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公开(公告)号：WO2010125671A1
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：PCT/JP2009/058467
申请日：2009-04-30
Applicant: キヤノンアネルバ株式会社 , 中村 恵 , 塩川 善郎 , 彭 強
CPC classification number: H01J43/10 , H01J49/025
Abstract: 本発明は、迷光の影響を低減させるためのOff-Axis構造において残った迷光の影響を低減し、Ｓ/Ｎ比を向上させることが可能な２次電子増倍管、イオン検出装置、およびイオン検出方法を提供する。本発明の一実施形態に係る２次電子増倍管（１１）では、該２次電子増倍管（１１）の初段電極である電極Ｄ１が有する電子発生面（１００）の側面側からイオン（１３）を入射する。
Abstract translation: 提供二次电子倍增器，离子检测装置和离子检测方法，其能够减少残留在偏轴结构中的杂散光的影响，以减少杂散光的影响和提高S / N比 。 在二次电子倍增器（11）中，离子（13）从作为二次电子倍增器（11）的初级电极的电极（D1）的电子生成面（100）的侧面注入。
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公开(公告)号：WO2010125670A1
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：PCT/JP2009/058464
申请日：2009-04-30
Applicant: キヤノンアネルバ株式会社 , 中村 恵 , 塩川 善郎 , 彭 強
CPC classification number: H01J43/06
Abstract: 本発明は、イオンを電子に変換し、該変換された電子を増幅する機構を有するイオン検出装置において、迷光に起因するノイズを低減可能なイオン検出装置を提供する。本発明の一実施形態に係るイオン検出装置は、質量分別されたイオンを電子に変換するイオン電子変換電極と、電子を増幅するように構成された増幅機構であって、イオン電子変換電極で変換された電子を電界で引き込み増幅する増幅機構とを備える。上記イオン電子変換電極は、ニードル形状、リボン形状、メッシュ形状、およびスリット形状のいずれか１つである。
Abstract translation: 提供了一种离子检测装置，其包括用于将离子转换成电子并放大通过转换获得的电子的机构，这使得能够降低由杂散光引起的噪声。 离子检测装置设置有将质量分数的离子转换成电子的离子电子转换电极，以及被配置为放大电子的放大机构，引导通过离子交换器的转换而获得的电子的放大机构， 电子转换电极通过电场并放大电子。 离子电子转换电极具有针状，带状，网状或狭缝形状中的任一种。
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公开(公告)号：WO2010125669A1
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：PCT/JP2009/058462
申请日：2009-04-30
Applicant: キヤノンアネルバ株式会社 , 中村 恵 , 塩川 善郎 , 彭 強
Abstract: 本発明は、検出すべきイオンを２次電子増倍管の初段電極へと引き込むための電界の効果を向上しつつ、迷光低減の効果を向上可能なイオン検出装置、イオン検出方法、およびイオン検出装置の製造方法を提供する。本発明に一実施形態では、複数の電極を有する２次電子増倍管とイオンを２次電子増倍管の初段電極側へと引き込むための引き込み電極とを備えるイオン検出装置である。該イオン検出装置にイオンを導入する際に、イオン検出装置の内部で発生した内部迷光の初段電極に入射する光量が、イオン検出装置の外部で発生した外部迷光の初段電極に入射する光量以下となるように、引き込み電極の面積および引き込み電極と該引き込み電極の周辺の電極であって２次電子増倍管が有する電極ではない周辺の電極との間の電位差の少なくとも一方が設定されている。
Abstract translation: 提供离子检测装置，离子检测方法和用于离子检测装置的制造方法，其中提高电场使待检测的离子对二次电子倍增器的第一级电极的影响， 散射光的降低效果也得到提高。 离子检测装置包括具有多个电极的二次电子倍增器和使离子朝向二次电子倍增器的第一级电极的引入电极。 当离子进入离子检测装置时，引入电极的区域中的至少一个或引入电极和设置在引入电极和二次电子倍增器周围的电极之间的电位差与 不设置为使离子检测装置内产生的落在第一级电极上的内部杂散光的强度低于离子检测装置外部产生的外部杂散光的强度， 第一级电极。
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公开(公告)号：WO2011081188A1
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：PCT/JP2010/073736
申请日：2010-12-28
Applicant: キヤノンアネルバ株式会社 , 塩川 善郎 , 中村 恵 , 彭 強
