公开(公告)号：WO2004027849A1

公开(公告)日：2004-04-01

申请号：PCT/JP2003/011988

申请日：2003-09-19

Applicant: 株式会社日立国際電気 ,  堀田 將 ,  中田 靖則 ,  関 雅夫 ,  堀井 貞義 ,  宮 博信 ,  橋場 祥晶

Inventor： 堀田 將 ,  中田 靖則 ,  関 雅夫 ,  堀井 貞義 ,  宮 博信 ,  橋場 祥晶

IPC: H01L21/316

CPC classification number: H01L21/02238 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/31662 ,  H01L21/6715

Abstract: 酸化膜形成装置（１０）の導入管（１８）には、オゾン（３２）を生成するオゾナイザ（３１）と、脱イオン水（３５）が貯留されオゾナイザ（３１）のオゾン（３２）を供給するオゾン供給管（３３）が脱イオン水（３５）の中に浸漬されてバブリングされるバブラ（３４）と、オゾン（３２）のバブリングで生成したＯＨ＊を含む酸化剤（３７）を供給する供給管（３６）とを備えた酸化剤供給装置（３０）が、接続されている。オゾンを水中でバブリングして生成したＯＨ＊を含む酸化剤は強力な酸化力を有するので、ウエハに酸化膜を比較的に低温下で短時間に形成できる。プラズマを使用せずに済むので、ウエハに先に形成された半導体素子や回路パターン等にプラズマダメージを与えるのを未然に回避できる。酸化膜形成装置のスループットや性能および信頼性を向上できる。

Abstract translation: 氧化剂供给单元（30）包括用于产生臭氧的臭氧发生器（31），保持去离子水（35）的起泡器（34）和用于从臭氧发生器（32）供应臭氧的臭氧供应管（33） （31）浸入去离子水（35）中以形成臭氧气泡;以及供给管（36），用于供给由臭氧气泡产生的包含OH *的氧化剂（37）。 单元（30）连接到氧化膜形成装置（10）的进料管（18）。 由于在水中由臭氧气泡产生的OH *的氧化剂具有强的氧化能力，所以可以在短时间内在相对低的温度下在晶片上形成氧化膜。 由于不使用等离子体，因此可以防止预先形成在晶片上的半导体器件或电路图案被等离子体损坏。 因此，氧化膜形成装置的生产能力，性能和可靠性得到提高。