公开(公告)号：WO2004033197A2

公开(公告)日：2004-04-22

申请号：PCT/EP2003/010907

申请日：2003-10-02

申请人： SCHOTT GLAS ,  CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS SCHOTT GLAS ,  CARL-ZEISS-STIFTUNG ,  KNOCHE, Silke ,  BOOSS, Claudia ,  ASTHEIMER, Steffen ,  WEBER, Gerhard ,  HABECK, Andreas ,  OTTERMANN, Clemens ,  PLICHTA, Armin ,  RUDAS, Gerd ,  BÖHM, Frank ,  VOGES, Frank ,  ZETTERER, Thomas ,  ESEMANN, Hauke

发明人： KNOCHE, Silke ,  BOOSS, Claudia ,  ASTHEIMER, Steffen ,  WEBER, Gerhard ,  HABECK, Andreas ,  OTTERMANN, Clemens ,  PLICHTA, Armin ,  RUDAS, Gerd ,  BÖHM, Frank ,  VOGES, Frank ,  ZETTERER, Thomas ,  ESEMANN, Hauke

IPC分类号： B32B17/00

CPC分类号： B32B7/06 ,  B32B7/12 ,  B32B17/06

摘要： Die Erfindung betrifft einen Verbund, umfassend - ein Dünnstsubstrat mit einer Dicke

摘要翻译： 本发明涉及一种复合材料，该复合材料包括： - 最薄的基底， 0.3毫米，顶部和底部; 具有顶部表面和底部表面的衬底，所述衬底具有通过包括所述衬底的顶部和所述衬底的顶部表面和/或所述衬底的外围的结合材料 背衬基材粘合，可释放地粘合，其特征在于粘合材料在-75℃的范围内 C至+ 400°C C是温度稳定的。

公开(公告)号：WO2004032593A2

公开(公告)日：2004-04-22

申请号：PCT/EP2003/010358

申请日：2003-09-18

申请人： SCHOTT GLAS ,  CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS SCHOTT GLAS ,  CARL-ZEISS-STIFTUNG ,  ZETTERER, Thomas ,  ESEMANN, Hauke ,  KNOCHE, Silke ,  BOOSS, Claudia ,  ASTHEIMER, Steffen ,  WEBER, Gerhard ,  HABECK, Andreas ,  OTTERMANN, Clemens ,  PLICHTA, Armin ,  RUDAS, Gerd ,  BÖHM, Frank ,  VOGES, Frank

发明人： ZETTERER, Thomas ,  ESEMANN, Hauke ,  KNOCHE, Silke ,  BOOSS, Claudia ,  ASTHEIMER, Steffen ,  WEBER, Gerhard ,  HABECK, Andreas ,  OTTERMANN, Clemens ,  PLICHTA, Armin ,  RUDAS, Gerd ,  BÖHM, Frank ,  VOGES, Frank

IPC分类号： C03C27/12 ,  H01L21/00 ,  H01L21/673 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/68721 ,  H01L21/6734 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68757 ,  H01L21/68778

摘要： Die Erfindung betrifft einen Dünnstsubstratträger, umfassend ein Tragelement, das ein Dünnstsubstrat mit einer Dicke von weniger als 0,3 mm aufnimmt. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Tragelement als Rahmenelement ausgebildet ist, auf welches das Dünnstsubstrat ausschließlich mit mindestens einem Teilbereich seines Umfangsbereiches biegesteif aufgelegt ist. Der Auflagebereich des Rahmenelements ist dabei derart gestaltet, dass eine Durchbiegung des Dünnstsubstrats im Wesentlichen vollständig vermieden wird.

