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公开(公告)号:WO2007055031A1
公开(公告)日:2007-05-18
申请号:PCT/JP2005/020867
申请日:2005-11-14
Applicant: 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社 , 南都 利之 , 原田 秀樹 , 渡部 将弘
CPC classification number: C23C16/042 , H01J9/02 , H01J2211/38
Abstract: 成膜方法は、物体(111)の表面を部分的にマスキングし、表面の露出部分(S1)にCVD装置(300)によって膜を形成する成膜方法であって、マスキングのための部材として、ガス空間に向く側に部分的に表面積が他の領域よりも大きい凹凸面領域(715,716,775)が設けられたマスク(71,71b, 77)を用いる。マスク端縁での材料濃度の上昇が凹凸面領域で原料ガスが適度に消費されることによって減少し、マスク近傍での局部的な膜厚増大が軽減される。
Abstract translation: 一种形成膜的方法,包括使用CVD装置(300)部分地掩蔽物质(111)的表面并在表面的暴露区域(S1)处进行成膜,其中作为掩蔽的构件,使用 由具有不平坦表面区域(715,716,775)的面罩(71,71b,77)制成,部分表面积大于朝向气体空间的一侧的其他区域的部分表面积。 由于在不平坦表面区域适当地消耗原料气体,掩模边缘处的材料浓度的增加被最小化,减少了掩模附近的膜厚度的任何局部增加。
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公开(公告)号:WO2007055030A1
公开(公告)日:2007-05-18
申请号:PCT/JP2005/020866
申请日:2005-11-14
Applicant: 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社 , 南都 利之
Inventor: 南都 利之
CPC classification number: C23C16/042
Abstract: 成膜方法は、物体(111)の表面を部分的にマスキングし、表面の露出部分(S1)に平行平板型のプラズマCVD装置(300)によって膜を形成する成膜方法であって、マスキングのための部材として、プラズマ発生空間に向く側に放電を誘発する突起(715,716,775)が形成された板状のマスク(71,71b,71c,71d,77,77b)を用いる。マスク端縁での異常放電の発生が突起の形成によって減少し、マスク近傍での局部的な膜厚増大が軽減される。
Abstract translation: 一种形成膜的方法,包括使用平行平板型等离子体CVD装置(300)部分地掩蔽物质(111)的表面并在表面的暴露区域(S1)处进行成膜,其中作为 用于掩蔽的部件使用具有能够在侧面朝向等离子体产生空间引起放电的突起(715,716,775)的板状掩模(71,71b,71c,71d,77,77b)。 通过提供投影,在掩模边缘处的异常放电的发生被最小化,减少了掩模附近的膜厚度的任何局部增加。
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公开(公告)号:WO2007125589A1
公开(公告)日:2007-11-08
申请号:PCT/JP2006/308941
申请日:2006-04-28
Applicant: 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社 , 南都 利之
Inventor: 南都 利之
IPC: H01J11/02 , H01J9/02 , C23C16/455 , C23C16/509
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/5096 , H01J9/02 , H01J11/12 , H01J11/38
Abstract: プラズマディスプレイパネルは、複数のセルからなる画面(50)および画面の全域にわたる誘電体層(17)を有し、各セルが、放電ガスの封入された放電空間(31)と、放電空間(31)で放電を生じさせるための一対の電極(X,Y)と、誘電体層(17)の一部であって放電空間(31)と電極(X,Y)との間に介在する誘電体とを含む。誘電体層(17)は、画面の中央部で最も薄く、中央部から画面の周辺部に向かうにつれて徐々に厚くなる厚さ分布をもつ。誘電体層の厚さ分布はセル間の放電遅れのばらつきを顕著にし、放電電流の集中を緩和する。
Abstract translation: 等离子体显示面板设置有由多个单元构成的屏幕(50)和整个屏幕上的介电层(17)。 每个单元包括填充有放电气体的放电空间(31),用于在放电空间(31)中产生放电的一对电极(X,Y)和电介质,即电介质层(17)的一部分 ),布置在放电空间(31)和电极(X,Y)之间。 电介质层(17)具有厚度分布,其在屏幕的中心部分最薄,并且随着从中心部分到达屏幕的周边部分而变厚。 电介质层的厚度分布使得电池之间的放电延迟变化显着,并且改变了放电电流的浓度。
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公开(公告)号:WO2008041279A1
公开(公告)日:2008-04-10
申请号:PCT/JP2006/319471
