告)日：2022-08-18

申请号：PCT/JP2022/004906

申请日：2022-02-08

Applicant: 住友ベークライト株式会社

Inventor： 堀井　誠 ,  鈴木　咲子 ,  広澤　竜二 ,  高田　渉

IPC: C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023

Abstract: アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、第一の有機溶剤、および前記第一の有機溶剤とは異なる第二の有機溶剤、を含む、感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂が、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、およびそれらの前駆体から選択される少なくとも１つを含み、前記第二の有機溶剤が、カルボニル基を有する複素環化合物（ただし、Ｎ－メチル－２－ピロリドンを除く）を含み、前記第二の有機溶剤が、当該感光性樹脂組成物全体に対して、０．００１質量％以上４．０質量％以下の量である、感光性樹脂組成物。