公开(公告)号：WO2017058358A1

公开(公告)日：2017-04-06

申请号：PCT/US2016/045452

申请日：2016-08-04

Applicant: APPLE INC.

Inventor： SHPUNT, Alexander ,  GERSON, Yuval

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/101 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00007 ,  G02B26/0841

Abstract: A mirror assembly (20) includes a frame (30) having a central opening and a mirror plate, which is contained within the central opening of the frame and is shaped to define separate first and second mirrors (22, 24) connected by a bridge (26) extending between the first and second mirrors. A pair of hinges (28) are connected between the frame and the mirror plate at locations on the central axis on opposing sides of the frame so as to enable rotation of the mirror plate about the central axis relative to the frame.

Abstract translation: 反射镜组件（20）包括具有中心开口和镜板的框架（30），该框架容纳在框架的中心开口内并且被成形为限定由桥接件连接的分开的第一和第二反射镜（22,24） （26）在第一和第二反射镜之间延伸。 一对铰链（28）在框架的相对侧上的中心轴线的位置处连接在框架和镜板之间，以便能够相对于框架围绕中心轴旋转镜板。

公开(公告)号：WO2016166942A1

公开(公告)日：2016-10-20

申请号：PCT/JP2016/001755

申请日：2016-03-25

Applicant: 株式会社デンソー

Inventor： 大山　浩市 ,  西川　英昭 ,  川合　祐輔 ,  酒井　賢一

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/10 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/019 ,  G02B5/08 ,  G02B7/1821 ,  G02B26/08 ,  G02B26/0858 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0477

Abstract: 反射面（１１ａ）を有する反射部（１）と、反射部を中心として、反射面ａの平面上における一方向の両側に互いに延設された捩り梁（２）と、反射部を中心として一方向の両側に互いに配置され、反射部に向かって開口したＵ字形状の中央部（３１）において捩り梁の端部と接合し、中央部の両端から、反射面の平面上における一方向に垂直な他方向の外側に延設された両端部（３２）を有する連結部（３）と、連結部の両端を互いに接続する支持部（４１）と、を備え、中央部に、該中央部の捩り梁側の側面に開口し、連結部を反射面に垂直な厚み方向に貫通して他方向に伸びるように凹まされた第１凹部（６）が捩り梁の両側それぞれに形成され、捩り梁を挟んで対向する第１凹部の互いの底部の間の距離（ｗ１）が、中央部の他方向において対向する側面の間の距離（ｗ２）よりも大きくされている。

Abstract translation: 本发明提供有：具有反射面（11a）的反射部（1）。 扭转梁（2）围绕反射部分居中并且分别在反射表面（11a）的平面上沿一个方向从两侧延伸; 连接部分（3），其以反射部分为中心并且设置在反射部分的一个方向上的两侧，所述连接部分与扭转梁的端部接合在U形中心部分（31）处，所述U形中心部分 所述反射部分具有从所述中心部分的两端向与所述反射面的平面上的所述一个方向垂直的另一方向的两端延伸的两个端部部分; 以及连接所述连接部的两端的支撑部（41）。 在中央部分，第一凹部（6）分别形成在扭转梁的两侧，第一凹部凹入以打开中心部分的扭转梁的侧表面，穿过连接部分 厚度方向垂直于反射表面，并沿另一方向延伸。 在扭转梁的两侧彼此面对的第一凹陷部分的底表面之间的距离（w1）大于在中心部分的另一方向上面对的侧表面之间的距离（w2）。

公开(公告)号：WO2016096636A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：PCT/EP2015/079362

申请日：2015-12-11

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Inventor： LISEC, Thomas ,  QUENZER, Hans-Joachim ,  REIMER, Tim

IPC: H01F41/04 ,  B81C1/00 ,  H01F41/16 ,  H01F41/30

CPC classification number: H01F1/06 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00126 ,  B81C2201/0188 ,  G01R33/38 ,  G01R33/3802 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  H01F10/08 ,  H01F21/06 ,  H01F41/046 ,  H01F41/16 ,  H01F41/301 ,  H01F41/32 ,  H01F2007/068 ,  H02K15/02 ,  H02K33/16

