公开(公告)号：WO2011105602A1

公开(公告)日：2011-09-01

申请号：PCT/JP2011/054498

申请日：2011-02-28

Applicant: 株式会社Ingen MSL ,  李 昇穆

Inventor： 李　昇穆

IPC: H04R19/00 ,  A61B8/00 ,  G01N29/24

CPC classification number: B06B1/0292 ,  G01N29/2406

Abstract: 【課題】犠牲層を形成する工程、孔をあける工程、及び手間がかかる該犠牲層をエッチングする工程等を省くことができる上に、高い再現性及び信頼性、かつ簡略化された工程にて製造することができる超音波振動子ユニット及び超音波プローブを提供する。 【解決手段】超音波振動子１０を複数備える超音波振動子ユニットにおいて、該超音波振動子１０が絶縁性の基板２の一面に形成された凹部２２を備え、基板側電極３を凹部２２の底に埋設し、振動膜１は凹部２２を覆うように設ける。

Abstract translation: 提供了可以通过简单的步骤制造的超声波振荡器单元和超声波探头，其具有高重现性和可靠性，并且不包括牺牲层形成步骤，穿孔步骤和蚀刻需要大量的牺牲层的牺牲层的步骤 努力。 在设置有多个超声波振荡器（10）的超声波振荡器单元中，超声波振荡器（10）设置有形成在绝缘基体（2）的一个表面上的凹部（22），基部侧电极（3） 嵌入在所述凹部（22）的底部，并且设置有振动膜（1）以覆盖所述凹部（22）。

公开(公告)号：WO2013002207A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：PCT/JP2012/066243

申请日：2012-06-26

Applicant: 株式会社Ingen MSL ,  李 昇穆

Inventor： 李　昇穆

IPC: H04R19/00 ,  H01L29/84 ,  H04R31/00

CPC classification number: H02N1/00 ,  B06B1/0292 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2207/015 ,  B81C1/00246 ,  B81C2203/031 ,  B81C2203/075 ,  G01H11/06 ,  G01N29/2406 ,  H01L29/84

Abstract: 【課題】絶縁性の基板の一面に設けられた基板側電極と、該基板側電極に対向配置された対向電極を有する対向板とを備える振動素子であって、インピーダンスの低減及びキャパシタンス変換、信号増幅などの機能を行うと共に、素子自体のコンパクト化を図ることが出来る振動素子、及び該振動素子を製造する製造方法を提供する。 【解決手段】基板側電極２に対向するように、シリコン単結晶からなる上部板１を配置し、上部板１に、例えば、熱拡散法又はイオン注入法によって形成される、ＩＣ回路の不純物領域である集積回路部５を設け、振動素子１０にて変換効率の向上及び生産性向上、実装システムのコンパクト化を実現する。

Abstract translation: [问题]为了提供一种振动元件，其包括设置在绝缘基板的一个表面上的基板侧电极和具有与基板侧电极相对配置的相对电极的相对板，所述振动元件执行阻抗降低 ，电容转换和信号放大，而元件本身可以减小尺寸。 还提供了一种用于制造振动元件的方法。 [解决方案]由硅单晶制成的上板（1）与基板侧电极（2）相对配置。 上板（1）设置有例如通过热扩散法或离子注入法形成的集成电路部（5），集成电路部是IC电路的杂质区。 因此，利用该振动元件（10），转换效率和生产率提高，并且安装系统的尺寸减小。