公开(公告)号：WO2009087708A1

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：PCT/JP2008/002862

申请日：2008-10-10

Applicant: 日新電機株式会社 ,  出口洋成 ,  東大介 ,  林司 ,  緒方潔

Inventor： 出口洋成 ,  東大介 ,  林司 ,  緒方潔

IPC: H01L31/04 ,  C23C16/24

CPC classification number: H01L31/075 ,  C23C16/24 ,  H01L31/036 ,  H01L31/06 ,  Y02E10/548

Abstract: 光起電力素子（１０）は、ｐ層（３）、ｉ層（４）、ｎ層（５）および電極（６）を透明導電膜（２）が形成された絶縁基板（１）上に順次積層した構造からなる。ｐ層（３）は、ｐ型ａ－Ｓｉ：Ｈからなり、ｎ層（５）は、ｎ型ａ－Ｓｉ：Ｈからなる。ｉ層（４）は、複数の非晶質薄膜（４１）と複数の結晶薄膜（４２）とからなる。そして、複数の非晶質薄膜（４１）および複数の結晶薄膜（４２）は、非晶質薄膜（４１）および結晶薄膜（４２）が相互に接するように絶縁基板（１）に略垂直な方向に積層される。非晶質薄膜（４１）は、ｉ型ａ－Ｓｉ：Ｈからなり、ナノサイズの結晶粒（４１１）と、光を吸収する光吸収剤（４１２）とを含む。結晶薄膜（４２）は、ｉ型ｐｏｌｙ－Ｓｉからなる。そして、ｉ層（４）は、３００ｎｍ～１０００ｎｍの膜厚を有し、非晶質薄膜（４１）および結晶薄膜（４２）の各々は、１０ｎｍ～２０ｎｍの膜厚を有する。

Abstract translation: 提供一种光电动元件（10），其通过在绝缘基板（1）上依次层叠p层（3），i层（4），n层（5）和电极（6） ），其上形成有透明导电膜（2）。 p层（3）由p型a-Si：H制成，n层（5）由n型a-Si：H制成。 i层（4）由多个非晶薄膜（41）和多个晶体薄膜（42）构成。 非晶薄膜（41）和晶体薄膜（42）在与绝缘基板（1）基本垂直的方向上被层叠，使得非晶薄膜（41）和晶体薄膜（42）可以彼此接触 。 无定形薄膜（41）由i型a-Si：H制成，并含有纳米尺寸的晶体颗粒（411）和用于吸收光的光吸收剂（412）。 晶体薄膜（42）由i型多晶硅制成。 i层（4）具有300nm至1000nm的膜厚度，并且非晶薄膜（41）和晶体薄膜（42）分别具有10nm至20nm的膜厚度。