Abstract: Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung (120) mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur (132) umfassend einen Schritt des Auf- oder Einbringens von magnetischen Partikeln (130) auf oder in ein Trägerelement (122), wobei zwischen den magnetischen Partikeln eine Vielzahl von zumindest teilweise miteinander verbundenerer Hohlräume gebildet wird und wobei die magnetischen Partikel an Berührungspunkten miteinander in Kontakt treten. Das Verfahren umfasst ferner einen Schritt des Verbindens der magnetischen Partikel an den Berührungspunkten durch Beschichten der Anordnung aus magnetischen Partikeln und Trägerelement, wobei die Hohlräume zumindest teilweise von der beim Beschichten erzeugten Schicht durchdrungen werden. Die Vorrichtung umfasst eine Leiterschleifenanordnung (124) auf dem Trägerelement oder einem weiteren Trägerelement, so dass bei einem Stromfluss durch die Leiterschleifenanordnung (1) eine Induktivität der Leiterschleifenanordnung durch die dreidimensionale magnetische Struktur verändert wird, oder (2) eine Kraft auf die dreidimensionale magnetische Struktur oder die Leiterschleifenanordnung durch ein durch den Stromfluss hervorgerufenes magnetisches Feld wirkt, oder (3) bei einer Lageänderung der dreidimensionalen magnetischen Struktur ein Stromfluß durch die Leiterschleifenanordnung induziert wird.

Abstract translation: 制造具有包含上或在支撑构件（122），缠绕或引入磁性颗粒（130）的步骤的三维磁结构（132）的装置（120）的方法，其中所述磁性颗粒之间，多个至少部分地相互 verbundenerer空腔形成，并且其中，在接触点处的磁性颗粒接触彼此接触。 该方法还包括通过涂覆磁性颗粒的阵列与该载体元件，其中所述空腔至少部分地通过在被覆层所产生的穿透接触点处的磁性颗粒结合的步骤。 该装置包括载体元件或另外的承载元​​件上的导体回路装置（124），使得导体回路装置的电感是由三维磁结构中的电流流过的导体回路装置（1）或（2）的力的三维磁结构改变 或导体回路装置作用由通过在三维磁性结构的位置变化的电流流动磁场，或（3）的电流的流动由导体回路装置诱导的诱发。

公开(公告)号：WO2016005464A1

公开(公告)日：2016-01-14

申请号：PCT/EP2015/065629

申请日：2015-07-08

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Inventor： GOEHLICH, Andreas ,  JUPE, Andreas ,  VOGT, Holger

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/482 ,  H01L21/3205 ,  H01L23/525 ,  H01L23/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81C1/00619 ,  B81B7/0003 ,  B81B2201/0207 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/0019 ,  B81C2201/0187 ,  H01L23/4821 ,  H01L23/5256

Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit Bereitstellen eines Substrats mit einer Elektrode beschrieben, die an einer Hauptseite des Substrats freiliegt. Ferner umfasst das Verfahren das Bilden einer Mikro- oder Nanostruktur, die einen Abstandshalter aufweist, der auf der Elektrode fußt, wobei das Bilden folgende Schritte aufweist: Abscheiden einer Opferschicht auf der Hauptseite, wobei die Opferschicht amorphes Silizium (a-Si) oder Siliziumdioxid (SiO 2 ) enthält; Strukturieren eines Loches und/oder Grabens in die Opferschicht mittels eines DRiE-Prozesses; Beschichten der Opferschicht mittels ALD oder MOCVD, so dass sich Material der Nano- oder Mikrostruktur an dem Loch und/oder Graben bildet sowie Entfernen der Opferschicht.

