公开(公告)号：WO2013032260A9

公开(公告)日：2013-03-07

申请号：PCT/KR2012/006971

申请日：2012-08-31

Applicant: 주식회사 코미코 ,  장경익 ,  오치원 ,  성진일 ,  양진철

Inventor： 장경익 ,  오치원 ,  성진일 ,  양진철

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

Abstract: 정전 척은 베이스 기재와, 베이스 기재 상에 배치된 유전층, 유전층 내에 배치되고 정전기력을 발생시키는 전극층, 베이스 기재와 유전층 사이에 배치되고, 유전층의 열팽창 계수와 차이가 약 1.4× 10 -6 /℃ 내지 약 5.5× 10 -6 /℃ 정도인 열팽창 계수를 갖는 접착층을 포함할 수 있다. 접착층이 베이스 기재와 유전층 사이의 열팽창률 차이로 인한 열응력을 억제할 수 있으므로, 정전 척의 신뢰성 및 안정성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：WO2011021824A2

公开(公告)日：2011-02-24

申请号：PCT/KR2010/005408

申请日：2010-08-17

Applicant: 주식회사 코미코 ,  성진일 ,  예경환 ,  오치원 ,  유충렬

Inventor： 성진일 ,  예경환 ,  오치원 ,  유충렬

IPC: H01L21/687

CPC classification number: H01L21/6833

Abstract: 정전척은 베이스 기재와, 베이스 기재 상에 형성된 비정질의 제1 절연층과, 제1 절연층 상에 형성된 정전기력 발생용 전극층과, 전극층 상에 형성된 유전층을 포함한다. 따라서, 정전척은 누설 전류에 의한 아킹 발생을 억제하고 전기적 특성 및 내구성이 향상된다.

Abstract translation: 该静电吸盘包括基础基底，形成在基础基底上的非晶形第一绝缘层，形成在第一绝缘层上的静电力产生电极层以及形成在电极层上的电介质层。 因此，静电卡盘抑制了由漏电流引起的电弧放电的发生，并改善了电特性和耐用性。