公开(公告)号：WO2008099709A1

公开(公告)日：2008-08-21

申请号：PCT/JP2008/051799

申请日：2008-02-05

Applicant: 東レ株式会社 ,  藤田 陽二 ,  有本 真治 ,  池 鯉生

Inventor： 藤田 陽二 ,  有本 真治 ,  池 鯉生

IPC: G03F7/023 ,  C08F290/06 ,  C08F299/02 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F290/06 ,  C08F290/14 ,  C08F299/02 ,  C08F299/06 ,  C08G73/101 ,  C08G73/1014 ,  C08G73/1017 ,  C08G73/121 ,  C08G73/122 ,  C08G73/123 ,  C08G73/124 ,  C08G73/125 ,  C08G73/126 ,  C08G73/127 ,  C08G73/14 ,  C08L61/00 ,  C08L61/06 ,  C08L79/085 ,  G03F7/0236 ,  C08L2666/20 ,  C08L2666/16

Abstract: 　　【課題】ノボラック樹脂を用いて、良好な機械特性を有し、保存安定性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。 　　【解決手段】（ａ）ノボラック樹脂、（ｂ）一般式（１）および／または（２）で表される構造を主成分とするポリマー、（ｃ）キノンジアジド化合物、（ｄ）アルコキシメチル基含有化合物および（ｅ）溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。（一般式（１）～（２）中、Ｒ １ およびＲ ２ はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、炭素数２以上の２価～８価の有機基を示す。Ｒ ３ およびＲ ４ はそれぞれ同じでも異なっていてもよく、水素または炭素数１～２０の１価の有機基を示す。一般式（１）の－ＮＨ－Ｒ ５ および一般式（２）の－ＣＯ－Ｒ ６ はポリマーの末端基を示し、Ｒ ５ およびＲ ６ は不飽和炭化水素基を有する炭素数２～３０の１価の有機基を示す。ｎは１０～１００，０００の範囲、ｌおよびｍは０～２の整数、ｐおよびｑは０～４の整数を示す。ただしｐ＋ｑ＞０である。）

Abstract translation: [问题]提供一种通过使用酚醛清漆树脂具有良好的机械性能和优异的储存稳定性的正型感光性树脂组合物。 解决问题的手段公开了一种正型感光性树脂组合物，其包含（a）酚醛清漆树脂，（b）主要由通式（1）和/或（2）表示的结构的聚合物，（c ）醌二叠氮化合物，（d）具有烷氧基甲基的化合物和（e）溶剂。 （1）（2）其中R 1和R 2可以彼此相同或不同，并且独立地表示具有2个以上碳原子的有机基团和 化合价为2〜8; R 3和R 4可以彼此相同或不同，并且独立地表示氢原子或具有1至20个碳原子的一价有机基团; 通式（1）中的-NH-R 5和通式（2）中的-CO-R 6独立地表示聚合物的端基; R 5和R 6独立地表示具有2至30个碳原子并具有不饱和烃基的一价有机基团; n表示10〜100,000的数; l和m独立地表示0至2的整数; p和q表示0〜4的整数，条件是p + q> 0。