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公开(公告)号：WO2011145802A2
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：PCT/KR2011/002048
申请日：2011-03-25
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 박익근 , 박태성 , 곽동열
CPC classification number: G01Q60/32 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/044
Abstract: 본 발명은 초음파 원자현미경장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초음파 원자현미경장치는, 공진 주파수 신호를 입력받아 시료편에 초음파 가진을 수행하는 접촉식 캔틸레버가 설치된 초음파 원자현미경장치에 있어서, 상기 캔틸레버에 상기 공진주파수 신호를 인가하여 상기 캔틸레버를 진동시키는 함수발생부와, 상기 캔틸레버의 진동신호를 획득하여 증폭하는 락-인 증폭부를 포함하는 제어구동부; 상기 캔틸레버의 표면에 정렬된 레이저로부터 조사되어 상기 시료편에 반사된 레이저 광을, 복수 개의 영역으로 분할되어 배치되는 변위센서에 의하여, 감지하여 상기 캔틸레버의 변위정보를 측정하는 캔틸레버 헤드부와, 상기 캔틸레버의 상기 시료편에 대한 접촉력을 유지시키는 캔틸레버 구동부를 포함하는 변위측정부; 및 상기 제어구동부 및 상기 변위측정부의 동작을 제어하고, 상기 락-인 증폭부에 의하여 증폭된 진동신호와 상기 변위측정부에 의하여 감지된 변위정보를 통하여 나노크기의 시료편 이미지와 탄성특성이미지를 생성할 수 있는 마이컴을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及超声原子力显微镜装置。 根据本发明的超声波原子力显微镜装置具有接收型谐振频率信号后的超声波向样本片发射的接触型悬臂，具有：包括功能发生单元的控制驱动单元， 对悬臂的谐振频率信号，以及锁定放大器单元，获得和放大悬臂的振动信号; 位移测量装置，包括：悬臂头单元，其通过检测在从悬臂的表面上对准的激光器投影后的反射到样品片上的激光束，通过位移传感器来测量悬臂的位移信息，所述位移传感器被布置成被分成 多个区域，以及保持施加在悬臂的样品片上的接触力的悬臂驱动单元; 以及微型计算机，其控制所述控制驱动单元和所述位移测量单元的操作，并且使用通过由所述锁定放大器单元放大的振动信号检测到的位移信息和由所述锁定放大器单元检测到的位移信息来生成纳米尺度样本图像和弹性特性图像 位移测量单元。
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公开(公告)号：WO2021025238A1
公开(公告)日：2021-02-11
申请号：PCT/KR2019/016927
申请日：2019-12-03
Applicant: 대한검사기술(주) , 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: G01N29/24 , G01N29/22 , G01N29/04 , G01N29/265 , G01N29/34
Abstract: 본 발명은 소형의 크기를 가지며 피검사체에 자력에 의하여 부착된 상태에서 이동하면서 검사가 가능하여 분기관 엘보우 등 다양한 형상을 가지는 각종 피팅류에 적용이 가능한 분기관 용접부 초음파 검사용 반자동 스캐너에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 초음파 검사용 반자동 스캐너는, 피검사체의 표면에 초음파를 조사하여 용접부를 검사하는 프로브; 상기 프로브를 상기 피검사체의 표면에 밀착되도록 탄성력을 가하여 체결하는 프로브 홀더; 상기 프로브 홀더가 수평 방향으로 이동가능하게 결합되는 막대 형상의 설치 브라켓; 상기 설치 브라켓의 전후 양 측면에 각각 상하 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되는 4개의 바퀴부; 상기 4개의 바퀴부 각각에 설치되며, 상기 바퀴부를 피검사체에 자력에 의하여 밀착시키는 4개의자석부;를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2018117350A1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：PCT/KR2017/005669