CPC classification number: H01J49/4215 , H01J49/068
Abstract: 本発明は、イオン源からの迷光が検出器に入射することを低減して感度（Ｓ／Ｎ）を上げることが可能な四重極型質量分析装置を提供する。本発明の一実施形態に係る四重極型質量分析装置（１００）は、イオン源（１０１）と、円環状の金属皮膜を有する四重極型質量分析器（１０２）と、該四重極型質量分析器を通過したイオンを検出して信号とする検出器（１０３）とを備える。上記四重極型質量分析器は非直線状であり、該非直線状の四重極型質量分析器により、イオン源から四重極型質量分析器を通して検出器が見込めないように、四重極型質量分析器は構成されている。上記金属皮膜は、絶縁支持体に形成されており、該絶縁支持体の嵌め合いによって組み立てられている。
Abstract translation: 提供了能够通过降低来自检测器上的离子源的杂散光的入射来提高灵敏度（S / N）的四极质谱仪。 具体公开了具备离子源（101），四极质谱仪（102），具有环状金属膜的四极杆质谱仪（100），以及检测器（103），该检测器检测已经通过的离子 通过四极杆质谱仪。 四极质谱仪是非线性的，由于使用非线性四极杆质谱仪，四极质谱仪被配置为使得通过来自离子源的四极杆质谱仪不能看见检测器。 金属膜形成在绝缘支撑件上，并通过将绝缘支撑件彼此配合而组装。
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公开(公告)号：WO2011080959A1
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：PCT/JP2010/068929
申请日：2010-10-26
Applicant: キヤノンアネルバ株式会社 , 塩川 善郎 , 中村 恵 , 彭 強
CPC classification number: H01J49/421 , G01N27/622
Abstract: 本発明は、飛行するイオンが減衰しても、該イオンの存在量を正確に測定可能な質量分析装置、質量分析装置の制御装置、および質量分析方法を提供する。本発明の一実施形態は、雰囲気ガス中の特定の成分の存在量を測定する質量分析装置（１００７）であって、イオン発生源（３１ａ、３１ｂ）と、四重極型質量分析器（３４ａ、３４ｂ）と、イオン発生源（３１ａ）からの飛行距離が第１の飛行距離Ｌ１でのイオン（３５ａ）の第１のイオン電流を検出するコレクタ（３３ａ）と、第１の飛行距離Ｌ１よりも長い第２の飛行距離Ｌ２でのイオン（３５ｂ）の第２のイオン電流を検出するコレクタ（３３ｂ）とを備える。このような構成を備える質量分析装置（１００７）の制御部は、上記検出された第１および第２のイオン電流から特定のイオンの存在量を算出する。
Abstract translation: 公开了质谱仪，质谱仪的控制装置和质谱法，其中即使飞离离子衰变，也能够精确地测定离子的丰度。 具体公开的是用于测量气氛气体中的特定成分的丰度的质谱仪（1007），所述质谱仪具有离子产生源（31a，31b），四极质谱仪（34a，34b），集电体 （33a）检测距离离子产生源（31a）的第一飞行距离（L1）的离子（35a）的第一离子电流的检测电极（33a），和检测离子（35b）的第二离子电流的集电体（33b） 在比第一飞行距离（L1）长的第二飞行距离（L2）处。 设置有上述配置的质谱仪（1007）的控制单元从检测到的第一和第二离子电流计算特定离子的丰度。
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公开(公告)号：WO2011033933A1
公开(公告)日：2011-03-24
申请号：PCT/JP2010/064917
申请日：2010-09-01
Applicant: キヤノンアネルバ株式会社 , 塩川 善郎 , 中村 恵 , 彭 強
IPC: G01L21/32
CPC classification number: G01L21/32
Abstract: 本発明は、荷電粒子の平均自由行程を直接的に測定可能な平均自由行程を測定する装置、真空計、および平均自由行程を測定する方法を提供する。本発明の一実施形態に係る、平均自由行程を測定する装置は、イオンを発生させるイオン源と、イオン源からの飛行距離が０以上の第１の飛行距離Ｌ１である荷電粒子の第１の荷電粒子数を検出するコレクタ（２４ａ）と、第１の飛行距離よりも長い第２の飛行距離の荷電粒子の第２の荷電粒子数を検出するコレクタ（２４ｂ）とを備えている。上記装置の制御部は、第１および第２の荷電粒子数の比率から前記平均自由行程を算出する。
Abstract translation: 公开了用于测量平均自由程的装置，真空计和用于测量平均自由程的方法，其能够直接测量带电粒子的平均自由程。 具体公开了一种用于测量平均自由程的装置，其具有用于产生离子的离子源，用于检测具有作为飞行的第一飞行距离（L1）的带电粒子的第一带电粒子数的收集器（24a） 距离离子源0°以上的距离，以及用于检测具有比第一飞行距离长的第二飞行距离的带电粒子的第二带电粒子数的收集器（24b）。 装置的控制单元根据第一和第二带电粒子数之间的比率计算平均自由程。
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