METHODS FOR FORMING A FIELD EMISSION CATHODE

    公开(公告)号:WO2022106996A1

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:PCT/IB2021/060611

    申请日:2021-11-16

    Inventor: QIAN, Cheng

    Abstract: A method for fabricating an electron field emission cathode, the field emission cathode including a substrate having a field emission material layer engaged therewith, where the field emission material incorporates a carbon nanotube material and a metal oxide. The field emission material is produced via a sol-gel process to improve field emission characteristics of the field emission cathode and field emission cathode devices implementing such cathodes.

    METHODS OF FORMING A FIELD EMISSION CATHODE
    2.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022070094A1

    公开(公告)日:2022-04-07

    申请号:PCT/IB2021/058937

    申请日:2021-09-29

    Inventor: QIAN, Cheng

    Abstract: A method for fabricating an electron field emission cathode, the field emission cathode including a substrate having a field emission layer engaged therewith, where the field emission layer is modified via the deposition of a thin metal film on to the layer of the field emission material after activation of the field emission layer.

    エミッタ、それを用いた電子銃および電子機器

    公开(公告)号:WO2020158297A1

    公开(公告)日:2020-08-06

    申请号:PCT/JP2020/000027

    申请日:2020-01-06

    Abstract: 本発明は、簡便かつ高効率に電子を放出できるエミッタ、それを用いた電子銃および電子機器を提供することを目的とする。 本発明のエミッタは、陰極ホルダと、陰極ホルダに固定された針状物質とを備え、陰極ホルダの針状物質が固定される端部は、陰極ホルダの長手方向である陰極軸に対してなす角α(ただし、α(°)は、5<α≦70を満たす)で屈曲しており、針状物質は、単結晶ナノワイヤまたはナノチューブであり、陰極ホルダの端部の厚さT(μm)と、針状物質が端部からはみ出す長さL(μm)との関係L/Tは、0.3≦L/T≦2.5を満たす。

    荷電粒子源、荷電粒子線装置
    6.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2020115825A1

    公开(公告)日:2020-06-11

    申请号:PCT/JP2018/044634

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 本発明は、高角電流密度条件においても、放出される荷電粒子ビームのエネルギー分散が小さく、小さい光源径であっても安定して大きな荷電粒子電流を得ることができる荷電粒子源を提供することを目的とする。本発明に係る荷電粒子源は、荷電粒子が出射する仮想陰極面が球面形状を有しており、エミッタ先端表面の第1位置から放出される荷電粒子の仮想陰極面と、前記エミッタ先端表面の第2位置から放出される荷電粒子の仮想陰極面とが一致する(図4参照)。

    電子線装置
    10.
    发明申请
    電子線装置 审中-公开
    电子束装置

    公开(公告)号:WO2018070010A1

    公开(公告)日:2018-04-19

    申请号:PCT/JP2016/080357

    申请日:2016-10-13

    Abstract: CFE電子源にCeB 6 を用いて低加速観察する場合であっても、高い空間分解能を安定して得られる電子線装置を提供する。 CFE電子源(929)を備えた電子線装置において、CFE電子源の電子線(931)の放出部はCeの六硼化物、又は、Ceよりも重いランタノイド金属の六硼化物であり、六硼化物は{310}面から電子線を放出し、{310}面のランタノイド金属の原子数は、{310}面の六個の硼素からなる硼素分子数よりも多くする。

    Abstract translation: 本发明提供一种电子束装置,该电子束装置即使在使用CeB6 / 6作为CFE电子源时以低加速度观察时也能够稳定地获得高空间分辨率。 设置有CFE电子源(929),CFE电子源的电子束的发射的电子束装置(931)为Ce的六硼化物,或重镧系除Ce,Roku公司的六硼化物硼 电子从{310}面发射并且{310}面上的镧系元素金属的数量大于由{310}面中的六个硼原子组成的硼分子的数量。

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