Abstract translation: 它是用一个电极，用于制造装置具有提供在所述基板的一个主面露出的衬底的方法进行说明。 此外，该方法包括形成微结构或纳米结构，其中有一个隔离件，它是基于在电极上，其中，所述形成步骤包括：在主侧上，其中所述牺牲层是无定形硅（a-Si）或氧化硅（沉积牺牲层 二氧化硅）包含; 图案化在使用DRIE工艺的牺牲层中的孔和/或沟槽; 涂覆使用ALD或MOCVD，以形成在孔和/或沟槽中的纳米或微米结构的材料的牺牲层以及去除牺牲层。

公开(公告)号：WO2015193080A1

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：PCT/EP2015/061966

申请日：2015-05-29

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： STRAUB, Rainer ,  BAADER, Johannes ,  MUCHOW, Joerg

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00658

Abstract: Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelanordnung mit einer Spiegelmembran, mit mindestens einem ersten Trägerelement, mit einem ersten Koppelelement für jedes erste Trägerelement, welches zwischen der Spiegelmembran und dem jeweiligen ersten Trägerelement angeordnet ist und ausgebildet ist, das jeweilige erste Trägerelement mit der Spiegelmembran mechanisch zu koppeln, mit mindestens einem zweiten Trägerelement, welches mit dem mindesten einen ersten Trägerelement mechanisch gekoppelt ist, und mit einem zweiten Koppelelement für jedes zweite Trägerelement, welches ausgebildet ist, mechanisch kontaktiert zu werden. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Mikrospiegelanordnung.

Abstract translation: 本发明公开了一种具有反射镜隔膜的微型反射镜装置，与具有第一耦合元件，用于其设置在镜隔膜和相应的第一支承构件之间，并适于联接机械地连接到反射镜膜片各自的第一支撑构件，每个第一支承元件的至少一个第一支撑构件 与被机械地耦合到所述至少一个第一支撑元件和用于其适于机械地接触，每个第二支撑构件的第二联接元件的至少一个第二支撑元件。 此外，本发明公开了一种用于根据本发明制造的微反射镜组件的方法。

公开(公告)号：WO2015109273A2

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：PCT/US2015011883

申请日：2015-01-18

Applicant: APPLE INC

Inventor： GERSON YUVAL ,  CHAYAT NAFTALI ,  AXELROD NOEL ,  SHPUNT ALEXANDER

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B3/0045 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0154 ,  G02B26/101

Abstract: A scanning device (64, 220, 230) includes a substrate (68), which is etched to define an array of two or more parallel rotating members (102) and a gimbal (72, 232) surrounding the rotating members. First hinges (106, 234) connect the gimbal to the substrate and defining a first axis of rotation, about which the gimbal rotates relative to the substrate. Second hinges (74) connect the rotating members to the support and defining respective second, mutually-parallel axes of rotation of the rotating members relative to the support, which are not parallel to the first axis.

Abstract translation: 扫描装置（64,220,230）包括基板（68），基板（68）被蚀刻以限定包围旋转构件的两个或更多个平行旋转构件（102）和万向节（72,232）的阵列。 第一铰链（106,234）将万向节连接到基底并限定第一旋转轴线，万向节相对于基底围绕第一旋转轴线旋转。 第二铰链（74）将旋转构件连接到支撑件并限定旋转构件相对于支撑件的不平行于第一轴线的相应的第二相互平行的旋转轴线。

公开(公告)号：WO2015075222A1

公开(公告)日：2015-05-28

申请号：PCT/EP2014/075380

申请日：2014-11-24

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Inventor： HOFMANN, Ulrich ,  SENGER, Frank ,  VON WANTOCH, Thomas ,  MALLAS, Christian ,  JANES, Joachim

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/101 ,  B81B3/0043 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841

