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公开(公告)号：WO2012108457A1
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：PCT/JP2012/052844
申请日：2012-02-08
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 能野 隆文 , 柴山 勝己
CPC classification number: G02B5/0808 , B29C43/021 , B29C43/36 , B29D11/00769 , B29L2011/0016 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J2003/1852 , G02B5/00 , G02B5/10 , G02B5/18 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , G02B5/1861 , Y10T428/24521
Abstract: 光学素子１は、表面２ａに凹部３が形成された基材２と、基材２上に配置された成形層４と、を備えている。成形層４は、凹部３の深さ方向から見た場合に凹部３内に位置する本体部５、及び本体部５と繋がった状態で基材２の表面２ａ上に位置する乗上げ部６を有している。本体部５において凹部３の底面３ｂと対向する曲面４ｂには、光学機能部１０が設けられている。
Abstract translation: 光学元件（1）包括基板（2），在其表面（2a）上形成有凹陷部分（3），以及位于基板（2）上的模制层（4）。 模制层（4）还包括当从凹陷部分（3）的深度方向观察时位于凹陷部分（3）内的主体部分（5）和位于该凹陷部分 基板（2）的正面（2a）处于连接到主体部分（5）的状态。 在与凹部（3）的底面（3b）相对的主体部（5）的弯曲面（4b）中形成有光学功能部（10）。
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公开(公告)号：WO2011125443A1
公开(公告)日：2011-10-13
申请号：PCT/JP2011/056286
申请日：2011-03-16
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 柴山 勝己 , 能野 隆文
IPC: G01J3/24
CPC classification number: G01J3/021 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0256 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/36
Abstract: 分光モジュール１では、分光部７と光検出素子４とに加えて、分光部８と光検出素子９とが設けられているので、広い波長域の光や異なる波長域の光に対して検出感度を高めることができる。更に、光検出部４ａと光検出部９ａとの間に光通過孔４ｂが設けられており、光吸収性の基板２の領域Ｒと対向するように反射部６が設けられているので、大型化を防止することができる。また、外乱光Ｌａは、基板２の領域Ｒで吸収される。そして、外乱光Ｌａの一部が基板２における領域Ｒを透過したとしても、その一部の光は、領域Ｒと対向するように設けられた反射部６によって、領域Ｒ側に反射されるので、外乱光Ｌａの入射に起因した迷光の発生を抑制することができる。
Abstract translation: 通过提供除了光谱仪单元（7）和光谱仪检测元件（4）之外的另一个光谱仪单元（8）和光谱仪检测元件（9），所公开的光谱仪模块（1）增加了对光 宽范围的波长和不同波长范围的光。 此外，通过在光检测单元（4a）和光检测单元（9a）之间设置透光孔（4b），并且提供反射单元（6），从而防止所公开的光谱仪模块的尺寸增加 从吸光基板（2）的区域（R）。 此外，环境光（La）被衬底（2）上的所述区域（R）吸收，并且即使一部分环境光（La）穿透衬底（2）上的区域（R），该部分 光通过与区域（R）相对设置的反射单元（6）反射回区域（R）。 通过这种方式，可以抑制由入射环境光（La）引起的杂散光的发生。
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公开(公告)号：WO2011027747A1
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：PCT/JP2010/064806
申请日：2010-08-31
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 柴山 勝己 , 能野 隆文
IPC: G01J3/18
CPC classification number: G01J3/0262 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0259 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2823
Abstract: この分光モジュールでは、回折層６よりも厚くなるように回折層６の周縁６ａに沿って鍔部７が一体的に形成されており、しかも、レンズ部３の曲面３ａにおいて鍔部７と接触する部分が粗面となっている。これにより、曲面３ａとの接着性が高まった鍔部７によって、回折層６が包囲されることになる。そのため、回折層６を薄型化しても、回折層６がレンズ部３の凸状の曲面３ａから剥離するのを防止することができる。更に、この分光モジュールでは、鍔部７においてレンズ部３の曲面３ａと対向する後面７ａが平坦面となっている。これにより、光が鍔部７内に入射しても、その光は鍔部７の平坦面である後面７ａに達する。そのため、迷光として光検出素子の光検出部に直接結像される光を低減することができる。
