公开(公告)号：WO2005056496A1

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：PCT/JP2004/018862

申请日：2004-12-10

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  横田 博 ,  徳永 文夫 ,  岩元 健太郎 ,  木村 政光 ,  渡辺 祥二郎

Inventor： 横田 博 ,  徳永 文夫 ,  岩元 健太郎 ,  木村 政光 ,  渡辺 祥二郎

IPC: C04B35/5833

CPC classification number: H01B3/12 ,  C04B35/58 ,  C04B35/58071 ,  C04B35/583 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3813 ,  C04B2235/386 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/3886 ,  C04B2235/5409 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/723 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/85 ,  C04B2235/9676

Abstract: 本発明は、溶融金属に対する耐食性が改善されたセラミックス焼結体、その製造に適用できるセラミックス焼結体の製造方法、及び長寿命化を達成できる金属蒸着用発熱体を提供することを課題とする。本発明は、窒化硼素、二硼化チタン、カルシウム化合物及び窒化チタンを含有してなる相対密度が９２％以上のセラミックス焼結体であり、カルシウム化合物がＣａＯ換算として０．０５～０．８質量％、窒化チタンに由来する（２００）面のＸ線回折によるピーク強度が、ＢＮの（００２）面のピーク強度に対して０．０６～０．１５であることを特徴とするセラミックス焼結体に関する。また、該セラミックス焼結体の製造に適用できるセラミックス焼結体の製造方法、及び該セラミックス焼結体で構成された金属蒸着用発熱体も開示する。

Abstract translation: 一种陶瓷烧结体，其特征在于，其包含氮化硼，二硼化钛，钙化合物和氮化钛，相对密度为92％以上，其中含有0.05〜0.8质量％的钙化合物 的CaO，源自氮化钛的（200）面的X射线衍射的峰强度相对于BN的（002）面的峰强度为0.06〜0.15， 陶瓷烧结体的制造方法，其可以用于制造所述陶瓷烧结体; 以及用于气相沉积金属的放热元件，其包含所述陶瓷烧结体。 陶瓷烧结体的熔融金属的耐腐蚀性得到改善，并且用于金属气相沉积的放热元件可以延长使用寿命。

公开(公告)号：WO2005049881A1

公开(公告)日：2005-06-02

申请号：PCT/JP2004/017023

申请日：2004-11-16

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  五十嵐 厚樹 ,  宮井 明 ,  渡辺 祥二郎 ,  須崎 純一 ,  岩元 健太郎

Inventor： 五十嵐 厚樹 ,  宮井 明 ,  渡辺 祥二郎 ,  須崎 純一 ,  岩元 健太郎

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/243 ,  H05B3/141

Abstract: 　溶融金属に対する濡れ性を改善し、長寿命化を達成することができる金属蒸発ボート及びそれを用いた金属の蒸発方法を提供する。 　二硼化チタン（ＴｉＢ ２ ）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ ２  ）と窒化硼素（ＢＮ）を含有してなるセラミックス焼結体の上面に、通電方向と平行でない方向に、溝の１又は２以上を有してなることを特徴とする金属蒸発発熱体。この場合において、通電方向と平行でない方向が、通電方向に対して２０～１６０度であること、セラミックス焼結体がキャビティを有し、その底面に溝を形成させてなること、セラミックス焼結体の上面及び／又はキャビティ上面に複数の溝によって所望の模様が描かれていることが好ましい。また、この金属蒸発発熱体を用い、その溝の一部分又は全部と金属とを接触させた状態で、真空中、加熱することを特徴とする金属の蒸発方法。

Abstract translation: 能够改善对熔融金属的润湿性以延长使用寿命的金属蒸发船以及使用它的金属蒸发方法。 一种金属蒸发加热元件，其特征在于，在包含二硼化钛（TiB 2）和/或二硼化锆（ZrB 2）的陶瓷烧结体的上表面中，在不平行于导电方向的方向上形成一个或两个以上的槽， 氮化硼（BN）。 在这种情况下，优选的是，与导电方向不平行的方向与20-160°的导电方向交叉，陶瓷烧结体的底面形成有凹槽，并且在 陶瓷烧结体的上表面和/或空腔的上表面通过多个凹槽。 另外，一种金属蒸发方法，其特征在于在真空中加热该金属蒸发加热元件，其部分或全部与金属保持接触。

公开(公告)号：WO2005113465A1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：PCT/JP2005/009338

申请日：2005-05-23

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  岩元 健太郎 ,  徳永 文夫 ,  横田 博 ,  渡辺 祥二郎 ,  木村 政光

Inventor： 岩元 健太郎 ,  徳永 文夫 ,  横田 博 ,  渡辺 祥二郎 ,  木村 政光

IPC: C04B35/58

CPC classification number: C04B35/645 ,  C04B35/58 ,  C04B35/58071 ,  C04B35/583 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/3813 ,  C04B2235/386 ,  C04B2235/3886 ,  C04B2235/3891 ,  C04B2235/40 ,  C04B2235/404 ,  C04B2235/405 ,  C04B2235/407 ,  C04B2235/428 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/94 ,  C04B2235/96

Abstract: 　本発明は、二硼化チタン及び窒化硼素を主成分とするセラミックスであって、０．２～７．５質量％の酸化ストロンチウムストロンチウム及び／又はストロンチウム化合物と０．８質量％以下（０は含まない）の酸化硼素とを含み、二硼化チタン及び窒化硼素を主成分とする相対密度が９０％以上のセラミックス、を提供する。また、上記セラミックスの製造方法および上記セラミックスで構成される金属蒸発用容器を提供する。本発明によれば、セラミックス加熱時の放出ガス量が低減する。また、本発明の金属蒸発用容器（ボート）は、加熱時の放出ガス量が少ないので長寿命となる。    

Abstract translation: 含有二硼化钛和氮化硼作为主要成分的陶瓷，其还包含0.2〜7.5质量％的氧化锶，锶和/或锶化合物，0.8质量％以下（不包括0％）的氧化硼，并且具有 相对密度为90％以上; 上述陶瓷的制造方法; 以及用于包含陶瓷的金属蒸发的容器。 上述容器的使用减少了在陶瓷加热过程中排出的气体的量，并且用于金属（船）蒸发的上述容器具有延长的使用寿命，因为在加热期间排出的气体量为 降低。