Abstract: Es wird eine Mikrospiegelanordnung vorgeschlagen, die umfasst einen ersten Feder-Masse-Schwinger, der einen eine Spiegelplatte (1) bildenden Schwingkörper und erste Federelemente (2) aufweist, einen zweiten Feder-Masse-Schwinger, der eine Antriebsplatte (3) und zweite Federelemente (4) aufweist und der über die zweiten Federelemente (4) mit einer Trägeranordnung {5, 8, 9) verbunden ist, wobei der erste Feder-Masse-Schwinger über die ersten Federelemente (2) in dem zweiten Feder-Masse-Schwinger aufgehängt ist, und eine Antriebsanordnung (11), die der Antriebsplatte zugeordnet ist und ausgebildet ist, die Antriebsplatte (3) zum Schwingen anzuregen. Der Schwingkörper (1) ist zweiachsig beweglich über die ersten Federelemente (2) an der Antriebsplatte (3) aufgehängt und die Antriebsplatte (3) ist zweiachsig beweglich mit der Trägeranordnung (5, 8, 9) verbunden, wobei die Antriebsanordnung (11) als zweiachsiger Antrieb ausgeführt und ausgebildet ist, die Antriebsplatte (3) zweiachsig anzutreiben, derart, dass der Schwingkörper (1) zweiachsig mit jeweils einer seiner orthogonalen Eigenmoden oder nahe dieser Eigenmoden schwingt.

Abstract translation: 公开的是包括第一弹簧质量振荡器，其中构成镜板的微反射镜装置（1）振动体和第一弹簧元件（2），第二弹簧 - 质量振荡器，驱动器板（3）和第二弹簧元件 （4）和上具有支撑组件，{5,8第二弹簧元件（4），9）连接，其中，所述第一弹簧质量振动器悬挂在第一弹簧元件（2）在所述第二弹簧质量振荡器以上 ，并且与相关联的驱动器组件（11），所述驱动板和适于激发所述驱动板（3）摆动。 振动体（1）是双轴可围绕所述第一弹簧元件（2）连接到驱动器板（3）被暂停，并且所述驱动板（3）是与所述载体装置的双轴可动（5,8，9），其中，所述驱动组件（11） 进行双轴驱动器和被配置为驱动双轴驱动器板（3），使得所述振动体（1）双轴摆动，其正交本征模式的每个具有一个或接近该本征模式。

公开(公告)号：WO2015015664A1

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：PCT/JP2013/083360

申请日：2013-12-12

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社

Inventor： 滝本　貞治 ,  木元　正国 ,  足立　訓秀

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0816 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101

Abstract: ミラー装置１は、支持部１１と、支持部１１に揺動可能に連結された第一可動部１２及び第二可動部１３と、それらに配置されたミラー１６、第一コイル１７及び第二コイル１８と、を有するミラー構造体１０と、ミラー構造体１０と対向するようにミラー構造体１０の裏面１０ｂ側に配置された第一極性の磁極２１ａ、第二極性の磁極２２ｂをそれぞれ有する第一磁性部２１、第二磁性部２２と、ミラー構造体１０の面１０ａ側に配置されたキャップ構造体３０と、を備える。キャップ構造体３０は、磁極２１ａに対向するように位置する第一極性の磁極３１ａを有する第一領域３１と、磁極２２ｂに対向するように位置する第二極性の磁極３２ｂを有する第二領域３２と、第一領域３１と第二領域３２との間に位置し、着磁されていない第三領域３３と、を有する。

Abstract translation: 镜装置（1）设置有：反射镜结构（10），其包括支撑部分（11），第一可移动部分（12）和第二可移动部分（13），其可摆动地连接到支撑部分 ）和布置在可动部分上的反射镜（16），第一线圈（17）和第二线圈（18） 分别包括具有第一极性的磁极（21a）和布置在后表面（10b）侧的具有第二极性的磁极（22b）的第一磁性部分（21）和第二磁性部分（22） 的反射镜结构（10）; 以及布置在所述反射镜结构（10）的所述表面（10a）侧上的盖结构（30）。 盖结构（30）包括：第一区域（31），包括具有第一极性并且被定位成面对磁极（21a）的磁极（31a）;第二区域（32），包括磁极 （32b），其具有第二极性并且被定位成面对所述磁极（22b）;以及第三区域（33），位于所述第一区域（31）和所述第二区域（32）之间，并且位于所述第一区域 没有磁化。

