公开(公告)号：WO2007077865A1

公开(公告)日：2007-07-12

申请号：PCT/JP2006/326038

申请日：2006-12-27

Applicant: 旭化成株式会社 ,  柴崎 一郎 ,  外賀 寛崇 ,  岡本 敦

Inventor： 柴崎 一郎 ,  外賀 寛崇 ,  岡本 敦

IPC: H01L43/06 ,  G01R33/07 ,  G01R33/09 ,  H01L43/08

CPC classification number: G01R33/06 ,  H01L43/065 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  H01L43/14

Abstract: 　本発明は、高感度で磁束密度が直接検出でき、消費電力や消費電流の少ない微小なＩｎＳｂ薄膜磁気センサに用いられる薄膜積層体及びＩｎＳｂ薄膜磁気センサに関する。ＩｎＳｂ薄膜を磁気センサ部、若しくは磁界検出部としたＩｎＳｂ薄膜磁気センサである。基板（１）上に形成されたＩｎＳｂ薄膜であるＩｎＳｂ動作層（３）と、このＩｎＳｂ動作層（３）より高抵抗又は絶縁性若しくはｐ型の伝導性を示し、バンドギャップがＩｎＳｂより大きい層であるＡｌ ｘ Ｇａ ｙ Ｉｎ １－ｘ－ｙ Ｓｂ混晶層（０≦ｘ、ｙ≦１）（２）とを備えている。混晶層（２）は、基板（１）とＩｎＳｂ動作層（３）との間に設けられ、ＡｌとＧａの原子の含有率（ｘ＋ｙ）が５．０％から１７％の範囲（０．０５≦ｘ＋ｙ≦０．１７）である。

Abstract translation: 提供一种用于微型InSb薄膜磁传感器的薄膜层叠体和具有高灵敏度的InSb薄膜磁传感器，能够直接检测磁通密度，并消耗少量的电力和电流。 InSb薄膜磁传感器使用InSb薄膜作为磁传感器单元或磁场检测单元。 传感器包括：形成在基板（1）上的作为InSb薄膜的InSb操作层（3）; 和一个Al x Sb Sb混合晶体层（0 fx，yf 1）（2）的表面阻抗比 InSb操作层（3）或绝缘或p型导电性并且具有大于InSb的带隙。 混合晶体层（2）布置在基板（1）和InSb操作层（3）之间，Al和Ga的原子含量比（x + y）在5.0％至17％的范围内（0.05fx + yf 0.17）。

公开(公告)号：WO2008066118A9

公开(公告)日：2008-06-05

申请号：PCT/JP2007/073058

申请日：2007-11-29

Applicant: 旭化成株式会社 ,  柴崎 一郎 ,  外賀 寛崇 ,  岡本 敦

Inventor： 柴崎 一郎 ,  外賀 寛崇 ,  岡本 敦

IPC: H01L43/06 ,  G01R33/07 ,  G01R33/09 ,  H01L29/201 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  H01L43/14

Abstract: 　ＩｎＡｓＳｂ動作層としての高い電子移動度とシート抵抗を有する薄膜導電層を実現するようにした薄膜積層体及びそれを用いた薄膜磁気センサ並びにその製造方法に関する。基板上に設けられたＡｌ ｘ Ｉｎ １－ｘ Ｓｂ混晶層と、該Ａｌ ｘ Ｉｎ １－ｘ Ｓｂ層上に直接接して設けられたＩｎＡｓ ｘ Ｓｂ １－ｘ （０＜ｘ≦１）薄膜導電層と、を備え、前記Ａｌ ｘ Ｉｎ １－ｘ Ｓｂ混晶層は、前記ＩｎＡｓ ｘ Ｓｂ １－ｘ 薄膜導電層より高抵抗又は絶縁性、若しくはｐ型の伝導性を示す層で、かつ、バンドギャップが前記ＩｎＡｓ ｘ Ｓｂ １－ｘ 薄膜導電層より大きく格子不整合（ミスマッチ）が＋１．３％～－０．８％であることを特徴とする薄膜積層体を提供する。

公开(公告)号：WO2002089153A1

公开(公告)日：2002-11-07

申请号：PCT/JP2002/004089

申请日：2002-04-24

Applicant: 旭化成株式会社 ,  柿本 悦二 ,  道家 清孝 ,  柴崎 一郎 ,  今岡 伸嘉 ,  千葉 昂

Inventor： 柿本 悦二 ,  道家 清孝 ,  柴崎 一郎 ,  今岡 伸嘉 ,  千葉 昂

IPC: H01F1/04

CPC classification number: H01F41/0273 ,  B01J3/08 ,  B22F3/08 ,  B22F2998/10 ,  B22F2999/00 ,  C22C38/001 ,  C22C38/002 ,  C22C38/005 ,  H01F1/0596 ,  B22F2202/05 ,  B22F3/087 ,  B22F2201/05

Abstract: A solid material for magnet containing a R-Fe-N-H type magnetic material as a primary component is produced by incorporating hydrogen into a rare earth element-iron-nitrogen type magnetic material powder having a rhombohedral or hexagonal crystal structure, preparing a green formed compact in a magnetic or non-magnetic field, and subjecting the green compact to a shock compaction by the use of an underwater shock wave while preventing the decomposition of a R-Fe-N-H type magnetic material by suppressing its residual temperature after the shock compaction to a temperature not higher than the decomposition temperature of the R-Fe-N-H material (ca. 600 DEG C at an ordinary pressure) through utilizing the characteristics of a shock compaction, such as ultra-high pressure shearing property, activating function and short time phenomenon.

Abstract translation: 含有R-Fe-NH型磁性材料作为主要成分的磁体的固体材料是通过将氢掺入到具有菱形或六方晶体结构的稀土元素 - 铁 - 氮型磁性材料粉末中制备的， 在磁场或非磁场中，通过使用水下冲击波对生坯进行冲击压实，同时通过抑制冲击压实后的残留温度来防止R-Fe-NH型磁性材料的分解，同时 通过利用冲击压实的特性，如超高压剪切性能，活化作用和短时间，不高于R-Fe-NH材料的分解温度（常压约600℃）的温度 现象。