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公开(公告)号：WO2005064254A1
公开(公告)日：2005-07-14
申请号：PCT/JP2004/019251
申请日：2004-12-22
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 中島 誠 , 齋藤 孝規 , 滝澤 剛 , 本間 学
IPC: F27B5/18
CPC classification number: F27B17/0025 , F27B5/04 , F27B5/18
Abstract: 縦型熱処理装置は、処理領域（Ａ１）を有する処理容器（５）を含む。処理領域（Ａ１）は上下方向に間隔をおいて保持された複数枚の被処理基板（Ｗ）を収容するように設定される。装置はまた、処理容器（５）を包囲するように配設された電気ヒータ（１５）を有する加熱炉（８）と、加熱炉（８）内に冷却ガスを送風する電気送風機（１６）と、を含む。制御部（２２）は、処理領域（Ａ１）を目標温度に収束させるため、ヒータ（１５）に給電して目標温度の直下の所定温度まで処理領域を加熱する。所定温度になった時点で、ヒータ（１５）への給電を低下させると共に、送風機（１６）により供給される冷却ガスにより処理領域（Ａ１）を強制的に冷却する。
Abstract translation: 立式热处理装置包括具有处理区域（A1）的处理容器（5）。 处理区域（A1）被设定为接收以垂直间隔保持的被处理基板（W）。 该装置还具有加热炉（8），该加热炉具有设置成围绕处理容器（5）的电加热器（15），并具有用于将冷却气体吹入加热炉（8）的电动鼓风机（16）。 为了使处理区域（A1）的温度收敛于目标温度，控制部件（22）向加热器（15）供电以将处理区域（A1）加热到直接低于目标温度的预定温度 。 当达到预定温度时，减少对加热器（15）的供电，同时，处理区域（A1）被由鼓风机（16）供应的冷却气体强制冷却。
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公开(公告)号：WO2007080654A1
公开(公告)日：2007-07-19
申请号：PCT/JP2006/300403
申请日：2006-01-13
CPC classification number: F02D41/1439 , F02B77/086 , F02F1/242 , F02F1/34 , F02P15/02
Abstract: この内燃機関は、吸気ポート及び排気ポートが設けられたシリンダヘッドと、このシリンダヘッドに取り付けられる二つのプラグとを備え、前記排気ポートを挟んで一側に前記各プラグの一方が配置され、他側に排気ガスセンサが配置されている。
Abstract translation: 内燃机具有形成有进气口和排气口的气缸盖，并且还具有安装在气缸盖上的两个塞子。 在排气口处于中间位置时，其中一个插头位于排气口的一侧，另一侧排气传感器。
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公开(公告)号：WO2003041139A1
公开(公告)日：2003-05-15
申请号：PCT/JP2002/010079
申请日：2002-09-27
IPC: H01L21/205
CPC classification number: H01L21/67109 , H01L21/67098
Abstract: A thermal treatment apparatus, characterized by comprising a heating furnace body having an opening part provided at the upper end thereof, a heating means installed on the inner wall of the heating furnace body, a reaction container formed of a single tube stored inside the heating furnace body, an exhaust pipe connection part formed at the upper part of the reaction container, and a first temperature control means installed on the peripheral surface of the exhaust pipe connection part.
Abstract translation: 一种热处理装置，其特征在于，包括：加热炉体，其具有设置在其上端的开口部;加热装置，其安装在所述加热炉体的内壁;反应容器，由容纳在所述加热炉内的单管形成的反应容器 形成在反应容器的上部的排气管连接部以及安装在排气管连接部的周面的第一温度控制装置。
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