公开(公告)号：WO2005108446A1

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：PCT/JP2005/008361

申请日：2005-05-06

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  江田 昌隆 ,  武部 洋子 ,  横小路 修

Inventor： 江田 昌隆 ,  武部 洋子 ,  横小路 修

IPC: C08F236/20

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F214/18 ,  C08F236/20

Abstract: Disclosed is a fluorine-containing copolymer having a unit derived from a monomer unit formed by ring-forming polymerization of a fluorine-containing diene represented by the formula (1) below, and a unit derived from a monomer unit formed by ring-forming polymerization of a functional group-containing fluorine-containing diene having a specific structure or a monomer unit formed by polymerization of an acrylic monomer having a specific structure. Also disclosed are a method for producing such a fluorine-containing copolymer and a resist composition containing such a fluorine-containing polymer. CF2=CFCH2CH(C(CF3)2(OR ))CH2CR =CHR (1) In the formula (1), R and R independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having not more than 12 carbon atoms; R represents a hydrogen atom, an alkyl group having not more than 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having not more than 15 carbon atoms or CH2R (wherein R represents an alkoxycarbonyl group having not more than 15 carbon atoms); and a part of or all of the hydrogen atoms in the alkyl group, alkoxycarbonyl group or R constituting R may be substituted with fluorine atoms and the alkyl group, alkoxycarbonyl group or R constituting R may have an ether oxygen atom.

Abstract translation: 公开了具有衍生自由下述式（1）表示的含氟二烯的成环聚合形成的单体单元的单元和由形成环状聚合形成的单体单元的单元的含氟共聚物 的具有特定结构的含官能团的含氟二烯或通过具有特定结构的丙烯酸类单体的聚合形成的单体单元。 还公开了制备这种含氟共聚物的方法和含有这种含氟聚合物的抗蚀剂组合物。 CF 2 = CFCH 2 CH（C（CF 3）2（OR 3））CH 2 CR 1 = CHR 2（1）在式（1）中，R 1和R 2独立地表示氢原子或 不大于12个碳原子的烷基; R 3表示氢原子，碳原子数不超过20的烷基，碳原子数15以下的烷氧基羰基或CH 2 R 4（式中，R 4表示不大于15的烷氧基羰基 碳原子）; 烷基中的一部分或全部氢原子，烷氧基羰基或构成R 3的R 4可以被氟原子取代，烷基，烷氧基羰基或构成R 3的R 4， 可以具有醚氧原子。

公开(公告)号：WO2003066533A1

公开(公告)日：2003-08-14

申请号：PCT/JP2003/000659

申请日：2003-01-24

Applicant: 株式会社ジェムコ ,  旭硝子株式会社 ,  簗瀬 亙一 ,  江田 昌隆 ,  神谷 浩樹 ,  大森 浩太 ,  神谷 武志

Inventor： 簗瀬 亙一 ,  江田 昌隆 ,  神谷 浩樹 ,  大森 浩太 ,  神谷 武志

IPC: C02F1/58

CPC classification number: B01D17/0202 ,  C02F1/5236 ,  C02F2101/301 ,  C02F2101/36 ,  C02F2103/38

Abstract: A method of recovering a fluorochemical emulsifying agent with a lamellar composite hydroxide from a wastewater resulting from polymerization for fluoropolymer production and containing the fluorochemical emulsifying agent, which comprises yielding a lamellar composite hydroxide containing the fluorochemical emulsifying agent trapped between sheets thereof, separating the lamellar composite hydroxide from the coagulation wastewater, dissolving the hydroxide in a mineral acid, and extracting the fluorochemical emulsifying agent from the solution with a fluorinated hydrocarbon. The fluorochemical emulsifying agent can be economically recovered through a simple procedure.

