公开(公告)号：WO2007020809A1

公开(公告)日：2007-02-22

申请号：PCT/JP2006/315414

申请日：2006-08-03

Applicant: 富士フイルム株式会社 ,  増尾 勉 ,  橋口 昭浩

Inventor： 増尾 勉 ,  橋口 昭浩

IPC: G03F7/20 ,  B65G47/91 ,  H05K3/00

CPC classification number: H05K13/0061 ,  H05K13/0408

Abstract: A work transfer apparatus (30) is provided with a first suction unit (50) which sucks a work (200) placed on a carry-in section (32) by a plurality of suction apparatuses (54) and transfers the work to a stage (110); a second suction unit (52) which sucks the work (200) on the stage (110) by a plurality of suction apparatuses (56) and transfers the work to a carry-out section (34); and a fixing jig (10) which is set on the stage (110), seals the peripheral section of the work (200) and has an opening (12) formed to expose areas of the work (200) excluding the peripheral section. A first suction apparatus (54A) arranged on an end section side of the first suction unit (50) or a first suction apparatus (56A) arranged on a side of an end section side of a second suction unit (52) sucks the fixing jig (10), and second suction apparatuses (54B, 56B) arranged on a center side of the first suction unit (50) or the second suction unit (52) suck the work (200) exposed from the opening (12). Thus, the work (200) and the fixing jig (10) are placed on the stage (110) or removed from the stage (110).

Abstract translation: 工件传送装置（30）具有第一抽吸单元（50），其通过多个抽吸装置（54）吸附放置在搬入部（32）上的工件（200），并将工件转移到工作台 （110）; 第二抽吸单元，其通过多个抽吸装置吸收所述工作台上的工件），并且将所述工件传送到执行部分; 和设置在台架（110）上的固定夹具（10），密封工件（200）的周边部分，并且具有形成为露出除了周边部分之外的工件（200）的区域的开口（12）。 布置在第一抽吸单元（50）的端部侧的第一抽吸装置（54A）或布置在第二抽吸单元（52）的端部侧的一侧的第一抽吸装置（56A）吸附固定夹具 （10），并且配置在第一吸引单元（50）或第二吸引单元（52）的中心侧的第二吸引装置（54B，56B）吸附从开口（12）露出的工件（200）。 因此，将工件（200）和固定夹具（10）放置在工作台（110）上或者从工作台（110）移除。

公开(公告)号：WO2006077804A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：PCT/JP2006/300478

申请日：2006-01-17

Applicant: 富士写真フイルム株式会社 ,  橋口 昭浩 ,  福井 隆史 ,  寺田 和広 ,  須藤 浩樹

Inventor： 橋口 昭浩 ,  福井 隆史 ,  寺田 和広 ,  須藤 浩樹

IPC: H05K3/00 ,  G03F7/20 ,  B23Q3/02

CPC classification number: G03F7/70791 ,  G03F7/707 ,  H05K13/0069

Abstract: 　ステージに対して着脱可能とされ、反りが発生してしまうような厚さのワークでも、そのステージ上に確実に固定できるクランプ装置と、そのクランプ装置を備えた画像形成装置の提供を課題とする。板状のワーク１００が載置され、ステージ２０上に着脱可能に装着されるベース３２と、ベース３２に設けられ、ワーク１００の縁端部１００Ａをクランプするクランプ部３４とを備え、ベース３２に、ベース３２上面側とステージ２０側との間を連通させる複数の連通孔３２Ａが穿設されたクランプ装置３０とする。そして、このクランプ装置３０を備えた画像形成装置１０とする。                                                                                 

Abstract translation: 一种夹紧装置，其可移除地布置在台架上，并且即使是具有可能引起翘曲的厚度的工件，也可以可靠地固定在平台上; 以及设置有这种夹紧装置的图像形成装置。 夹紧装置（30）设置有基座（32），该基座（32）可拆卸地安装在台架（20）上，板形工件（100）放置在基座上，夹紧部分（34）布置在基座 32），用于夹紧工件（100）的边缘部分（100A）。 多个连通孔（32A）穿过基座（32），用于在基座（32）的上平面侧和台架（20）的一侧之间连通。 图像形成装置（10）设置有夹紧装置（30）。

公开(公告)号：WO2007043411A1

公开(公告)日：2007-04-19

申请号：PCT/JP2006/319869

申请日：2006-10-04

Applicant: 富士フイルム株式会社 ,  橋口 昭浩 ,  寺田 和広

Inventor： 橋口 昭浩 ,  寺田 和広

IPC: G03F7/20 ,  H05K3/00

CPC classification number: G03F7/70291 ,  G03F7/70425

Abstract: 　画像情報に基づいて変調された光ビームにより記録媒体を露光し、画像を記録するデジタル露光装置が開示されている。このデジタル露光装置は、前記記録媒体を搬送しながら前記記録媒体上に走査露光を行う露光ユニットと、前記記録媒体の搬送方向と直交する方向に設けられ、前記記録媒体を搬送経路に沿って搬送する搬送ユニットと、前記搬送経路の一方に設けられ露光前の前記記録媒体を待機させる第１の待機ステージと、前記搬送経路の他方に設けられ露光済みの記録媒体を待機させる第２の待機ステージと、前記待機ステージから前記記録媒体を受け取り、前記記録媒体の表裏を反転させる反転ユニットとを備えている。