申请日：2017-05-31
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
Abstract: 박막의 특성 및 결함을 측정하는 박막 검사 장치는 박막에 표면파를 발생하기 위한 펌프빔(Pump beam)을 조사하는 펄스 레이저, 연속 발진 레이저로부터 조사된 광선으로부터 간섭계를 형성하여 박막에 발생된 표면파를 측정하는 프로브빔(Probe beam)을 조사하는 간섭계부, 펌프빔 및 프로브빔을 수광하고, 펌프빔 및 프로브빔을 동축으로 반사시키는 반사 미러 및 동축으로 반사된 펌프빔, 프로브빔을 수광하고, 박막에 펌프빔 및 프로브빔을 조사하여 박막을 스캔하는 스캐닝부 및 상기 스캔된 박막의 특성 및 결함을 측정하는 신호 처리부를 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2022102831A1
公开(公告)日：2022-05-19
申请号：PCT/KR2020/016210
申请日：2020-11-18
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 대한검사기술(주)
IPC: G01N29/265
Abstract: 본 발명은 일반 페라이트 재료와 스테인리스 재료 용접부의 검사에 활용할 수 있는 장치로 일반 PAUT Probe의 접근이 어려운 피팅(Fitting) 용접부의 검사를 진행할 수 있는 플렉서블 프로브를 구비하는 스캐너에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 플렉서블 프로브를 구비하는 스캐너는, 휘어진 피팅(Fitting)관 표면에 접촉하여 이동하며, 프로브 본체(101)가 고정되는 프로브 고정 바디(110); 상기 프로브 고정 바디(110)의 일단에 연결되어 설치되며, 자유자재로 휘어지는 구조의 플렉서블 연결 체인부(120); 상기 플렉서블 연결 체인부(120)의 말단에 설치되며, 상기 피팅관 표면에 밀착되어 이동하는 센서 장착부(130); 상기 프로브 본체(101)에 플렉서블한 상태로 연결되며, 그 말단이 상기 센서 장착부(130)에 설치되어 상기 피팅관의 용접부를 스캔하는 센서부(140); 상기 프로브 고정 바디(110)의 일측에 연결되어 설치되며, 상기 피팅관에 밀착되어 이동하며, 이동 거리 및 위치를 감지하는 엔코더부(150);를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2019059586A1
公开(公告)日：2019-03-28
申请号：PCT/KR2018/010815
申请日：2018-09-14
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
CPC classification number: G01N19/04 , G01N29/046 , G01N29/07 , G01N29/4472
Abstract: 표면파를 이용한 박막의 접착강도 측정 방법 및 이를 수행하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체가 개시된다. 이러한 박막의 접착강도 측정 방법은, 모재에 박막이 형성된 기판으로부터 측정된 음파를 이용하여, 전자계산기를 통해서 모재와 박막의 접착강도를 측정하는 방법으로서, 상기 전자계산기가, 부착강도를 측정하고자 하는 제1 박막 및 모재의 두께, 밀도, 종파 속도 및 횡파 속도를 제1 입력값으로 입력받는 단계와, 상기 제1 입력값으로부터, 상기 제1 박막과 상기 모재 사이에 가상으로 설정된 제2 박막의 두께 및 밀도를 계산하여 제2 입력값으로 설정하는 단계와, 상기 제2 박막의 강성 계수(stiffness constant)를 변경시켜가며, 상기 강성 계수에 따른 상기 제2 박막의 종파 속도 및 횡파 속도를 계산하여 제3 입력값으로 설정하는 단계와, 상기 제1 내지 제3 입력값들을 이용하여 상기 제1 박막, 상기 제2 박막 및 상기 모재 사이의 전달행렬을 획득하는 단계와, 상기 전달행렬을 이용하여 표면파 속도의 분산특성을 계산하는 단계, 및 상기 제1 박막이 형성된 모재로부터 측정된 표면파의 진행속도를 상기 분산곡선에 대입함으로써, 상기 측정된 표면파의 진행속도와 매칭되는 강성 계수를 획득하여 상기 모재와 박막의 접착 강도를 측정하는 단계를 포함하는 과정을 수행한다.
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