公开(公告)号：WO2007145234A1

公开(公告)日：2007-12-21

申请号：PCT/JP2007/061868

申请日：2007-06-13

Applicant: 貞徳舎株式会社 ,  田中 健司 ,  北村 公男

Inventor： 田中 健司 ,  北村 公男

IPC: B32B15/04 ,  F27D11/02 ,  H05B3/00

CPC classification number: H05B3/009 ,  F27D11/00

Abstract: 　高温雰囲気下でも反射性能を維持することができ、反射波長の特性も良好で、安価に製造することの可能な反射体及びその製造方法並びにこれを用いたヒーターユニット及び炉を提供すること。 　鋼材又はセラミックス等の基材の一側に中間層を介して貴金属層をコーティングにより設ける。貴金属層により熱線を反射する。一側が高温雰囲気に面し、中間層３ｂがフリットにより構成される。中間層３ｂの厚さは高温雰囲気で貴金属層３ｃと基材３ａとの熱膨張の差異を吸収すると共に貴金属層３ｃを維持しうる厚さである。

Abstract translation: 本发明提供即使在高温环境下也能够保持反射性能的反射体，具有优异的反射波长特性，能够以低成本制造。 还提供了制造这种反射器的方法，以及使用这种反射器的加热器单元和炉子。 诸如钢材或陶瓷的基材的一侧通过中间层涂覆有贵金属层。 热射线被贵金属层反射。 基材的一侧面向高温气氛，中间层（3b）由玻璃料构成。 中间层（3b）的厚度可以消除贵金属层（3c）与高温气氛中的基体材料（3a）的热膨胀之间的差异并维持贵金属层（3c）。

公开(公告)号：WO2014073546A1

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：PCT/JP2013/079940

申请日：2013-11-05

Applicant: 貞徳舎株式会社

Inventor： 北村　公男 ,  田中　健司 ,  ハサン　マスドウル　モハマド ,  西原　淳一

IPC: H01L21/02 ,  H05B3/20 ,  H05B3/86

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H05B3/143 ,  H05B3/265 ,  H05B3/84 ,  H05B2203/003 ,  H05B2203/013

Abstract: 　簡易な加熱制御で複数の枚葉物を同時に且つ同一条件で均一に加熱することが可能な電気ヒーター及びこれを備えた半導体製造装置を提供すること。　蛇行状の電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を挟み込んで保持する一対の石英板２０とを備え、半導体ウエハ等の枚葉物Ｗを加熱する。ヒーター全体が放射方向に境界２ｘを有するように区分けされる複数区分２よりなる。各区分２は１枚の枚葉物Ｗを加熱する。発熱体１０は、各区分２で少なくとも円盤の内周部Ａ１、中央部Ａ２及び外周部Ａ３に区分けされる。内周部Ａ１、中央部Ａ２及び外周部Ａ３毎に隣接する各区分に属する発熱体１０を直列に接続する。内周部Ａ１、中央部Ａ２及び外周部Ａ３毎に個別に加熱制御される。

Abstract translation: 提供一种电加热器，能够同时且在相同的条件下，通过简单的加热控制均匀地加热多个片状物体; 以及包括该半导体制造装置的半导体制造装置。 电加热器包括在其中形成有曲折电流路径的平面发热体（10）和夹在并保持在这些发热体（10）之间的一对石英板（20）。 电加热器加热诸如半导体晶片的片状物体（W）。 整个加热器包括沿辐射方向分割成具有边界（2x）的多个段（2）。 每个段（2）加热一个片状物体（W）。 发热体（10）在每个部分（2）中被分成至少圆盘形的内周（A1），中心（A2）和外周（A3）部分。 属于每个部分并且在每个内周（A1），中心（A2）和外周（A3）部分中相邻的发热体（10）串联连接。 发热体（10）在内周（A1），中心（A2）和外周（A3）部分分别进行热控制。

公开(公告)号：WO2014073545A1

公开(公告)日：2014-05-15

申请号：PCT/JP2013/079939

申请日：2013-11-05

Applicant: 貞徳舎株式会社

Inventor： 北村　公男 ,  田中　健司 ,  ハサン　マスドウル　モハマド ,  西原　淳一

IPC: H01L21/02 ,  H05B3/84

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H05B3/143 ,  H05B3/265 ,  H05B3/84 ,  H05B2203/003 ,  H05B2203/013

Abstract: 　発熱体の短絡を防止し且つ加熱効率の良い電気ヒーター並びにこれを備えた加熱装置及び半導体製造装置を提供すること。　スリット１４を形成することにより電流路を形成した板状の発熱体１０と、この発熱体１０を支持する板状の絶縁体２０とを備える。発熱体１０を絶縁体２０上に支持する。この絶縁体２０上にスリット１４内に位置して発熱体１０の電流路の短絡を防ぐピン２３ａ，２３ｂを突出させる。複数の絶縁棒３０を設けてこの絶縁棒３０と絶縁体２０とで発熱体１０を挟持する。

Abstract translation: 提供：防止发热体短路并具有良好加热效率的电加热器; 以及加热装置和包括该加热装置的半导体制造装置。 电加热器包括通过形成狭缝（14）形成电流路径的板状发热体（10）和支撑该发热体（10）的板状绝缘体（20）。 发热体（10）支撑在绝缘体（20）上。 在该绝缘体（20）的上方，使位于狭缝（14）内的引脚（23a，23b）突出，防止发热体（10）的电流通路短路。 设置多个绝缘棒（30），发热体（10）夹在这些绝缘棒（30）和绝缘体（20）之间。

公开(公告)号：WO2007023855A1

公开(公告)日：2007-03-01

申请号：PCT/JP2006/316501

申请日：2006-08-23

Applicant: 株式会社日立国際電気 ,  貞徳舎株式会社 ,  宮田 敏光 ,  林田 晃 ,  島田 真一 ,  北村 公男 ,  田中 健司

Inventor： 宮田 敏光 ,  林田 晃 ,  島田 真一 ,  北村 公男 ,  田中 健司

IPC: H05B3/06 ,  H01L21/205 ,  H01L21/22 ,  H01L21/324 ,  H05B3/64

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 　基板を収納し処理する処理室と、発熱体と断熱材とを有し、この発熱体により処理室内の基板を加熱する加熱装置を設ける。前記発熱体は一端のみを保持部によって保持されるように形成され、前記断熱材には発熱体の中間部で処理室側に突出し発熱体に近接又は接当する突起を設けてある。拡大部を有するピンを前記発熱体の中間部において発熱体及び断熱材に貫通させて前記拡大部を発熱体に近接又は接当させる。前記断熱材に前記突起を複数設け、これら複数の突起間に前記ピンを配置してもよい。

Abstract translation: 一种基板处理装置，包括用于存储和处理基板的处理室和具有加热元件和隔热件的加热装置，并且通过加热元件加热处理室中的基板。 加热元件形成为只有其一端由保持部保持，并且在加热元件的中间部分处突出到处理室侧并且位于加热元件附近或与加热元件接触的突起处形成在 隔热材料。 具有放大部分的销通过加热元件并且在加热元件的中间部分处的隔热件，并且扩大部分位于加热元件附近或与加热元件接触。 多个突起可以形成在绝热体上，并且销可以设置在这些多个突起之间。