公开(公告)号：WO2016117628A1

公开(公告)日：2016-07-28

申请号：PCT/JP2016/051631

申请日：2016-01-21

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 市村　崇 ,  伊藤　博之 ,  加藤　慎一 ,  村越　久弥 ,  藤枝　正 ,  三宅　竜也 ,  内藤　孝 ,  青柳　拓也 ,  谷本　憲史

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/15

CPC classification number: H01J37/16 ,  C23D5/02 ,  H01J9/18 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3178

Abstract: バナジウムガラスコートに基づく荷電粒子線装置の高性能化を実現する荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置用部材の製造方法を達成することを目的とする。内部空間が高真空に排気される金属容器と、前記金属容器の前記内部空間側の表面に形成されたコート層（１６１、１６２、１６３）とを備え、前記コート層（１６１、１６２、１６３）はバナジウムを含むガラス、つまり、非晶質であることを特徴とする真空部材を用いた荷電粒子線装置により達成する。高真空にしたい空間、例えば、電子源周辺部の壁にバナジウムガラスをコートすることで、電子源周辺部でのガス放出量を低減し、コート層でのゲッター効果により、局所排気を実施し、構造が複雑な空間でも大型の高真空ポンプを付けること無く、極高真空を達成する。

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种由于使用钒玻璃涂层而表现出高性能的带电粒子束装置，并且提供了一种制造用于带电粒子束装置的部件的方法。 具体提供了一种使用真空部件的带电粒子束装置，其特征在于包括其内部空间被抽真空以形成高真空的金属容器，以及形成在内部空间的表面上的涂层（161,162,163） 的侧面，其中涂层（161,162,163）是含钒玻璃，其为无定形物质。 将钒玻璃涂覆在需要形成高真空的空间的壁上，例如电子源附近的壁，减少电子源附近的气体放电，并且涂层的吸气剂效应引起局部 排空，即使在具有复杂结构的空间中也能够形成极高的真空度，而不需要大型高真空泵。

公开(公告)号：WO2016110996A1

公开(公告)日：2016-07-14

申请号：PCT/JP2015/050460

申请日：2015-01-09

Applicant: 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構

Inventor： 佐藤　崇

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/04

CPC classification number: H01J37/065 ,  B22F3/1055 ,  B22F2003/1056 ,  B22F2003/1057 ,  B22F2999/00 ,  B33Y30/00 ,  H01J3/08 ,  H01J3/12 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/0653 ,  Y02P10/295 ,  B22F2203/03 ,  B22F2202/06 ,  B22F2202/11

Abstract: 　エミッション電流を変化させた場合に、電子ビームの輝度の低下を防止することを目的とする。電子銃であって、熱電子を放出するカソード（１１１）と、前記熱電子を集束するウェネルト電極（１１２）と、前記カソード（１１１）の先端から前記熱電子を引き出す制御電極（１１３）と、前記熱電子を加速して、電子ビームとして粉体に照射するアノード（１１４）と、前記ウェネルト電極（１１２）に印加するバイアス電圧および前記制御電極（１１３）に印加する制御電極電圧の少なくともいずれか一方を変化させることにより、前記電子ビームの輝度がピークを形成する、前記バイアス電圧と前記制御電極電圧との組合せを決定する最適条件収集制御手段（１０５）と、を備えた。

Abstract translation: 本发明的目的是防止当发射电流改变时电子束的亮度降低。 电子枪包括用于发射热电子的阴极（111），用于聚焦热电子的Wehnelt电极（112），用于从阴极（111）的前端拉出热电子的控制电极（113）， 阳极（114），其中热电子被加速并作为电子束照射到粉末上，以及最佳条件收集控制装置（105），其改变施加到Wehnelt电极（112）的偏置电压和 施加到控制电极（113）的控制电极电压，以便确定偏置电压和电子束的亮度形成峰值的控制电极电压的组合。

公开(公告)号：WO2016092368A2

公开(公告)日：2016-06-16

申请号：PCT/IB2015/002449

申请日：2015-12-08

Applicant: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD.

Inventor： HORSKY, Thomas, N. ,  HAHTO, Sami, K.

