公开(公告)号：WO2006137205A1

公开(公告)日：2006-12-28

申请号：PCT/JP2006/307123

申请日：2006-04-04

Applicant: 国立大学法人 東京工業大学 ,  沖野 晃俊 ,  宮原 秀一 ,  大場 吾郎

Inventor： 沖野 晃俊 ,  宮原 秀一 ,  大場 吾郎

IPC: G01N1/28 ,  G01N21/73 ,  G01N27/62

CPC classification number: B01J19/087 ,  B01J19/08 ,  B01J2219/0877 ,  G01N21/73 ,  G01N27/62 ,  H05H1/42

Abstract: 　液体導入プラズマシステムは、プラズマが生じるプラズマ室と、プラズマ室でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、液体を直線上に噴出してプラズマ室に入れる噴出装置と、を備えている、液体導入プラズマシステムであり、微少量の液体をプラズマに供給でき、プラズマを発生する電力を低減できるものである。

Abstract translation: 一种液体引入等离子体系统，包括其中产生等离子体的等离子体室，在等离子体室中产生等离子体的等离子体产生装置以及将液体线性地喷射到等离子体室中的喷射装置。 该系统可以向等离子体供应少量的液体以减少用于产生等离子体的电力。