公开(公告)号：WO2013174398A1

公开(公告)日：2013-11-28

申请号：PCT/EP2012/002159

申请日：2012-05-22

Applicant: CARL ZEISS SMT GMBH ,  BECKER, Moritz ,  EHM, Dirk Heinrich ,  SCHMIDT, Stefan-Wolfgang ,  BUTSCHER, Vera ,  IHL, Thomas

Inventor： BECKER, Moritz ,  EHM, Dirk Heinrich ,  SCHMIDT, Stefan-Wolfgang ,  BUTSCHER, Vera ,  IHL, Thomas

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/707 ,  G03F1/38

Abstract: A reticle (18) for use in a microlithographic projection exposure apparatus, comprises a reticle body (42) containing a pattern (16) and reticle coupling means (36), by means of which the reticle body (42) can be detachably coupled with a reticle-chuck (30). The reticle coupling means (36) are adapted such that the coupling of the reticle (18) with the reticle-chuck (30) can be effected by magnetic forces. Further, a Reticle-chuck (30) is provided which comprises a support unit (60) and chuck coupling means (38), by means of which a reticle (18) can be detachably coupled with the support unit (60). The chuck coupling means (38) are adapted such that the coupling of the reticle (18) with the support unit (60) can be effected by magnetic forces. Furthermore, a reticle positioning system (28) is described, wherein such a reticle (18) and such a reticle-chuck (30) are coupled to form a chuck-unit (32). Finally, an optical system having an illumination device (12) for illuminating an optical reticle (18) containing a pattern (16) and a projection objective (14) for imaging the reticle pattern (16) is provided with such a reticle positioning system (28).

Abstract translation: 一种用于微光刻投影曝光设备的掩模版（18），包括一个包含图案（16）和标线片耦合装置（36）的标线本体（42），通过该掩模体（42）可以将标线本体（42）可拆卸地与 标线盘卡盘（30）。 标线片耦合装置（36）适于使得光罩（18）与光罩卡盘（30）的耦合可以通过磁力来实现。 此外，提供了一种标线卡盘（30），其包括支撑单元（60）和卡盘联接装置（38），通过该卡盘联接装置可以将分划板（18）可拆卸地联接到支撑单元（60）。 卡盘联接装置（38）适于使得光罩（18）与支撑单元（60）的联接可以通过磁力来实现。 此外，描述了一个掩模版定位系统（28），其中这种掩模版（18）和这种光罩卡盘（30）联接以形成卡盘单元（32）。 最后，具有用于照射包含图案（16）的光学掩模版（18）的照明装置（12）和用于使掩模图案（16）成像的投影物镜（14）的光学系统设置有这样的掩模版定位系统 28）。