公开(公告)号：WO2009127275A3

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：PCT/EP2008067690

申请日：2008-12-17

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  PIRK TJALF ,  PINTER STEFAN ,  KRUEGER MICHAEL ,  MUCHOW JOERG ,  FRITZ JOACHIM ,  FRIESE CHRISTOPH

Inventor： PIRK TJALF ,  PINTER STEFAN ,  KRUEGER MICHAEL ,  MUCHOW JOERG ,  FRITZ JOACHIM ,  FRIESE CHRISTOPH

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  G02B26/0841 ,  H02N1/008

Abstract: The invention relates to an electrode comb (52, 54) for a micromechanical component. Said electrode comb (52, 54) is designed such that at least two electrode fingers (52a, 54a) are mounted on a first fastening part (52b, 54b) at a first end while being mounted on a second fastening part (52b, 54b) at a second end lying opposite the first end. The invention additionally relates to a micromechanical component comprising a stator electrode comb (54) and an actuator electrode comb (52) between which a voltage (U) can be applied such that the actuator electrode comb (54) can be rotated about an axis of rotation (56) of the actuator electrode comb (52). The axis of rotation (56) of the actuator electrode comb (52) vertically penetrates at least one surface of an electrode finger (54a) of the stator electrode comb (44, 54). The invention further relates to a method for producing an electrode comb (52, 54) and a method for producing a micromechanical component.

Abstract translation: 本发明涉及一种如此形成，使得至少两个电极指（52A，54A）在其第一端的第一附接部（52B，54B）被固定且相对的第一端部用于微机械部件的电极梳（52,54） 第二端连接到第二附接部分（52B，54B）附连。 此外，本发明涉及一种具有定子电极的梳（54）和致动器的电极的梳（52），在它们之间的电压（U）可应用于微机械部件，其特征在于，由（定子电极的梳54之间施加的电压（U） ）和致动器的电极的梳（52），致动器的电极的梳（52）（围绕致动器的电极的梳（52的旋转轴线56））是可旋转的，并且其中所述致动器的电极的梳（52）的至少一个表面的旋转（56）的轴线 定子电极的梳（44,54）的电极指（54A）垂直地刺穿。 此外，本发明涉及一种用于电极的梳（52,54）和用于微机械部件的制造方法的制造方法。

公开(公告)号：WO2004001481A1

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：PCT/JP2002/006229

申请日：2002-06-21

Applicant: 富士通株式会社 ,  竹内 真一 ,  山本 毅

Inventor： 竹内 真一 ,  山本 毅

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B3/004 ,  B81B7/0003 ,  B81B2201/045 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/3584

Abstract: マイクロミラーユニットを、基板３上に、光を反射するマイクロミラー１と、このマイクロミラー１を支持するトーションバー２と、このトーションバー２を回動可能に支持するフレーム部８と、自己の変形によりフレーム部８を基板３から離隔する方向へ持ち上げて支持する変形支持部９とをそなえた構造とする。これにより、犠牲層４の厚さを厚くすることなくマイクロミラー１と基板３との間隔を広げて、ミラー振れ角を大きくすることができる。

Abstract translation: 一种微镜单元，包括：设置在所述基板（3）上的微镜反射光，支撑所述微反射镜的扭杆，可旋转地支撑所述扭力杆的框架部分，以及使所述框架部分沿所述分离方向提升的部分（9） （3）并支撑框架部分。 根据该结构，可以在不增加牺牲层（4）的厚度的情况下扩大微反射镜和基板（3）之间的间隔，并且可以增加偏转角。

公开(公告)号：WO01077001A2

公开(公告)日：2001-10-18

申请号：PCT/US2001/011430

申请日：2001-04-05

IPC: B81B3/00 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  G11B7/09 ,  H02N1/00 ,  B66F

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/058 ,  G02B6/122 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/357 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  G02B2006/12104 ,  G11B7/0927 ,  H02N1/006 ,  H02N1/008

