公开(公告)号：WO2011145645A1

公开(公告)日：2011-11-24

申请号：PCT/JP2011/061403

申请日：2011-05-18

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  大西 崇 ,  渡辺 俊一 ,  市橋 幹雄

Inventor： 大西　崇 ,  渡辺　俊一 ,  市橋　幹雄

IPC: H01J37/143 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/18 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/261 ,  H01J3/021 ,  H01J9/39 ,  H01J9/505 ,  H01J37/065 ,  H01J37/073 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/1035 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/182 ,  Y02W30/828

Abstract: 本発明の電子顕微鏡の磁場界浸型Ｃｏｌｄ－ＦＥ電子銃（１）は、冷陰極電界放出電子源（１０１）と、前記電子源の周囲に配置された磁石レンズ（１２０）と、前記電子銃内部の真空度を改善するためのゲッターポンプ（１６ａ、１６ｂ）とを備える。前記電子源の清浄化を行う（４０９）際には、清浄化後の電子光学系のパラメータを清浄化前のパラメータと同じ値に戻す（４１０、４０４）。これにより、使用中に電子銃の焦点距離が変化しない、観察効率の高い電子銃、及び電子顕微鏡を提供できるようになった。

Abstract translation: 公开了一种电子显微镜，其中磁场浸渍式冷FE电子枪（1）包括：冷阴极场致发射电子源（101）; 位于电子源的圆周处的磁性透镜（120）; 和吸气泵（16a，16b），用于提高电子枪内的真空度。 当电子源被清洁（409）时，清洁后的电子光学系统的参数返回到与清洁之前的参数相同的值（410,404）。 结果，电子枪和电子显微镜可以提供高观察效率，并且电子枪的焦距在使用期间不改变。