申请日:2006-09-29
Applicant: 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社 , 川浪 義実 , 堀 伸行 , 南都 利之
IPC: H01J11/02
CPC classification number: H01J11/44 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J2211/363 , H01J2211/442
Abstract: 本PDP(10)は、第1の基板構造体(201)に、ガラス基板(11)上、誘電体層(12)で覆われる光反射性の表示電極(31,32)対を備え、第2の基板構造体(202)に、ガラス基板(21)上、外光反射抑制のアドレス電極(33)、透光性で断面が逆台形形状の隔壁(23)、隔壁(23)間に蛍光体層(24)を備える。第2の基板構造体(202)側が前面(表示面)側になり、フィルム状フィルタ(25)が粘着される。隔壁(23)を通じて蛍光体(24)からの発光を利用する。実質的な発光効率が高く、前面側の強度が高い。
Abstract translation: PDP(10)包括:由具有光反射性的一对显示电极(31,32)形成并由配置在玻璃基板(11)上的电介质层(12)覆盖的第一基板结构(201)。 以及由具有外部光反射抑制特性的寻址电极(33)形成的第二基板结构(202),具有透光性的分隔壁和反转的梯形截面,以及分隔壁之间的荧光层(24) 23)布置在玻璃基板(21)上。 第二基板结构(202)侧是安装有膜状过滤器(25)的前表面(显示面)侧。 通过隔板(23)使用来自荧光层(24)的发光。 基本上发光率高,前表面侧的强度高。
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公开(公告)号:WO2007029295A1
公开(公告)日:2007-03-15
申请号:PCT/JP2005/016130
申请日:2005-09-02
Applicant: 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社 , 原田 秀樹 , 南都 利之
IPC: H01J11/02
Abstract: 誘電体層の厚みを電極の厚みより薄くすることにより、電極間に対向放電現象を発生させ、電極間の放電電圧の低減を図る。 対向して配置され内部に放電空間を有する一対の基板と、一対の基板の一方の基板の内面に、一定の方向に延長されて、所定の厚みで形成され、面放電を発生させることで画面表示を行う複数の電極と、複数の電極を覆う誘電体層とを備えた構成とし、誘電体層を、複数の電極の厚みよりも薄く形成する。
Abstract translation: 通过使电介质层的厚度小于电极的厚度,在电极之间产生相反的放电现象,以减小电极之间的放电电压。 等离子体显示面板包括彼此相对布置并且具有放电空间的一对基板,形成在一个基板的内表面上的多个电极,以沿预定方向以预定厚度延伸,以便 产生平面放电并显示屏幕,以及覆盖多个电极的电介质层。 电层的厚度小于电极的厚度。
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公开(公告)号:WO2002084689A1
公开(公告)日:2002-10-24
申请号:PCT/JP2002/003362
申请日:2002-04-03
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社 , 藤永 昭弘 , 石塚 和徳 , 金江 達利 , 岩崎 和英 , 南都 利之 , 川浪 義実 , 柴田 将之 , 國井 康彦 , 小坂 忠義 , 豊田 治 , 白川 良美
IPC: H01J9/02
CPC classification number: H01J9/242 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J2211/365 , H01J2211/368
Abstract: A partition wall is formed by the steps of preparing a laminar partition wall material covering the display region and outer side of a substrate surface, preparing a patterning mask extending across the display region and outer side, making the portion disposed outside the display region in the mask into a lattice-like pattern, patterning the partition wall material locally covered by the mask by means of sand blast, and firing the patterned partition wall material.
Abstract translation: 通过制备覆盖基板表面的显示区域和外侧的层状分隔壁材料的步骤形成分隔壁,制备在显示区域和外侧延伸的图案化掩模,使得位于显示区域外部的部分位于 掩模成格子状图案,通过喷砂图案化由掩模局部覆盖的分隔壁材料,并点燃图案化的隔壁材料。
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