Abstract: A microelectromechanical (MEM) apparatus (10) is disclosed which has a platform (14) that can be elevated above a substrate (12) and tilted at an arbitrary angle using a plurality of flexible members (16) which support the platform (14) and control its movement. Each flexible member (16) is further controlled by one of more MEM actuators (18) which act to bend the flexible member. The MEM actuators (18) can be electrostatic comb actuators (34) or vertical zip actuators (80) or a combination thereof. The MEM apparatus (10) can include a mirror coating (24) to form a programmable mirror for redirecting or switching one or more light beams (200) for use in a projection display. The MEM apparatus (10) with the mirror coating (24) also has applications for switching light beams between optical fibers for use in a local area fiber optic network, or for use in fiber optic telecommunications or data communications systems.

Abstract translation: 公开了一种微机电（MEM）装置（10），其具有可以使用多个支撑平台（14）的柔性构件（16）在基板（12）上方升高并以任意角度倾斜的平台（14） 并控制其运动。 每个柔性构件（16）由更多的用于弯曲柔性构件的MEM致动器（18）进一步控制。 MEM致动器（18）可以是静电梳状致动器（34）或垂直拉链致动器（80）或其组合。 MEM装置（10）可以包括镜涂层（24），以形成用于重定向或切换用于投影显示器的一个或多个光束（200）的可编程镜。 具有镜面涂层（24）的MEM装置（10）还具有用于在用于局域光纤网络的光纤之间切换光束或用于光纤电信或数据通信系统的应用。

公开(公告)号：WO2014091435A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：PCT/IB2013/060839

申请日：2013-12-12

Applicant: PRIMESENSE LTD.

Inventor： SHPUNT, Alexander

IPC: G02B26/08 ,  B81C99/00

CPC classification number: G01M11/005 ,  B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  B81C1/00015 ,  B81C99/003 ,  G01N27/00 ,  G01R31/026 ,  G02B26/0833 ,  H01L21/306

Abstract: A method for monitoring includes providing a device (64) including a first part (46) and a second part (72) and a movable joint (70) connecting the first part to the second part. An electrical characteristic of a conductive path (80) crossing the movable joint is measured, and a remedial action is initiated in response to detecting a change of the electrical characteristic.

Abstract translation: 一种用于监视的方法包括提供包括第一部分（46）和第二部分（72）的装置（64）和将第一部分连接到第二部分的可移动接头（70）。 测量与可移动接头交叉的导电路径（80）的电特性，并且响应于检测到电特性的变化而启动补救动作。

公开(公告)号：WO2008129988A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：PCT/JP2008/057364

申请日：2008-04-15

Applicant: 日本電信電話株式会社 ,  エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 ,  碓氷 光男 ,  内山 真吾 ,  下川 房男 ,  橋本 悦 ,  山口 城治 ,  松浦 徹 ,  小西 敏文

Inventor： 碓氷 光男 ,  内山 真吾 ,  下川 房男 ,  橋本 悦 ,  山口 城治 ,  松浦 徹 ,  小西 敏文

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841

Abstract: 　ミラー基板（１０８）の枠部（１８１）の内側には、一端が枠部（１８１）に固定された可動梁（１８２ａ）及び可動梁（１８２ｂ）を備えている。可動梁（１８２ａ）及び可動梁（１８２ｂ）は、各々の一端が枠部（１８１）の内側の対向する２つの辺の各々に固定され、上記２つの辺の対向する方向の同じ線上に、所定の距離離間して整列した状態とされている。また、可動梁（１８２ａ）及び可動梁（１８２ｂ）は、各々の他端が、ミラー基板（１０８）の法線方向に変位可能とされ、片持ち梁構造とされている。また、可動梁（１８２ａ）及び可動梁（１８２ｂ）の間には、一対の連結部（１０９ａ，１０９ｂ）により連結されてミラー（１８３）が配置されている。