IPC: H01J27/08 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/08 ,  H01J27/205 ,  H01J37/02 ,  H01J37/065 ,  H01J37/077 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/082 ,  H01J2237/31705

Abstract: A plasma generator for an ion implanter is provided. The plasma generator includes an ionization chamber for forming a plasma that is adapted to generate a plurality of ions and a plurality of electrons. An interior surface of the ionization chamber is exposed to the plasma and constructed from a first non-metallic material. The plasma generator also includes a thermionic emitter including at least one surface exposed to the plasma. The thermionic emitter is constructed from a second non-metallic material. The plasma generator further includes an exit aperture for extracting at least one of the plurality of ions or the plurality of electrons from the ionization chamber to form at least one of an ion beam or an electron flux. The ion beam or the electron flux comprises substantially no metal. The first and second non-metallic materials can be the same or different from each other.

Abstract translation: 提供了一种用于离子注入机的等离子体发生器。 等离子体发生器包括用于形成适于产生多个离子和多个电子的等离子体的电离室。 电离室的内表面暴露于等离子体并由第一非金属材料构成。 等离子体发生器还包括热离子发射器，其包括暴露于等离子体的至少一个表面。 热离子发射器由第二非金属材料构成。 等离子体发生器还包括用于从电离室中提取多个离子或多个电子中的至少一个的出射孔，以形成离子束或电子通量中的至少一个。 离子束或电子通量基本上不包含金属。 第一和第二非金属材料可以相同或不同。

公开(公告)号：WO2014140099A3

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：PCT/EP2014054837

申请日：2014-03-12

Applicant: NIKON METROLOGY NV

Inventor： HADLAND ROGER

IPC: H01J35/02 ,  H01J35/04 ,  H01J35/10 ,  H02M7/10 ,  H05G1/12

CPC classification number: H01J35/025 ,  F16C33/768 ,  F16C35/042 ,  F16J15/16 ,  H01J29/48 ,  H01J35/04 ,  H01J35/06 ,  H01J35/101 ,  H01J35/106 ,  H01J35/108 ,  H01J35/16 ,  H01J37/065 ,  H01J2235/0236 ,  H01J2235/083 ,  H01J2235/086 ,  H01J2235/087 ,  H01J2235/1046 ,  H01J2235/1204 ,  H01J2235/1262 ,  H01J2235/20 ,  H01J2237/2482 ,  H02M1/32 ,  H02M7/106 ,  H05G1/12

Abstract: Disclosed herein are a high-voltage generator (120) for an x-ray source, an x-ray gun, an electron beam apparatus, a rotary vacuum seal, a target assembly for an x-ray source, a rotary x-ray emission target (500), and an x-ray source. These various aspects may separately and/or together enable the construction of an x-ray source which can operate at energies of up to 500 kV and beyond, which is suitable for use in commercial and research x-ray applications such as computerised tomography. In particular, the high-voltage generator includes a shield electrode (123a, 123b) electrically connected intermediate of a first voltage multiplier (122a, 122b) and a second voltage multiplier (122b, 122c). The electron beam apparatus includes control photodetectors (202a, 202b - not shown) and photo emitters (201a, 202a) having a transparent conductive shield (203a and 203b, 203c - not shown) arranged therebetween. The rotary vacuum seal includes a pumpable chamber (302) at a position intermediate between high-pressure and low- pressure ends of a bore (301) for a rotating shaft (401). The rotary target assembly is configured such that when a torque between a bearing housing (403) and a vacuum housing exceeds a predetermined torque, the bearing housing rotates relative to the vacuum housing. The rotary x-ray emission target (500) has a plurality of target plates (560) supported on a hub, the plates being arranged on the hub to provide an annular target region about an axis rotation of the hub. The x- ray gun is provided with a shield electrode (123a) maintained at a potential difference relative to the x-ray target different to the electron beam emission cathode.

Abstract translation: 本文公开了一种用于x射线源的高压发生器（120），x射线枪，电子束装置，旋转真空密封件，用于x射线源的靶组件，旋转x射线发射 目标（500）和x射线源。 这些各个方面可以单独地和/或一起实现能够在高达500kV及以上的能量下运行的x射线源，其适用于商业和研究的X射线应用如计算机断层摄影。 特别地，高电压发生器包括电连接第一电压倍增器（122a，122b）和第二电压倍增器（122b，122c）之间的屏蔽电极（123a，123b）。 电子束装置包括控制光电检测器（202a，202b，未示出）和具有布置在其间的透明导电屏蔽（203a和203b，203c-未示出）的光发射器（201a，202a）。 旋转真空密封件包括位于用于旋转轴（401）的孔（301）的高压和低压端之间的位置的可泵送室（302）。 旋转目标组件被构造成使得当轴承壳体（403）和真空壳体之间的扭矩超过预定扭矩时，轴承壳体相对于真空壳体旋转。 旋转X射线发射目标（500）具有支撑在轮毂上的多个目标板（560），所述板布置在轮毂上以提供围绕轮毂的轴线旋转的环形目标区域。 X射线枪设置有相对于与电子束发射阴极不同的x射线靶保持在电位差的屏蔽电极（123a）。