Abstract translation: 一种数字曝光装置，其通过基于图像信息调制的光束曝光记录介质并记录图像。 数字曝光装置设置有曝光单元，其在传送记录介质的同时对记录介质进行扫描曝光; 传送单元，其布置在与记录介质的传送方向正交的方向上，并沿着传送路径传送记录介质; 布置在传送路径之一上并允许记录介质在曝光之前等待的第一等待阶段; 布置在其他传送路径上并允许曝光的记录介质等待的第二等待阶段; 以及反转单元，其从等待台接收记录介质并使记录介质的前后反向。

公开(公告)号：WO2006019178A1

公开(公告)日：2006-02-23

申请号：PCT/JP2005/015306

申请日：2005-08-17

Applicant: 富士写真フイルム株式会社 ,  橋口 昭浩 ,  清水 敦子

Inventor： 橋口 昭浩 ,  清水 敦子

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/30

CPC classification number: G03F7/70291 ,  G03F7/7005 ,  G03F7/70558

Abstract: 複数のレーザダイオードから射出されるレーザ光を合波するレーザモジュールを複数設け、このレーザモジュールから射出されたレーザ光を集束してその集束光を露光面に照射する露光装置において、レーザダイオード、レーザモジュールから射出されるレーザ光の光量および集束光の光量のそれぞれを1つの種類の光電センサにより検出する。レーザダイオードから射出されたレーザ光の光量を検出する場合には、光学フィルタ(FL)において反射され、光学フィルタ(FM)を透過したレーザ光を検出し、レーザモジュールから射出されたレーザ光の光量を検出する場合には、光学フィルタ(FL)、(FM)において反射され、光学フィルタ(FH)を透過したレーザ光を検出し、集束光の光量を検出する場合には、光学フィルタ(FL)、(FM)、(FH)において反射されたレーザ光を検出することにより、それぞれ異なる減衰率で減衰されたレーザ光を検出する。

Abstract translation: 曝光装置包括用于合成从多个激光二极管发射的激光束的多个激光模块，使得从激光模块发射的激光束会聚以获得施加到曝光表面的会聚光。 从激光二极管和激光器组件发射的激光束的光强度和会聚光的光强度由一种光电传感器检测。 当检测从激光二极管发射的激光束的光强度时，检测由滤光器（FL）反射并通过滤光器（FM）传输的激光束。 当检测从激光模块发射的激光束的光强度时，检测由滤光器（FL，FM）反射并发射滤光器（FH）的激光束。 当检测到转换的光的光强度时，检测由滤光器（FL，FM，FH）反射的激光束。 因此，可以检测以不同衰减比衰减的激光束。

公开(公告)号：WO2007020761A1

公开(公告)日：2007-02-22

申请号：PCT/JP2006/314029

申请日：2006-07-14

Applicant: 富士フイルム株式会社 ,  増尾 勉 ,  橋口 昭浩

Inventor： 増尾 勉 ,  橋口 昭浩

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683 ,  H05K13/04

CPC classification number: H05K13/0069 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70791

Abstract: 　プリント配線基板等のワークの周縁部をステージ上に確実に固定できるワーク固定装置と、そのステージに対する位置決め方法、及びこのワーク固定装置を備えた画像形成装置の提供を課題とする。 　ステージ１１０上に吸着されたワーク２００の周縁部を上方から押さえて密閉する押さえ部１４と、ワーク２００の周縁部を除く領域を露出させる開口部１２と、を有するワーク固定装置１０とする。このワーク固定装置１０はワーク２００用の位置決め部材２６によってステージ１１０上に位置決め載置される。また、このワーク固定装置１０を備えた画像形成装置１００とする。

Abstract translation: 本发明提供一种用于将工件（例如印刷电路板）的周边部分可靠地固定在台架上的工件定影装置，用于将工件定影装置定位到台架的方法以及设置有工件定影装置的图像形成装置 。 工件定影装置（10）具有保持部（14），用于保持从上方吸入到工作台（110）上的工件（200）的周边部分并将其密封; 以及用于暴露除了周边部分之外的工件（200）的区域的开口部分（12）。 工件定影装置（10）通过用于工件（200）的定位构件（26）定位并放置在工作台（110）上。 此外，提供具有这种工件定影装置（10）的图像形成装置（100）。

公开(公告)号：WO2006085556A1

公开(公告)日：2006-08-17

申请号：PCT/JP2006/302175

申请日：2006-02-08

Applicant: 富士写真フイルム株式会社 ,  橋口 昭浩

Inventor： 橋口 昭浩

IPC: G03F9/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F9/00 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70875

Abstract: 　待機ワーク温度を測定するワーク温度測定手段と、ステージの温度を測定するステージ温度測定手段と、前記ワーク温度測定手段で測定されたワークのワーク温度と、前記ステージ温度測定手段で測定されたステージ温度との差から、前記ワークの温度が安定するまでの待ち時間を求める待ち時間演算手段とを備え、前記待ち時間演算手段で求められた待ち時間が経過後に、前記マーク計測および露光を行なう画像形成装置であって、異なる厚みやサイズの基板であっても高い位置精度で露光できる。                                                                                 

Abstract translation: 图像形成装置设置有用于测量待机工作温度的工作温度测量装置; 用于测量舞台温度的舞台温度测量装置; 以及等待时间计算装置，用于从工作温度测量装置测量的工作温度与由台架温度测量装置测量的台架温度之间的差值获得等待工作温度稳定的时间。 在通过等待时间计算装置获得的等待时间之后，执行标记测量和曝光。 即使具有不同厚度和尺寸的基板也能以高位置精度曝光。