公开(公告)号：WO2004042806A1

公开(公告)日：2004-05-21

申请号：PCT/JP2003/013647

申请日：2003-10-24

Applicant: ソニー株式会社 ,  堀田 慎 ,  月原 浩一 ,  大島 朗文 ,  水沢 卓 ,  阿部 正昭

Inventor： 堀田 慎 ,  月原 浩一 ,  大島 朗文 ,  水沢 卓 ,  阿部 正昭

IPC: H01L21/268

CPC classification number: H01L21/02675 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/08 ,  B23K26/082 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268

Abstract: 　本発明は、レーザアニール装置に用いられる光照射装置であり、制御部（９）を備え、この制御部により回転軸（７ａ）の回転が右回りから左回りに変化した後に回転角が＋βとなった旨を検出して固体レーザ（４）の　パルスをオンとし、続いて回転角が−βとなった旨を検出して固体レーザのパルスをオフとし、回転軸の回転が左回りから右回りに変化した後に回転角が−βとなった旨を検出して固体レーザのパルスをオンとし、続いて回転角が＋βとなった旨を検出して固体レーザのパルスをオフとする。制御部は、さらに、可動ステージ（３）を定速移動方向へ定速移動させ、アニール対象物（２）に対して定速移動方向の一端から他端まで光ビームが照射された後に、可動ステージを、所定距離移動方向へ所定の距離だけ移動させ、被照射物の全面を均一なエネルギーで照射する。

Abstract translation: 一种用于激光退火炉的光照射器，包括用于通过检测旋转轴（7a）旋转后转角变为+β的事实来转动固态激光器（4）的脉冲的控制部分（9） 从顺时针方向变为​​逆时针方向，通过检测旋转角度随后变成-beta的事实来关闭固体激光器的脉冲，通过检测旋转角度为旋转后变为-eta的事实来转动固态激光器的脉冲 旋转轴从逆时针方向转换为顺时针方向，并通过检测旋转角随后变为+β的事实来关闭固体激光器的脉冲。 此外，控制部以一定的速度使可动台（3）以恒定的速度移动方向移动，然后在退火对象（2）被照射之后，在指定的距离移动方向上将可移动台移动指定的距离 从恒定速度移动方向的一端到另一端的光束，从而以均匀的能量照射物体的整个表面。