公开(公告)号：WO2014124041A2

公开(公告)日：2014-08-14

申请号：PCT/US2014014926

申请日：2014-02-05

Applicant: GUERRERA STEPHEN ANGELO ,  AKINWANDE AKINTUNDE I

Inventor： GUERRERA STEPHEN ANGELO ,  AKINWANDE AKINTUNDE I

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J37/065 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31781 ,  H01L21/00

Abstract: An electron beam apparatus is disclosed that includes a plurality of current source elements disposed in at least one field emitter array. Each current source element can be a gated vertical transistor, an ungated vertical transistor, or a current controlled channel that is proximate to an optically-modulated current source. The electron beam apparatus includes a plurality of field emitter tips, each field emitter tip of the plurality of field emitter tips being coupled to a current source element of the plurality of current source elements. The electron beam apparatus is configured to allow selective activation of one or more of the current source elements.

Abstract translation: 公开了一种电子束装置，其包括设置在至少一个场发射器阵列中的多个电流源元件。 每个电流源元件可以是门控垂直晶体管，非门控垂直晶体管或接近光调制电流源的电流控制通道。 电子束装置包括多个场发射器尖端，多个场发射器尖端中的每个场发射极尖端耦合到多个电流源元件的电流源元件。 电子束装置被配置为允许选择性地激活一个或多个电流源元件。

公开(公告)号：WO2013119612A1

公开(公告)日：2013-08-15

申请号：PCT/US2013/024860

申请日：2013-02-06

Applicant: BOARD OF TRUSTEES OF MICHIGAN STATE UNIVERSITY

Inventor： RUAN, Chong-Yu ,  BERZ, Martin ,  TAO, Zhensheng

IPC: H01J37/073 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/045 ,  H01J37/065 ,  H01J37/073 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/228 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/06333 ,  H01J2237/2802

Abstract: An electron microscope (11) is provided. In another aspect, an electron microscope (11) employs a radio frequency which acts upon electrons used to assist in imaging a specimen. Furthermore, another aspect provides an electron beam microscope (11) with a time resolution of less than 1 picosecond with more than 10 5 electrons in a single shot or image group. Yet another aspect employs a super-cooled component (61) in an electron microscope (11).

Abstract translation: 提供电子显微镜（11）。 在另一方面，电子显微镜（11）采用射频，其作用于用于辅助成像试样的电子。 此外，另一方面提供一种电子束显微镜（11），其在单次或图像组中的时间分辨率小于1皮秒，多于105个电子。 另一方面在电子显微镜（11）中采用超冷却部件（61）。

公开(公告)号：WO2013027448A1

公开(公告)日：2013-02-28

申请号：PCT/JP2012/063017

申请日：2012-05-22

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  渡辺 俊一 ,  大西 崇 ,  小瀬 洋一 ,  中村 邦康 ,  森山 勝 ,  鈴木 友則

Inventor： 渡辺　俊一 ,  大西　崇 ,  小瀬　洋一 ,  中村　邦康 ,  森山　勝 ,  鈴木　友則

IPC: H01J37/073 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/065 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/06316

Abstract: 　電子銃における引出電極に設けた絞りで発生する二次電子の量を減らして、フレアの発生を抑制することにある。電子銃における最も電子源（１）に近い引出電極（５）の絞り（７Ａ）に炭素など二次電子放出率の小さい薄膜をコーティングすると、二次電子の発生量を減少させることができる。フレアの発生原因である引出電極（５）で発生する二次電子が減少するので、結果的にフレアが減少する。また、引出電極（５）に２枚の絞り（７Ａ，７Ｂ）を組み込み、この２枚の絞りに引出電極（５）と等電位となる電位を与えることで、引出電極（５）の下部から上部へ染み出す電界をなくすことができる。この結果、電子ビームが引出電極（５）に衝突したときに発生する二次電子は引出電極（５）から通過する方向の力をうけなくなり、結果的にフレアが減少する。

