公开(公告)号：WO2019141303A1

公开(公告)日：2019-07-25

申请号：PCT/DE2019/000004

申请日：2019-01-11

申请人： ELFOLION GMBH

发明人： DANZIGER, Manfred

IPC分类号： H01M4/04 ,  H01M4/66 ,  H01M4/74 ,  H01M10/052

CPC分类号： H01M4/747 ,  H01M4/0404 ,  H01M4/663 ,  H01M4/667 ,  H01M10/052

摘要： Die Erfindung betrifft ein folienartiges Funktionsmaterial (1), welches mindestens eine vorbestimmte Funktion erfüllt und derart für zielgerichtete physikalische, chemische, physikochemische, biologische, technische und technologische Zwecke anwendbar ist, in welchem ein ein Trägergesamtvolumen umfassendes Trägermedium (2) mit einer querschnittlichen Ausdehnung (7) ≤100 pm angeordnet ist, das als eine Matrix anzusehen ist und sich aus linienförmigen Trägerelementen (3a) und knotenförmigen Trägerelementen (3b), die die Werkstoffkomponenten des Trägermediums (2) bilden und das Trägergesamtvolumen durchsetzen, zu einer bänderförmigen Ausdehnung mit darin befindlichen, miteinander verbundenen Teilvolumina (5), welche durch in Nachbarschaft befindliche Trägerelemente (3) aufgespannt werden, formiert, wobei die Trägerelemente (3) mit einem ersten Funktionswerkstoff (4), welcher eine erste Funktion erfüllt, umhüllend beschichtet sind und wobei das durch die miteinander verbundenen Teilvolumina (5) ausgebildete verbleibende Volumen des Trägergesamtvolumens mit mindestens einem zweiten Funktionswerkstoff (6), welcher eine zweite sich von der ersten Funktion unterscheidende Funktion erfüllt, ausgefüllt ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen folienartigen Funktionsmaterials (1).

公开(公告)号：WO2021093909A1

公开(公告)日：2021-05-20

申请号：PCT/DE2020/000274

申请日：2020-11-07

申请人： ELFOLION GMBH

发明人： DANZIGER, Manfred

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  C23C4/14 ,  C23C4/137

摘要： Der Erfindung, welche ein Verfahren zum Bearbeiten flexibler Substrate (18) und eine Vakuumbearbeitungsanlage zur Umsetzung des Verfahrens zum Bearbeiten flexibler Substrate (18) betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, eine Lösung anzugeben, womit eine zuverlässige und gleichmäßige Bearbeitung in einer ausreichenden Qualität ermöglicht wird. Diese Aufgabe wird verfahrensseitig dadurch gelöst, dass das flexible Substrat (18) ein flexibles matrix- oder gitterförmiges Konstruktionsmaterial ist, dass eine erste Lage des flexiblen Substrats (18) in einer ersten Transportrichtung (64) und mindestens eine zweiten Lage des flexiblen Substrats (18) parallel und eng beabstandet zu der ersten Lage in einer entgegengesetzten zweiten Transportrichtung (65) durch einen Freibereich (26) im evakuierbaren Prozessbereich transportiert wird, wobei mindestens ein nutzbarer Fluss (13) mindestens eines Bearbeitungsinstruments (11) die erste und die zweite Lage des flexiblen Substrats (18) bei ihrem entgegengesetzten Transport durch den Freibereich (26) gleichzeitig durchdringt. Die Aufgabe wird anordnungsseitig dadurch gelöst, dass eine Rollengruppe (20) und Rollengruppe (21) angeordnet ist, dass in jeder Rollengruppe (20, 21) jeweils mehrere kleinere Rollen (24) und mehrere größere Rollen (23) zur Umlenkung des flexiblen Substrats (18) angeordnet sind, dass zwischen der Rollengruppe (20) und der Rollengruppe (21) ein Freibereich(26) mit einem Bearbeitungsmedium (11) angeordnet ist, durch welchen das flexible Substrats (18) gegenläufig und ohne eine Richtungsänderung transportiert wird und wobei das flexible Substrats (18) in mindestens zwei eng beabstandeten Lagen in Transportrichtung (64) und in Transportrichtung (65) gegenläufig transportiert wird.