Abstract translation: 公开了一种光谱模块，其中法兰（7）沿着衍射层（6）的边缘（6a）以与衍射层（6）更厚的方式一体形成，并且其中弯曲 接触凸缘（7）的透镜（3）的表面（3a）具有粗糙的表面。 结果，衍射层（6）被凸缘（7）围绕，具有对弯曲表面（3a）的粘合性能的增加。 因此，即使衍射层（6）的厚度减小，也可以防止衍射层（6）与透镜（3）的凸曲面（3a）的分离。 此外，在光谱模块中，与透镜（3）的弯曲表面（3a）相对的凸缘（7）上的后表面（7a）是平坦表面。 结果，即使在法兰（7）中照射光，光将到达法兰（7）的平坦后表面（7a）。 因此，可以将杂散光的直接成像减少到光检测元件的光检测单元。
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公开(公告)号：WO2009139316A1
公开(公告)日：2009-11-19
申请号：PCT/JP2009/058618
申请日：2009-05-07
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0286 , G01J3/0297 , G01J2003/1213 , G02B5/1814 , G02B7/025 , Y10T156/10
Abstract: 分光モジュール１の製造方法においては、光検出素子５と光透過板５６とが貼り合わされて構成された光検出ユニット１０を光学樹脂剤６３によって基板２の前面２ａに接着する。このとき、光検出素子５の光通過孔５０が光透過板５６によって覆われているため、光通過孔５０内への光学樹脂剤６３の進入が防止される。しかも、光検出ユニット１０を準備するに際しては、光検出部５ａが設けられた半導体基板９１と光透過板５６とを貼り合わせた後に、半導体基板９１に光通過孔５０を形成するため、屈折や散乱等の発生の原因となり得るものが光通過孔５０内に進入するのを確実に防止することができる。
Abstract translation: 在制造光谱模块（1）的方法中，将通过使光检测元件（5）粘附到透光板（56）而构成的光检测单元（10）粘贴到基板的前表面（2a） （2）通过光学树脂剂（63）。 由于光检测元件（5）的透光孔（50）然后被透光板（56）覆盖，所以防止光学树脂剂（63）进入透光孔（50）。 此外，在准备了光检测单元（10）的情况下，在将设置有光检测单元（5a）的半导体基板（91）贴在半导体基板（91）上之后，在半导体基板（91）上形成透光孔（50） 光可透过板（56），从而可以防止可能导致折射，散射等的发生进入透光孔（50）。
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公开(公告)号：WO2008149928A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/JP2008/060361
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 柴山 勝己 , 能野 隆文 , 鈴木 智史 , テイチマン ヘルムート , ヒラル ディエトマル , スタルケル ウルリッチ
Inventor： 柴山 勝己 , 能野 隆文 , 鈴木 智史 , テイチマン ヘルムート , ヒラル ディエトマル , スタルケル ウルリッチ
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光モジュール１では、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔６ａ、及び光検出素子４の光検出部４ａに進行する光Ｌ２が通過する光通過孔６ｂを有する光吸収層６がパターニングによって一体成形される。そのため、光通過孔６ａと光通過孔６ｂとの相対的な位置関係にずれが生じるのを防止することができる。しかも、光吸収層６によって、迷光の発生が抑制され、また、迷光が吸収されるため、光検出素子４の光検出部４ａに迷光が入射するのを抑制することができる。従って、分光モジュール１によれば、信頼性を向上させることが可能となる。
Abstract translation: 在分光模块（1）中，具有通过光通过孔（6a）的光通过孔（6a）的光吸收层（6）穿过光束（3）通过的光通过孔（6b） L2）行进到光检测元件（4）的光检测部分（4a）通过图案化一体地形成。 因此，可以防止光通过孔（6a）和光通过孔（6b）之间的相对位置关系的位移发生。 此外，光吸收层（6）减少杂散光的发生并吸收杂散光，从而可以防止杂散光进入光检测元件（4）的光检测部分（4a）。 因此，分光模块（1）能够提高可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2012114632A1
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/JP2011/079541
申请日：2011-12-20
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 能野 隆文 , 柴山 勝己
CPC classification number: G01J3/021 , G01J3/0259 , G01J3/18