Abstract translation: 在镜面基板（108）的框架部分（181）的内侧设置有可动梁（182a）和可动梁（182b），每个可动梁（182b）的一端固定在框架部分（181）上。 可移动光束（182a）和可移动光束（182b）中的每一个具有固定到框架部分（181）内的两个相对侧中的每一个的一端，并且光束以规定的间隔布置在同一行上 双方面对面的方向。 此外，可移动光束（182a）和可移动光束（182b）中的每一个具有沿镜面基板（108）的法线方向移位的另一端，并且具有悬臂结构。 通过连接到一对连接部分（109a，109b），在可动光束（182a）和可动光束（182b）之间布置有反射镜（183）。

公开(公告)号：WO0188594A3

公开(公告)日：2003-04-17

申请号：PCT/US0113978

申请日：2001-04-30

Applicant: CALIENT NETWORKS INC

Inventor： MACDONALD NOEL ,  LEE SEUNG BOK

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  G02B6/35

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B3/004 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841

Abstract: A micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device includes a mirror component that is capable of moving upon electrostatic actuation. The MEMS mirror device also includes one or more electrostatic actuators providing electrostatic actuation. The electrostatic actuators having plates disposed approximately perpendicular to the mirror component. The plates are disposed to define a gap between the plates that decreases along a direction perpendicular to a surface of the mirror component.

Abstract translation: 微电子机械系统（MEMS）镜装置包括能够在静电致动时移动的反射镜部件。 MEMS反射镜装置还包括提供静电致动的一个或多个静电致动器。 静电致动器具有大致垂直于镜子部件设置的板。 板被设置成限定沿着垂直于镜部件的表面的方向减小的板之间的间隙。

公开(公告)号：WO1996033437A1

公开(公告)日：1996-10-24

申请号：PCT/US1996001888

申请日：1996-02-13

Applicant: AURA SYSTEMS, INC.

Inventor： AURA SYSTEMS, INC. ,  UM, Gregory

IPC: G02B26/00

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0858

Abstract: A thin film actuated mirror is disclosed having a substrate (16), a deformable structure (12) mounted to the substrate (16), and a mirror surface (17) interconnected to the deformable structure such that the mirror surface tilts in response to the deformation of the deformable material layer. The deformation occurs due to the effective strain gradient across the monomorph thickness which is accomplished by varying the electric field across the thickness or the strain parameter across the thickness. The deformable structure (12) includes an active material layer (18) fabricated from a semi-conductive ferroelectric ceramic material and two metal electrodes, each of the electrodes being mounted on opposing surfaces of the active material layer (18), wherein an electrical signal applied across the active material layer (18) between the electrodes causes deformation of the active material layer (18). Alternatively, the active material layer (18) may be fabricated from two layers, an upper layer (36) of an active piezoelectric material and a lower layer (38) of an inactive material.

Abstract translation: 公开了一种薄膜致动反射镜，其具有基板（16），安装到基板（16）的可变形结构（12）和与可变形结构互连的反射镜表面（17），使得反射镜表面响应于 可变形材料层的变形。 由于通过改变厚度上的电场或整个厚度上的应变参数而实现的单态厚度的有效应变梯度，发生变形。 可变形结构（12）包括由半导体铁电陶瓷材料制成的活性材料层（18）和两个金属电极，每个电极安装在活性材料层（18）的相对表面上，其中电信号 施加在电极之间的活性物质层（18）之间引起活性物质层（18）的变形。 或者，活性物质层（18）可以由两层制成，即活性压电材料的上层（36）和非活性材料的下层（38）。

公开(公告)号：WO1996033434A1

公开(公告)日：1996-10-24

申请号：PCT/US1996001892

申请日：1996-02-13

Applicant: AURA SYSTEMS, INC.

Inventor： AURA SYSTEMS, INC. ,  UM, Gregory

IPC: G02B07/182

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/0858 ,  Y10S359/904

Abstract: A thin film actuated mirror for an actuated mirror array includes a pedestal (14), a piezoelectric structure (12) mounted to the pedestal (14), and a mirror surface (32) interconnected to the piezoelectric structure (12) such that the mirror surface (32) tilts in response to the deformation of the piezoelectric material layer (18). The pedestal (14) includes a first pedestal section (38) and a second pedestal section (40), and the piezoelectric structure (12) is divided into a first portion (42) and a second portion (44). The piezoelectric structure (12) includes a piezoelectric material layer (18) having two opposing surfaces, and two metal electrodes, the electrodes being mounted on opposing surfaces of the piezoelectric material. The piezoelectric structure first portion (42) is mounted to the first pedestal section (38) at a proximal end (28) of the piezoelectric structure (12) and the second portion (44) is mounted to the second pedestal section (40) at a distal end (30) of the piezoelectric structure (12).