Abstract translation: 一种利用层状复合氢氧化物从含氟聚合物生产聚合反应产生的废水中回收含氟化学乳化剂的方法，并含有含氟化学乳化剂，该方法包括：产生一层层状复合氢氧化物，该层状复合氢氧化物含有被截留在其片之间的含氟乳化剂， 从凝结废水中加入氢氧化物，将氢氧化物溶解在无机酸中，用氟化烃从溶液中提取含氟乳化剂。 氟化学乳化剂可以通过简单的方法经济地回收。

公开(公告)号：WO2003082793A1

公开(公告)日：2003-10-09

申请号：PCT/JP2003/003845

申请日：2003-03-27

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  舟木 宙 ,  江田 昌隆 ,  神谷 浩樹 ,  簗瀬 亙一

Inventor： 舟木 宙 ,  江田 昌隆 ,  神谷 浩樹 ,  簗瀬 亙一

IPC: C07C51/47

CPC classification number: B01D53/14 ,  B01D2257/2066 ,  Y02C20/30

Abstract: 含フッ素乳化剤を含む水性媒体中で乳化重合または水性分散重合して得られる、含フッ素乳化剤を含む含フッ素ポリマーの乾燥工程および／または熱処理工程の排気ガスと、アルカリを用いてｐＨを７以上１２未満に調整した水溶液とを、接触させて該含フッ素乳化剤を該アルカリ性水溶液中に吸収せしめ、該含フッ素乳化剤含有水溶液中で層状複水酸化物を形成させて、その層間に該含フッ素乳化剤を固定せしめて回収する。本方法によれば、含フッ素ポリマーの乾燥・熱処理工程からの排気ガス中に含まれる含フッ素乳化剤を高回収率で回収できる。

Abstract translation: 一种回收含氟乳化剂的方法，其包括使来自通过乳液聚合或水分散聚合制备的含氟聚合物在含有含氟乳化剂的水性介质中进行干燥和/或热处理的步骤的废气 并含有含氟乳化剂与pH调节至7以上且低于12的水溶液与碱接触，使含氟乳化剂吸收在碱性水溶液中，在水溶液中形成双氢氧化物 含有含氟乳化剂，将乳化剂固定在层中，回收乳化剂。 根据该方法，可以从含氟聚合物的干燥和/或热处理步骤的排气中以高回收率排出含氟乳化剂。

公开(公告)号：WO2003066532A1

公开(公告)日：2003-08-14

申请号：PCT/JP2003/000658

申请日：2003-01-24

Applicant: 株式会社ジェムコ ,  旭硝子株式会社 ,  舟木 宙 ,  江田 昌隆 ,  神谷 浩樹 ,  大森 浩太 ,  神谷 武志 ,  三浦 康輝 ,  簗瀬 亙一

Inventor： 舟木 宙 ,  江田 昌隆 ,  神谷 浩樹 ,  大森 浩太 ,  神谷 武志 ,  三浦 康輝 ,  簗瀬 亙一

IPC: C02F1/58

CPC classification number: B01D17/0202 ,  C02F1/5236 ,  C02F2101/14 ,  C02F2101/301 ,  C02F2101/36 ,  C02F2103/38

Abstract: A method of recovering a fluorochemical emulsifying agent from a wastewater which has resulted from polymerization for fluoropolymer production and contains the fluorochemical emulsifying agent and in which the content of suspending solid matters and substances which can become suspending solid matters is 1 wt.% or lower, the method comprising using divalent metal ions and trivalent metal ions to form a lamellar composite hydroxide to trap the fluorochemical emulsifying agent contained in the wastewater between sheets of the lamellar composite hydroxide, and separating the resultant lamellar composite hydroxide from the wastewater. Thus, a fluorochemical emulsifying agent can be easily and efficiently recovered from, e.g., a wastewater resulting from coagulation of a fluoropolymer.

Abstract translation: 一种由含氟聚合物生产聚合得到的废水中回收含氟化学乳化剂的方法，含有含氟化学乳化剂，其中悬浮固体物质的含量和可能成为悬浮固体物质的物质为1重量％以下， 所述方法包括使用二价金属离子和三价金属离子形成层状复合氢氧化物，以将层状复合氢氧化物的片之间的废水中含有的含氟化学乳化剂捕获，并将生成的层状复合氢氧化物与废水分离。 因此，氟化物乳化剂可以容易且有效地从例如由含氟聚合物的凝结产生的废水中回收。

公开(公告)号：WO2005019284A1

公开(公告)日：2005-03-03

申请号：PCT/JP2004/011937

申请日：2004-08-19

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  武部 洋子 ,  江田 昌隆 ,  横小路 修

Inventor： 武部 洋子 ,  江田 昌隆 ,  横小路 修

IPC: C08F236/20

CPC classification number: C08F236/20 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397