Abstract: 分光モジュール１は、パッケージ本体２と、パッケージ蓋７及び支持基板１１と、透過型グレーティング素子１３と、ミラー素子２０と、光検出素子１５と、を備えている。本体２には、空洞３が形成されている。蓋７及び基板１１は、空洞３の底面３ｂと対向するように本体２に取り付けられており、空洞３外から空洞３内に光Ｌを通過させる。グレーティング素子１３は、基板１１によって支持されており、空洞３外から入射した光Ｌを分光すると共に空洞３の底面３ｂ側に透過させる。ミラー素子２０は、空洞３の底面３ｂに配置されており、グレーティング素子１３によって分光された光Ｌを反射する。光検出素子１５は、基板１１によって支持されており、ミラー素子２０によって反射された光Ｌを検出する。
Abstract translation: 光谱仪模块（1）设置有封装主体（2），封装盖（7）和支撑基板（11），透光光栅元件（13），反射镜元件（20）和光电检测元件 15）。 空腔（3）形成在主体（2）中。 盖（7）和基板（11）以与空腔（3）的底面（3b）相对的方式安装到主体（2）上，并且允许光（L）穿过腔体内 （3）从空腔（3）外部。 光栅元件（13）由基板（11）支撑，衍射从空腔（3）的外部发射的光（L），并使光（L）穿透到空腔的底面（3b）侧 （3）。 镜元件（20）位于空腔（3）的底表面（3b）上，并且反射由光栅元件（13）衍射的光（L）。 光检测元件（15）由衬底（11）支撑，并且检测由镜元件（20）反射的光（L）。
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公开(公告)号：WO2011125440A1
公开(公告)日：2011-10-13
申请号：PCT/JP2011/056247
申请日：2011-03-16
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 能野 隆文 , 柴山 勝己
IPC: G01J3/24
CPC classification number: G01J3/28 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18
Abstract: 分光モジュール１では、分光部４と光検出素子５とに加えて、分光部８と光検出素子９とが設けられているので、広い波長域の光や異なる波長域の光に対して検出感度を高めることができる。更に、光検出部５ａと光検出部９ａとの間に光通過孔５ｂ及び光吸収層１２が設けられており、その光吸収層１２（すなわち、領域Ｒ）と対向するように反射部７が設けられているので、大型化を防止することができる。また、外乱光Ｌａは、光吸収層１２に吸収される。そして、外乱光Ｌａの一部が光吸収層１２の領域Ｒを透過したとしても、その一部の光は、領域Ｒと対向するように設けられた反射部７によって領域Ｒ側に反射されるので、外乱光Ｌａの入射に起因した迷光の発生を抑制することができる。
Abstract translation: 通过提供除了光谱仪单元（4）和光谱仪检测元件（5）之外的另外的光谱仪单元（8）和光谱仪检测元件（9），所公开的光谱仪模块（1）增加了对光 宽范围的波长和不同波长范围的光。 此外，通过在光检测单元（5a）和光检测单元（9a）之间设置透光孔（5b）和光吸收层（12），防止了所公开的光谱仪模块的尺寸增大， 并设置与光吸收层（12）相对的反射单元（7）（即区域（R））。 此外，环境光（La）被光吸收层（12）吸收，并且即使一部分环境光（La）穿过光吸收层（12）的区域（R），该部分 光通过与区域（R）相对设置的反射单元（7）反射回区域（R）。 通过这种方式，可以抑制由入射的环境光（La）引起的杂散光的发生。
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公开(公告)号：WO2009110110A1
公开(公告)日：2009-09-11
申请号：PCT/JP2008/060574
申请日：2008-06-10
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 柴山 勝己 , 能野 隆文 , 鈴木 智史 , テイチマン ヘルムート , ヒラル ディエトマル , スタルケル ウルリッチ
Inventor： 柴山 勝己 , 能野 隆文 , 鈴木 智史 , テイチマン ヘルムート , ヒラル ディエトマル , スタルケル ウルリッチ
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0259 , G01J3/0291
Abstract: 回折層８と一体的に形成された周縁部１１の平面１１ａにアライメントマーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを形成し、基板２にレンズ部７を実装する際に、これらのアライメントマーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを基板２に対して位置合わせすることによって、例えばレンズ部７の曲率半径の誤差などによらず、回折層８を光検出素子４の光検出部４ａに対して正確にアライメントする。特に、アライメントマーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを平面１１ａに形成することで、画像認識によってこのアライメントマーク１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを正確に位置検出し、これによって正確なアライメントを可能とする。