公开(公告)号：WO2015004710A1

公开(公告)日：2015-01-15

申请号：PCT/JP2013/068634

申请日：2013-07-08

Applicant: パイオニア株式会社 ,  パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社

Inventor： 藤本　健二郎 ,  山村　雄一

IPC: G02B26/10

CPC classification number: G02B26/101 ,  B81B7/0048 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/085

Abstract: 　アクチュエータ（１）は、平面状の可動部（１２０）と、可動部を支持するための支持部（２１０）と、長手方向に沿った回転軸を中心として可動部が揺動可能なように、長手方向に沿って可動部と支持部とを接続するトーションバー（２３０）と、を備える。可動部の一の表面には、反射部（１２１）が形成されており、可動部の該一の表面とは反対側の他の表面には、当該可動部の平坦性を維持する一又は複数のリブ（１２３）が形成されている。一又は複数のリブに含まれる第１リブは、他の表面上で短手方向に沿って延びている。他の表面上で平面的に見て、第１リブのトーションバー側の側面は、回転軸から離れた部分において凹であり、前記側面の回転軸から離れた部分における凹の程度は、前記側面の回転軸近傍の凹の程度に比べて大きい。

Abstract translation: 致动器（1）设置有：平面可动部分（120）; 用于支撑可移动部分的支撑部分（210）; 以及扭力杆（230），其将所述可动部和所述支撑部在长度方向上彼此连接，使得所述可动部能够以中心的长度方向的旋转轴摆动。 在可移动部分的一个表面上形成反射部分，并且在一个表面的相反侧上的另一可动部分表面上，保持可动部分的平面度的一个或多个肋条123是 形成。 一个或多个肋中包括的第一肋在另一个表面上沿横向方向延伸。 在平面图的另一面上，扭杆侧的第一肋侧表面在距离旋转轴线一定距离的部分处具有凹陷形状，并且侧表面部分的凹部的距离距离 旋转轴与靠近旋转轴的侧面凹部的程度相比较大。

公开(公告)号：WO2013145735A1

公开(公告)日：2013-10-03

申请号：PCT/JP2013/002075

申请日：2013-03-27

Applicant: KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO ,  OZAKI, Takashi ,  FUJITSUKA, Norio ,  SHIMAOKA, Keiichi ,  NONOMURA, Yutaka

Inventor： OZAKI, Takashi ,  FUJITSUKA, Norio ,  SHIMAOKA, Keiichi ,  NONOMURA, Yutaka

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0048 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109

Abstract: Provided is a technique capable of keeping a tilt angle constant even in a case where a warp in a direction along a tilting axis occurs on a tilting plate in a MEMS device which includes the tilting plate tilting with respect to a substrate. A MEMS device disclosed in the present description includes a substrate, a tilting plate arranged at an interval from the substrate, a support member fixed to the substrate, and a support beam having a first end connected to the support member and a second end connected to the tilting plate, and tiltably supporting the tilting plate around a tilting axis. In the MEMS device, one of the substrate and the tilting plate is formed with a protruding portion. In the MEMS device, at least a part of the protruding portion is included in a plane perpendicular to the tilting axis, and including a connecting portion of the tilting plate and the support beam. In the MEMS device, the at least a part of the protruding portion comes into contact with the other of the substrate and the tilting plate, when the tilting plate tilts.

Abstract translation: 提供了一种即使在包括倾斜板相对于基板倾斜的MEMS装置中的倾斜板上发生沿着倾斜轴的方向的翘曲的情况下也能够保持倾斜角度恒定的技术。 在本说明书中公开的MEMS装置包括基板，与基板间隔设置的倾斜板，固定到基板的支撑构件和支撑梁，支撑梁的第一端连接到支撑构件，第二端连接到 倾斜板，并且倾斜地支撑倾斜板围绕倾斜轴线。 在MEMS装置中，基板和倾斜板中的一个形成有突出部。 在MEMS器件中，突出部分的至少一部分包括在垂直于倾斜轴的平面中，并且包括倾斜板和支撑梁的连接部分。 在MEMS装置中，当倾斜板倾斜时，突出部分的至少一部分与基板和倾斜板中的另一个接触。