公开(公告)号：WO2010015296A3

公开(公告)日：2010-05-14

申请号：PCT/EP2009004534

申请日：2009-06-24

Applicant: ZEISS CARL SMT AG ,  CLAUSS WILFRIED ,  KOEHNE YVONNE ,  THIELE CHRISTIAN

Inventor： CLAUSS WILFRIED ,  KOEHNE YVONNE ,  THIELE CHRISTIAN

IPC: C04B35/443 ,  C30B29/26 ,  G02B1/02 ,  G02B13/14 ,  G03F7/20

CPC classification number: C04B35/443 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/725 ,  C04B2235/79 ,  C04B2235/9653 ,  C30B1/12 ,  C30B29/26 ,  G03F7/70958

Abstract: The invention relates to an optical element (133) for transmitting radiation in wavelengths of less than 250 nm, especially of 193 nm, consisting of a material containing magnesium-aluminium spinel. In the optical element (133), the ratio (V) of the aluminium part in the magnesium-aluminium spinel to the magnesium part in the magnesium-aluminium spinel varies by less than 200 ppm, preferably less than 100 ppm, especially preferably less than 50 ppm, and/or is between 2.0 and 2.2, preferably between 2.02 and 2.10, especially preferably between 2.04 and 2.08. The invention also relates to a projection objective and a projection illumination system comprising such an optical element, and to a production method for a blank (1) for producing the optical element (133).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于辐射的透射的光学元件（133）在波长小于250nm，特别是在193nm处，含有镁 - 铝尖晶石材料，所述光学元件（133），比率（V），其中所述体积 在镁 - 铝尖晶石在镁 - 铝尖晶石的镁含量的铝含量小于200ppm，优选小于100ppm，更优选小于50ppm和/或两者之间的2.0的范围内变化 和2,2，优选的范围为2.02至2.10，更优选是在2.08的范围内2.04。 本发明还涉及一种用于一个空白的投影透镜，并用这样的光学元件的投影曝光装置，及其制造方法，（1）所述光学元件（133）的制备。

公开(公告)号：WO2010015296A2

公开(公告)日：2010-02-11

申请号：PCT/EP2009/004534

申请日：2009-06-24

Applicant: CARL ZEISS SMT AG ,  CLAUSS, Wilfried ,  KOEHNE, Yvonne ,  THIELE, Christian

Inventor： CLAUSS, Wilfried ,  KOEHNE, Yvonne ,  THIELE, Christian

IPC: C04B35/443 ,  G02B1/02 ,  G02B13/14 ,  G03F7/20 ,  C30B29/26

CPC classification number: C04B35/443 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/725 ,  C04B2235/79 ,  C04B2235/9653 ,  C30B1/12 ,  C30B29/26 ,  G03F7/70958

Abstract: Die Erfindung betrifft ein optisches Element (133) zur Transmission von Strahlung bei Wellenlängen von weniger als 250 nm, insbesondere bei 193 nm, aus einem Magnesium-Aluminium-Spinell enthaltenden Material, wobei im Volumen des optischen Elements (133) das Verhältnis (V) des Aluminium-Anteils im Magnesium-Aluminium- Spinell zum Magnesium-Anteil im Magnesium-Aluminium-Spinell um weniger als 200 ppm, bevorzugt um weniger als 100 ppm, besonders bevorzugt um weniger als 50 ppm variiert und/oder im Bereich zwischen 2,0 und 2,2, bevorzugt im Bereich zwischen 2,02 und 2,10, besonders bevorzugt im Bereich zwischen 2,04 und 2,08 liegt. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Projektionsobjektiv und eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem solchen optischen Element, sowie ein Herstellungsverfahren für einen Rohling (1) zur Herstellung des optischen Elements (133).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于辐射的透射的光学元件（133）在波长小于250nm，特别是在193nm处，含有镁 - 铝尖晶石材料，所述光学元件（133），比率（V），其中所述体积 在镁 - 铝尖晶石在镁 - 铝尖晶石的镁含量的铝含量小于200ppm，优选小于100ppm，更优选小于50ppm和/或两者之间的2.0的范围内变化 和2,2，优选的范围为2.02至2.10，更优选是在2.08的范围内2.04。 本发明还涉及一种用于一个空白的投影透镜，并用这样的光学元件的投影曝光装置，及其制造方法，（1）所述光学元件（133）的制备。