Abstract translation: 当在与衍射层（8）整体形成的圆周部分（11）上的平面表面（11a）上形成对准标记（12a，12b，12c，12d），并且透镜部分（7）安装在基板 （2）中，对准标记（12a，12b，12c，12d）与基板（2）对准。 在这种方法中，衍射层（8）与光学检测器元件（4）上的光学检测器部分（4a）精确对准，而不依赖于例如透镜部分（7）等的曲率半径的误差 。 特别是通过在平面（11a）上形成对准标记（12a，12b，12c，12d），可以通过图像识别精确地检测对准标记（12a，12b，12c，12d）的位置，从而允许精确对准 。
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公开(公告)号：WO2008149941A1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：PCT/JP2008/060379
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 鈴木 智史 , 柴山 勝己 , 能野 隆文 , 伊藤 将師 , テイチマン ヘルムート , ヒラル ディエトマル , スタルケル ウルリッチ
Inventor： 鈴木 智史 , 柴山 勝己 , 能野 隆文 , 伊藤 将師 , テイチマン ヘルムート , ヒラル ディエトマル , スタルケル ウルリッチ
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/2803 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/04
Abstract: 分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａに形成された配線９にフェースダウンボンディングによって電気的に接続された光検出素子４と、光検出素子４の本体部２側に充填され、光Ｌ１，Ｌ２を透過させるアンダーフィル材１２と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有しており、光検出素子４における本体部２側の後面４ａには、光通過孔４２の光出射開口４２ｂを囲むように矩形環状の凸部４３が形成されている。
Abstract translation: 分光模块（1）包括用于传输光（L1，L2）的主体部分（2），用于分散从前表面（2a）进入主体部分（2）的光（L1）的分光部分（3） ），并且将分散的光反射到前面（2a）;光检测元件（4），具有光检测部（41），用于检测由分光部分分散和反射的光（L2） （3），并且通过面朝下接合与主体部分（2）的前表面（2a）上形成的布线（9）电连接;以及填充到主体部分（2）上的部分中的底部填充材料（12） 光检测元件（4）的一侧，用于传输光（L1，L2）。 光检测元件（4）具有通过分光部（3）的光（L1）通过的光通过孔（42），在背面（4a）上形成有矩形的环状部（43） 所述光检测元件（4）的主体部分（2）侧围绕所述光通过孔（42）的发光开口（42b）。
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公开(公告)号：WO2013015009A1
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：PCT/JP2012/063661
申请日：2012-05-28
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 , 能野 隆文 , 柴山 勝己 , 廣瀬 真樹 , 加藤 勝彦
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0256 , G01J3/0202 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291
Abstract: 分光器１Ａは、光入射部６が設けられたパッケージ２と、パッケージ２のうち光入射部６と対向する支持部４を貫通する複数のリードピン８と、パッケージ２内において支持部４上に支持された分光モジュール３Ａと、を備える。分光モジュール３Ａは、光入射部６から入射した光Ｌ１を通過させる光通過部２２が設けられた光検出ユニット２０と、光検出ユニット２０に対して支持部４側に配置されるように光検出ユニット２０に固定され、光通過部２２を通過した光Ｌ１を分光すると共に光検出部２６に反射する分光部３５を有する分光ユニット３０と、を有する。リードピン８は、光検出ユニット２０に設けられた嵌め部２９に嵌められ、光検出部２６と電気的に接続されている。
Abstract translation: 分光器（1A）包括：具有设置在其中的光入射部分（6）的封装（2）; 多个引导销（8），其刺穿在所述封装（2）中面向所述光入射部分（6）的支撑部分（4）; 以及支撑在所述包装（2）内部的所述支撑部（4）上的分光模块（3A）。 分光模块（3A）具有：具有设置在其中的使光入射部（6）入射的光（L1）通过的光通过部（22）的光检测部（20） 以及分光单元（30），其固定到所述光检测单元（20），以相对于所述光检测单元（20）布置在所述支撑部（4）侧上，并且具有分光部（35） 光通过光通过部分（22）并将其反射到光检测单元（26）的光（L1）。 引线销（8）装配在设置在光检测单元（20）中的配合部分（29）中，并且电连接到光检测部分（26）。
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