Abstract translation: 用于致动反射镜阵列的薄膜致动反射镜包括基座（14），安装到基座（14）的压电结构（12）和与压电结构（12）互连的镜面（32），使得反射镜 表面（32）响应于压电材料层（18）的变形而倾斜。 基座（14）包括第一基座部分（38）和第二基座部分（40），压电结构（12）被分成第一部分（42）和第二部分（44）。 压电结构（12）包括具有两个相对表面的压电材料层（18）和两个金属电极，电极安装在压电材料的相对表面上。 压电结构第一部分（42）在压电结构（12）的近端（28）处安装到第一基座部分（38），并且第二部分（44）安装到第二基座部分（40） 压电结构（12）的远端（30）。

公开(公告)号：WO2015189048A1

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：PCT/EP2015/061955

申请日：2015-05-29

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： STRAUB, Rainer ,  PINTER, Stefan ,  BAADER, Johannes ,  DUELL, Andreas ,  NJIKAM NJIMONZIE, Frederic ,  MUCHOW, Joerg ,  GRUTZECK, Helmut ,  MARK, Stefan

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B3/004 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/042 ,  G02B26/105 ,  H04N9/312

Abstract: Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelanordnung mit einem federnd aufgehängten Spiegel und mit mindestens einer Anschlageinrichtung, welche ausgebildet ist, bei einer Bewegung des Spiegels in einer vorgegebenen Richtung aus dessen Ruheposition heraus, eine Bewegung des Spiegels einzuschränken. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung eine Projektionseinrichtung.

Abstract translation: 本发明公开了一种具有弹性悬挂镜和至少一个止动装置，其被设计，当反射镜的移动在预定方向从它的静止位置，以限制反射镜的移动的微镜阵列。 此外，本发明公开了一种投影装置。

公开(公告)号：WO2011111909A1

公开(公告)日：2011-09-15

申请号：PCT/KR2010/005127

申请日：2010-08-05

Applicant: 주식회사 넥스비보 ,  조영호

Inventor： 조영호

IPC: B04B1/16 ,  B04B5/02

CPC classification number: G01N21/07 ,  B01L3/502746 ,  B01L3/502753 ,  B01L3/502761 ,  B01L2200/0652 ,  B01L2200/0668 ,  B01L2300/0803 ,  B01L2300/0864 ,  B01L2300/123 ,  B01L2400/0409 ,  B01L2400/082 ,  B01L2400/086 ,  B81B3/004 ,  Y10T137/85978

Abstract: 미소입자 처리 장치는 기판 및 적어도 하나의 유로를 포함한다. 상기 기판은 중심 영역을 가지며, 상기 중심 영역에 대하여 회전 가능하다. 상기 유로는 상기 기판에 구비되어 상기 중심 영역으로부터 반경 방향으로 연장하며, 상기 기판의 회전에 의한 원심력을 사용하여 미소입자를 포함하는 유체를 입력 단부로부터 출력 단부로 이송시킨다. 상기 유로의 상기 입력 단부와 상기 출력 단부 사이에 상기 미소입자를 포획하기 위한 가변적 단면 형상들을 갖는 포획 영역이 형성된다.

Abstract translation: 一种细颗粒处理装置，其包括基板和至少一个路径。 衬底具有中心区域并且可以相对于中心区域旋转。 该路径设置在基板上并沿径向从中心区域延伸。 该路径使用由基板的旋转引起的离心力将包括细颗粒的流体从输入端输送到输出端。 在路径的输入端和输出端之间形成收集区域，并且具有用于收集细颗粒的可变截面积形状。