マイクロミラー素子及びマイクロミラーアレイ
    1.
    发明申请
    マイクロミラー素子及びマイクロミラーアレイ 审中-公开
    MICROMIRROR元件和MICROMIRROR ARRAY

    公开(公告)号:WO2008129988A1

    公开(公告)日:2008-10-30

    申请号:PCT/JP2008/057364

    申请日:2008-04-15

    CPC classification number: B81B3/004 B81B2201/042 G02B26/0833 G02B26/0841

    Abstract:  ミラー基板(108)の枠部(181)の内側には、一端が枠部(181)に固定された可動梁(182a)及び可動梁(182b)を備えている。可動梁(182a)及び可動梁(182b)は、各々の一端が枠部(181)の内側の対向する2つの辺の各々に固定され、上記2つの辺の対向する方向の同じ線上に、所定の距離離間して整列した状態とされている。また、可動梁(182a)及び可動梁(182b)は、各々の他端が、ミラー基板(108)の法線方向に変位可能とされ、片持ち梁構造とされている。また、可動梁(182a)及び可動梁(182b)の間には、一対の連結部(109a,109b)により連結されてミラー(183)が配置されている。

    Abstract translation: 在镜面基板(108)的框架部分(181)的内侧设置有可动梁(182a)和可动梁(182b),每个可动梁(182b)的一端固定在框架部分(181)上。 可移动光束(182a)和可移动光束(182b)中的每一个具有固定到框架部分(181)内的两个相对侧中的每一个的一端,并且光束以规定的间隔布置在同一行上 双方面对面的方向。 此外,可移动光束(182a)和可移动光束(182b)中的每一个具有沿镜面基板(108)的法线方向移位的另一端,并且具有悬臂结构。 通过连接到一对连接部分(109a,109b),在可动光束(182a)和可动光束(182b)之间布置有反射镜(183)。

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