Abstract translation: 本发明的目的是抑制耀斑的发生和减少在提供给电子枪的引出电极的孔处产生的二次电子的量。 通过在电子枪的最接近电子源（1）的引出电极（5）的孔（7A）上涂覆具有低二次电子发射速率的薄膜（例如碳），可以将 二次电子量的产生。 在引出电极（5）处产生的引起火花的原因的二次电子被减少，结果是减少了耀斑。 此外，通过将两个孔（7A，7B）并入到引出电极（5），并且向两个孔施加与引出电极（5）等电位的电位，可以消除 引出电极（5）从下到上渗出的电场。 结果，当电子束撞击引出电极（5）时产生的二次电子停止从引出电极（5）通过的方向上产生力，因此发光减少。

公开(公告)号：WO2010123007A1

公开(公告)日：2010-10-28

申请号：PCT/JP2010/057018

申请日：2010-04-20

Applicant: 独立行政法人物質・材料研究機構 ,  唐 捷 ,  張 ▲はん▼ ,  秦 禄昌 ,  新谷 紀雄

Inventor： 唐　捷 ,  張　▲はん▼ ,  秦　禄昌 ,  新谷　紀雄

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/06

CPC classification number: H01J1/3044 ,  H01J37/065 ,  H01J37/073 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/26

Abstract: 　冷陰極電界放出型電子源への希土類六ホウ化物の適用を実現し、更に化学反応による損傷、劣化を防ぎ、耐久性に優れ、長期間使用可能な電子源を提供する。　高電界により電子放出する冷陰極電界放出型電子源であって、希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバが電子源支持針の表面に取り付けてあることを特徴とする。また、電子源支持針が、冷陰極電界放出型電子源が高温になっても電子源支持針と希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバとの接続部が化学反応しない材料よりなることを特徴とする。

Abstract translation: 已经施加了稀土六硼化物并被防止被化学反应破坏或劣化的冷阴极场致发射电子源具有优异的耐久性，并且可以使用很长时间。 冷阴极场发射电子源通过高电场发射电子，其特征在于，在电子源支撑针的表面上已经附着了六硼酸稀土的单晶纳米纤维。 冷阴极场致发射电子源的特征还在于，电子源支撑针由在电子源支撑针和单晶纳米纤维之间的连接部处不发生化学反应的材料构成，该稀土 即使在冷阴极场致发射电子源加热到高温的情况下也可以使用六面体。

公开(公告)号：WO2009111149A1

公开(公告)日：2009-09-11

申请号：PCT/US2009/034000

申请日：2009-02-13

Applicant: ALIS CORPORATION ,  NOTTE IV, John V.

Inventor： NOTTE IV, John V.

IPC: H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  H01J37/065 ,  H01J37/26 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J49/168 ,  H01J27/26 ,  H01J37/065 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/28

Abstract: Coated tips, as well as related articles, systems and methods are disclosed.

Abstract translation: 披露了涂层技巧，以及相关文章，系统和方法。

公开(公告)号：WO2009044871A1

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：PCT/JP2008/068077

申请日：2008-10-03

Applicant: 電気化学工業株式会社 ,  野々垣 良三 ,  照井 良典

Inventor： 野々垣 良三 ,  照井 良典

IPC: H01J37/06 ,  H01J1/15 ,  H01J1/16

CPC classification number: H01J1/15 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J1/18 ,  H01J37/065 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/28

Abstract: 　電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。 絶縁碍子（５）と、絶縁碍子（５）に間隔を空けて配置された２つの導電端子（４）と、導電端子（４）の間に張られている長尺のフィラメント（３）と、フィラメント（３）に取り付けられた電子放射部を有する針状の陰極（１）とを備える電子源であって、フィラメント（３）の軸方向に対する垂直断面形状が長方向と短方向を有し、長方向の最大長がその短方向の最大長の１．５倍以上５倍以下である電子源。

Abstract translation: 提供了即使从外部向使用电子源的装置施加振动时也输出稳定的电子束的电子源。 电子源设有绝缘体（5）; 在绝缘体（5）上间隔布置的两个导电端子（4）; 在导电端子（4）之间延伸的长丝（3）; 和具有连接到灯丝（3）上的电子放电部分的针状阴极（1）。 灯丝（3）在轴向上的垂直截面形状具有长方向和短方向，并且长度方向上的最大长度是短时间内的最大长度的1.5倍以上但不大于5倍 方向。