Abstract: 　官能基を有し、幅広い波長領域で高い透明性を有する含フッ素ポリマーおよび該含フッ素ポリマーからなるレジスト用組成物を与える。 　下記式（１）で表される含フッ素ジエンが環化重合したモノマー単位に由来する単位、および他の環化重合したモノマー単位に由来する単位またはアクリル系単量体が重合したモノマー単位に由来する単位を有する含フッ素共重合体およびこれらをベースポリマーとするレジスト組成物。 　ＣＦ ２ ＝ＣＦＣＨ ２ ＣＨ(ＣＨ ２ Ｃ(ＣＦ ３ ) ２ （ＯＲ １ ）)ＣＨ ２ ＣＨ＝ＣＨ ２ 　（１） 　ただし、Ｒ １ は水素原子、エーテル性酸素原子を有してもよい炭素数２０以下のアルキル基、炭素数６以下のアルコキシカルボニル基またはＣＨ ２ Ｒ ２ （Ｒ ２ は炭素数６以下のアルコキシカルボニル基）である。

Abstract translation: 具有官能团且在宽波长范围内高度透明的含氟聚合物; 和含有该含氟聚合物的抗蚀剂组合物。 含氟共聚物包括：由下式（1）表示的氟化二烯衍生的单体并通过单体的环化聚合形成的单元; 和衍生自其它单体并由其环化聚合形成的单元或衍生自丙烯酸单体的单元并通过其聚合形成的单元。 抗蚀剂组合物含有作为基础聚合物的含氟共聚物。 CF 2 = CFCH 2 CH（CH 2 C（CF 3）2（OR 1））CH 2 CH = CH 2（1）式中，R 1是氢，任选地具有醚性氧，C 6或低级烷氧基羰基或CH 2 R 2>（其中R 2为C6或低级烷氧基羰基）。

公开(公告)号：WO2006011427A1

公开(公告)日：2006-02-02

申请号：PCT/JP2005/013507

申请日：2005-07-22

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  武部 洋子 ,  江田 昌隆 ,  横小路 修 ,  佐々木 崇

Inventor： 武部 洋子 ,  江田 昌隆 ,  横小路 修 ,  佐々木 崇

IPC: C08F36/20 ,  C07C33/42 ,  C07C43/17 ,  G03F7/039 ,  G03F7/11

CPC classification number: C07C43/30 ,  C07C33/423 ,  C07C43/17 ,  C08F36/20 ,  C08F214/18 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/11 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/146

Abstract: 　官能基を有し、幅広い波長領域で高い透明性を有する含フッ素ポリマーならびに該含フッ素ポリマーからなるレジスト用組成物およびレジスト保護膜組成物の提供。 　下記式（１）で表される含フッ素ジエンを環化重合してなるモノマー単位を有する含フッ素ポリマー。 　ＣＦ 2 ＝ＣＦＣＦ 2 Ｃ（ＣＦ 3 ）（ＯＲ 1 ）－（ＣＨ 2 ） n ＣＲ 2 ＝ＣＨＲ 3 　・・・（１） （ただし、式（１）中、Ｒ 1 は、水素原子、炭素数２０以下のアルキル基、または（ＣＨ 2 ） a ＣＯＯＲ 4 （ａは０または１であり、Ｒ 4 は水素原子または炭素数２０以下のアルキル基）を表す。Ｒ 2 およびＲ 3 は、それぞれ独立に水素原子または炭素数１２以下のアルキル基を表す。ｎは０または２を表す。但し、ｎ＝０の場合、Ｒ 1 、Ｒ 2 およびＲ 3 のうち少なくとも１つは水素原子以外である。）

Abstract translation: 公开了具有官能团并且在宽波长范围内高度透明的含氟聚合物。 还公开了由这种含氟聚合物和抗蚀剂保护膜组合物组成的抗蚀剂组合物。 具体公开了具有通过含氟二烯的成环聚合获得的由下式（1）表示的单体单元的含氟聚合物：CF 2 2 = CFCF 2 < / SUB> C（CF _{3 ）（OR ^{1 ） - （CH 2 ）名词 CR 2 = CHR 3 。 [式（1）中，R 1表示氢原子，碳原子数为20以下的烷基或（CH 2）2） COOR 4（其中a为0或1，R 4表示氢原子或碳原子数为20以下的烷基），R 2， R 0和R 3独立地表示氢原子或碳原子数为12以下的烷基，n表示0或2.当n为0时，R 1 R 2，R 3和R 3不同于氢原子。]}}