公开(公告)号：WO2011145802A2

公开(公告)日：2011-11-24

申请号：PCT/KR2011/002048

申请日：2011-03-25

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  박익근 ,  박태성 ,  곽동열

Inventor： 박익근 ,  박태성 ,  곽동열

CPC classification number: G01Q60/32 ,  G01N29/022 ,  G01N29/036 ,  G01N2291/044

Abstract: 본 발명은 초음파 원자현미경장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초음파 원자현미경장치는, 공진 주파수 신호를 입력받아 시료편에 초음파 가진을 수행하는 접촉식 캔틸레버가 설치된 초음파 원자현미경장치에 있어서, 상기 캔틸레버에 상기 공진주파수 신호를 인가하여 상기 캔틸레버를 진동시키는 함수발생부와, 상기 캔틸레버의 진동신호를 획득하여 증폭하는 락-인 증폭부를 포함하는 제어구동부; 상기 캔틸레버의 표면에 정렬된 레이저로부터 조사되어 상기 시료편에 반사된 레이저 광을, 복수 개의 영역으로 분할되어 배치되는 변위센서에 의하여, 감지하여 상기 캔틸레버의 변위정보를 측정하는 캔틸레버 헤드부와, 상기 캔틸레버의 상기 시료편에 대한 접촉력을 유지시키는 캔틸레버 구동부를 포함하는 변위측정부; 및 상기 제어구동부 및 상기 변위측정부의 동작을 제어하고, 상기 락-인 증폭부에 의하여 증폭된 진동신호와 상기 변위측정부에 의하여 감지된 변위정보를 통하여 나노크기의 시료편 이미지와 탄성특성이미지를 생성할 수 있는 마이컴을 포함할 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及超声原子力显微镜装置。 根据本发明的超声波原子力显微镜装置具有接收型谐振频率信号后的超声波向样本片发射的接触型悬臂，具有：包括功能发生单元的控制驱动单元， 对悬臂的谐振频率信号，以及锁定放大器单元，获得和放大悬臂的振动信号; 位移测量装置，包括：悬臂头单元，其通过检测在从悬臂的表面上对准的激光器投影后的反射到样​​品片上的激光束，通过位移传感器来测量悬臂的位移信息，所述位移传感器被布置成被分成 多个区域，以及保持施加在悬臂的样品片上的接触力的悬臂驱动单元; 以及微型计算机，其控制所述控制驱动单元和所述位移测量单元的操作，并且使用通过由所述锁定放大器单元放大的振动信号检测到的位移信息和由所述锁定放大器单元检测到的位移信息来生成纳米尺度样本图像和弹性特性图像 位移测量单元。