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1.新規含フッ素カルバニオン構造を有する塩及びその誘導体、光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法 审中-公开
Title translation: 含有氟化物的碳纳米管结构的新型盐,其衍生物,光致发电机,光电发生器的耐腐蚀材料和图案形成方法公开(公告)号:WO2009113508A1
公开(公告)日:2009-09-17
申请号:PCT/JP2009/054479
申请日:2009-03-10
Applicant: セントラル硝子株式会社 , 永盛 将士 , 成塚 智 , 井上 進 , 久米 孝司
IPC: C07C317/18 , C07C381/12 , C08F20/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C381/12 , C07C317/18 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F232/08
Abstract: 下記一般式(1)で示される含フッ素カルバニオン構造を有する酸もしくは含フッ素カルバニオン構造を有する塩が提供される。 この酸を発生させる化学増幅レジスト材料用の光酸発生剤を使用することによって、ArFエキシマレーザー光等に対して高感度で、発生する酸(光発生酸)の酸性度が十分高く、かつ、レジスト溶剤に対する高い溶解性及び樹脂に対する優れた相溶性を有する光酸発生剤及び、そのような光酸発生剤を含有するレジスト材料を提供できる。
Abstract translation: 公开了具有含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐,其由通式(1)表示。 通过使用产生酸的化学放大抗蚀剂材料的光致酸产生剂,可以获得对ArF准分子激光等高度敏感的光酸产生剂,并产生具有足够高酸度的酸(光酸)。 光致酸产生剂在抗溶剂溶剂中表现出高溶解性,同时具有优异的与树脂的相容性。 还公开了含有光致酸产生剂的抗蚀剂材料。
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公开(公告)号:WO2009060815A1
公开(公告)日:2009-05-14
申请号:PCT/JP2008/070016
申请日:2008-11-04
Applicant: セントラル硝子株式会社 , 坂井 繁則 , 森中 孝敬 , 南明 勉 , 久米 孝司
IPC: C07C303/08 , C07C309/80
CPC classification number: C07C303/22 , C07C309/80
Abstract: トリフルオロメタンスルホニルクロリド(CF 3 SO 2 Cl)と金属フッ化物を、水の存在下、反応させることにより、トリフルオロメタンスルホニルフルオリド(CF 3 SO 2 F)を製造する方法にあたり、水の量を金属フッ化物100質量%に対し0.6質量%~10.0質量%の範囲で行うことを特徴とする、トリフルオロメタンスルホニルフルオリドの製造方法が開示されている。この製造方法は、従来の製造法に比べ、短工程で、高収率かつ高純度でトリフルオロメタンスルホニルフルオリドを製造できる。
Abstract translation: 一种通过三氟甲磺酰氯(SF 3 SO 2 Cl)与金属氟化物在水存在下反应制备三氟甲磺酰氟(CF 3 SO 2 F)的方法,其特征在于水的量为0.6至10.0质量%,基于金属氟化物(由 取金属氟化物的量为100质量%)。 与常规方法相比,该方法可以通过缩短的方法,以提高的产率和更高的纯度制备三氟甲磺酰氟。
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公开(公告)号:WO2008111418A1
公开(公告)日:2008-09-18
申请号:PCT/JP2008/053767
申请日:2008-03-03
Applicant: セントラル硝子株式会社 , 坂井 繁則 , 森中 孝敬 , 南明 勉 , 久米 孝司
IPC: C07C303/02 , C07C309/80 , C07B61/00
CPC classification number: C07C303/22 , C07C309/80
Abstract: トリフルオロメタンスルホニルクロリド(CF 3 SO 2 Cl)と金属フッ化物を水の存在下、反応させることによりトリフルオロメタンスルホニルフルオリド(CF 3 SO 2 F)を製造する方法において、ハロゲン化4級塩を共存させることを特徴とする、トリフルオロメタンスルホニルフルオリド(CF 3 SO 2 F)の製造方法が開示されている。
Abstract translation: 公开了通过使三氟甲磺酰氯(CF 3 SO 2 SO 2)与三氟甲磺酰氟(CF 3 SO 2 F) SUB)和金属氟化物。 这种三氟甲磺酰氟(CF 3 SO 2 F)的制备方法的特征在于卤化季盐在反应体系中共存。
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公开(公告)号:WO2008075672A1
公开(公告)日:2008-06-26
申请号:PCT/JP2007/074296
申请日:2007-12-18
Applicant: セントラル硝子株式会社 , 南明 勉 , 佐々木 真太朗 , 久米 孝司
IPC: C07C315/00 , C07C211/63 , C07C315/04 , C07C317/04 , C07F1/00 , C07F1/06
CPC classification number: C07C315/00 , C07C315/04 , C07F3/02 , C07C317/04
Abstract: 式[2]で表されるメチルマグネシウムハライドを、式[3]で表されるパーフルオロアルカンスルホニルフロリドと反応させて反応混合物を得る工程(a)と、得られた反応混合物をそのままアルカリ金属ハロゲン化物、4級アンモニウム塩、4級ホスホニウム塩のみからなる群より選ばれる少なくとも1つと反応させる工程(b)を含む、式[1]で表されるトリス(パーフルオロアルカンスルホニル)メチド酸塩の製造方法が提供される。この方法によって、目的のメチド酸塩を容易に、かつ高収率で製造することができる。
Abstract translation: 公开了一种由式[1]表示的三(全氟烷基磺酰基)甲基化物酸盐的制备方法,该方法包括通过使式[2]表示的甲基卤化镁与全氟烷基磺酰基反应获得反应混合物的步骤(a) 由式[3]表示的氟化物和使由此得到的反应混合物与选自碱金属卤化物,季铵盐和季鏻盐中的至少一种化合物直接反应的步骤(b)。 该方法能够容易地以高产率制备所需的甲基化酸盐。
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公开(公告)号:WO2009122834A1
公开(公告)日:2009-10-08
申请号:PCT/JP2009/053816
申请日:2009-03-02
Applicant: セントラル硝子株式会社 , 佐々木 真太朗 , 久米 孝司
IPC: C07C209/74 , C07C211/52
CPC classification number: C07C209/68 , C07C211/52
Abstract: 以下の式で表される4-パーフルオロイソプロピルアニリン類の製造方法が開示されている。 この方法においては、有機溶媒存在下、有機塩基又は「有機塩基とフッ化水素からなる塩または錯体」を共存させて、対応するアミノアリール基含有フルオロアルコール類をフッ化スルフリル(SO 2 F 2 )と反応させる。本発明によれば、副生物の生成を顕著に抑制しつつ、目的物を製造できる。
Abstract translation: 公开了由式(I)表示的4-全氟异丙基苯胺的制造方法。 在有机溶剂的存在下,在有机碱或由有机碱和氟化氢组成的盐或络合物的共存中,使相应的含氨基芳基的氟代醇与硫酰氟(SO 2 F 2)反应。 通过该方法,可以生产目标产品,同时显着抑制副产物的产生。
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