公开(公告)号：WO2006095350A3

公开(公告)日：2006-09-14

申请号：PCT/IL2006/000315

申请日：2006-03-09

Applicant: ELBIT SYSTEMS ELECTRO-OPTICS ELOP LTD. ,  UCLT LTD. ,  GALUN, Ehud ,  COHEN, Rami ,  DMITRIEV, Vladimir ,  OSHEMKOV, Sergey ,  VILENCHIK, Israel ,  ARGAMAN, Ephraim ,  SLOSBERG, Gidon ,  TOKER, Moshe ,  KIGEL, Yosef ,  BEN-ZVI, Guy

Inventor： GALUN, Ehud ,  COHEN, Rami ,  DMITRIEV, Vladimir ,  OSHEMKOV, Sergey ,  VILENCHIK, Israel ,  ARGAMAN, Ephraim ,  SLOSBERG, Gidon ,  TOKER, Moshe ,  KIGEL, Yosef ,  BEN-ZVI, Guy

IPC: G02B23/00

Abstract: A reticle device is disclosed, comprising a transparent substrate provided with subsurface reticle design inscribed within the substrate.

公开(公告)号：WO2006095350A2

公开(公告)日：2006-09-14

申请号：PCT/IL2006000315

申请日：2006-03-09

Applicant: ELBIT SYS ELECTRO OPTICS ELOP ,  UCLT LTD ,  GALUN EHUD ,  COHEN RAMI ,  DMITRIEV VLADIMIR ,  OSHEMKOV SERGEY ,  VILENCHIK ISRAEL ,  ARGAMAN EPHRAIM ,  SLOSBERG GIDON ,  TOKER MOSHE ,  KIGEL YOSEF ,  BEN-ZVI GUY

Inventor： GALUN EHUD ,  COHEN RAMI ,  DMITRIEV VLADIMIR ,  OSHEMKOV SERGEY ,  VILENCHIK ISRAEL ,  ARGAMAN EPHRAIM ,  SLOSBERG GIDON ,  TOKER MOSHE ,  KIGEL YOSEF ,  BEN-ZVI GUY

IPC: G02B27/32

CPC classification number: G02B27/32

Abstract: A reticle device is disclosed, comprising a transparent substrate provided with subsurface reticle design inscribed within the substrate.

Abstract translation: 公开了一种掩模版设备，其包括设置有内接在衬底内的地下掩模版设计的透明衬底。