摘要翻译： 本发明涉及一种包括接收具有厚度小于0.3毫米的Dünnstsubstrat一个支撑元件的Dünnstsubstratträger。 本发明的特征在于，所述支撑元件被构造为框架部件，所述Dünnstsubstrat与其周边区域的至少一个部分区域中布置刚性地独占。 所述框架构件的所述支撑部分被设计成使得Dünnstsubstrats的偏转基本上完全避免。

公开(公告)号：WO2004032593A3

公开(公告)日：2004-09-30

申请号：PCT/EP0310358

申请日：2003-09-18

申请人： SCHOTT GLAS ,  ZEISS STIFTUNG ,  ZETTERER THOMAS ,  ESEMANN HAUKE ,  KNOCHE SILKE ,  BOOSS CLAUDIA ,  ASTHEIMER STEFFEN ,  WEBER GERHARD ,  HABECK ANDREAS ,  OTTERMANN CLEMENS ,  PLICHTA ARMIN ,  RUDAS GERD ,  BOEHM FRANK ,  VOGES FRANK

发明人： ZETTERER THOMAS ,  ESEMANN HAUKE ,  KNOCHE SILKE ,  BOOSS CLAUDIA ,  ASTHEIMER STEFFEN ,  WEBER GERHARD ,  HABECK ANDREAS ,  OTTERMANN CLEMENS ,  PLICHTA ARMIN ,  RUDAS GERD ,  BOEHM FRANK ,  VOGES FRANK

IPC分类号： C03C27/12 ,  H01L21/00 ,  H01L21/673 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/68721 ,  H01L21/6734 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68757 ,  H01L21/68778

摘要： The invention relates to an extremely thin substrate support, comprising a support element which houses an extremely thin substrate with a thickness of less than 0.3 mm. The invention is characterised in that the support element is embodied as a frame element on which the extremely thin substrate is rigidly supported with only at least a partial region of the edge thereof. The support region of the frame element is embodied such that a bending of the extremely thin substrate is essentially completely avoided.

摘要翻译： 本发明涉及一种最薄的基板载体，其包括支撑件，该支撑件接收厚度小于0.3mm的最薄基板。 本发明的特征在于，支撑元件被设计为框架元件，其中最薄的衬底仅与其周边区域的至少一部分刚性刚性地放置在该框架元件上。 框架元件的支撑区域被设计成使得基本上完全避免了杜恩斯基斯特拉斯的偏转。

公开(公告)号：WO2004033197A3

公开(公告)日：2004-08-05

申请号：PCT/EP0310907

申请日：2003-10-02

申请人： SCHOTT GLAS ,  ZEISS STIFTUNG ,  KNOCHE SILKE ,  BOOSS CLAUDIA ,  ASTHEIMER STEFFEN ,  WEBER GERHARD ,  HABECK ANDREAS ,  OTTERMANN CLEMENS ,  PLICHTA ARMIN ,  RUDAS GERD ,  BOEHM FRANK ,  VOGES FRANK ,  ZETTERER THOMAS ,  ESEMANN HAUKE

发明人： KNOCHE SILKE ,  BOOSS CLAUDIA ,  ASTHEIMER STEFFEN ,  WEBER GERHARD ,  HABECK ANDREAS ,  OTTERMANN CLEMENS ,  PLICHTA ARMIN ,  RUDAS GERD ,  BOEHM FRANK ,  VOGES FRANK ,  ZETTERER THOMAS ,  ESEMANN HAUKE

IPC分类号： B32B17/00 ,  B32B33/00 ,  C03C27/06 ,  C03C27/10 ,  C03C27/12 ,  H01L21/00 ,  H01L21/68

CPC分类号： B32B7/06 ,  B32B7/12 ,  B32B17/06

摘要： The invention relates to a compound comprising: - an extremely thin substrate that is provided with a thickness of

摘要翻译： 本发明涉及一种复合材料，包括： - 厚度为<0.3毫米，上表面和下表面的Dünnstsubstrat; - ，其中所述Dünnstsubstrat由连接所述Dünnstsubstrates和载体衬底和/或Dünnstsubstrates和支撑基板的边缘区域的上侧的上侧的连接材料的载体基板，可装卸地连接 - - 其特征在于，其具有顶侧和底侧上的载体衬底 在-75℃的范围内，以+ 400℃的连接材料是耐热的。