公开(公告)号：WO2006073155A1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：PCT/JP2006/300034

申请日：2006-01-05

Applicant: 日本電気株式会社 ,  宮野 博義

Inventor： 宮野 博義

IPC: G01B11/24 ,  G01N21/956 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/95676 ,  G03F1/84 ,  G06T2207/30148

Abstract: It is possible to realize a highly accurate defect inspection by correcting image acquisition distortion by utilizing only the image information on an observation image and a reference image. The distortion amount is expressed by a distortion building coefficient and a distortion parameter. In optical simulation execution means (21), a reference image is generated from design data. Next, in distortion amount estimation means (22), a distortion parameter is calculated by using the observation image, the reference image obtained by the optical simulation execution means (21), and a preset distortion building coefficient. The distortion parameter is stored in a distortion parameter storage unit (32). Next, distortion image creation means (23)calculates a distortion amount of the observation image from the distortion parameter by using the distortion building coefficient. Furthermore, the distortion image creation means (23) distorts the reference image by the distortion amount. The reference image distorted by the distortion image creation means (23) is supplied to image comparison means (24). Here, the observation image is compared to the reference image supplied from the distortion image creation means (23) and a portion having a large difference is decided to be a defect.

Abstract translation: 通过仅利用观察图像和参考图像上的图像信息来校正图像获取失真，可以实现高精度的缺陷检查。 失真量由失真建立系数和失真参数表示。 在光学仿真执行装置（21）中，从设计数据生成参考图像。 接下来，在失真量估计装置（22）中，通过使用观察图像，由光学模拟执行装置（21）获得的参考图像和预设的失真建立系数来计算失真参数。 失真参数存储在失真参数存储单元（32）中。 接下来，失真图像生成装置（23）通过使用失真建立系数，根据失真参数来计算观察图像的失真量。 此外，失真图像创建装置（23）使参考图像失真失真量。 由失真图像产生装置（23）失真的参考图像被提供给图像比较装置（24）。 这里，将观察图像与从失真图像创建装置（23）提供的参考图像进行比较，并且将具有较大差异的部分判定为缺陷。

公开(公告)号：WO2006049243A1

公开(公告)日：2006-05-11

申请号：PCT/JP2005/020282

申请日：2005-11-04

Applicant: 日本電気株式会社 ,  宮野 博義

Inventor： 宮野 博義

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  G03F1/08 ,  G06T1/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/84 ,  G01N21/95607 ,  G03F1/36

Abstract: 　採取画像と設計データからぼけの経時変化を反映させた参照画像を作成することで推定高精度な欠陥検査を実現することを目的とする。観測画像と設計情報から点広がり関数を推定する点広がり関数推定部２３と、前記設計情報に対して前記点広がり関数を畳み込むことによって畳み込み画像を生成する畳み込み画像生成部３１と、前記畳み込み画像生成部で得られた前記畳み込み画像から参照画像を生成する参照画像生成部３２と、観測画像と参照画像とを比較することによりパターンの欠陥を検出する画像比較部３３とを備える。

Abstract translation: 通过从捕获的图像和设计数据生成已经反映了模糊的老化的参考图像，实现了具有可能的高精度的缺陷测试。 包括用于从观察图像和设计信息估计点扩散函数的点扩散函数估计部分（23） 卷积图像生成部（31），用于通过所述点扩散函数的卷积与所述设计信息生成卷积图像; 参考图像生成部（32），用于从由卷积图像生成部获得的卷积图像生成参照图像; 以及用于将观察到的图像与参考图像进行比较以便检测图案的缺陷的图像比较部分（33）。