公开(公告)号：WO2004051760A1

公开(公告)日：2004-06-17

申请号：PCT/JP2003/015564

申请日：2003-12-04

Applicant: 松下電器産業株式会社 ,  友澤 淳 ,  藤井 覚 ,  藤井 映志 ,  鳥井 秀雄 ,  高山 良一

Inventor： 友澤 淳 ,  藤井 覚 ,  藤井 映志 ,  鳥井 秀雄 ,  高山 良一

IPC: H01L37/02

CPC classification number: G01J5/34 ,  H01L37/025

Abstract: 基板上に、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｍｎ、Ｂａ及びＡｌ並びにこれらの酸化物の群から選ばれた少なくとも１種の添加物を含有する貴金属からなる第１の電極層と、膜厚が０．５～５μｍであり、化学組成が、(Ｐｂ （１−ｙ） Ｌａ ｙ )Ｔｉ （１−ｙ/４） Ｏ ３ 、（０＜ｙ≦０．２）、または、(Ｐｂ （１−ｙ） Ｌａ ｙ )（Ｚｒ ｘ Ｔｉ （１−ｘ） ） （１−ｙ/４） Ｏ ３ 、（０＜ｘ≦０．２または０．５５≦ｘ＜０．８、０＜ｙ≦０．２）、で示されたペロブスカイト型結晶構造の焦電体層と、第２の電極層とをこの順序で形成し、焦電体素子とする。

Abstract translation: 热电装置包括第一电极层，具有钙钛矿晶体结构的热电层和依次形成在基板上的第二电极层。 第一电极层由含有选自Ti，Co，Ni，Mg，Fe，Ca，Sr，Mn，Ba，Al及其氧化物中的至少一种添加剂的贵金属构成。 热电层的厚度为0.5-5μm，其化学组成由下式表示：（Pb（1-y）Lay）Ti（1-y / 4）O 3（其中0

公开(公告)号：WO2003052840A1

公开(公告)日：2003-06-26

申请号：PCT/JP2002/013040

申请日：2002-12-12

Applicant: 松下電器産業株式会社 ,  藤井 映志 ,  鳥井 秀雄 ,  高山 良一 ,  友澤 淳 ,  村田 晶子 ,  平澤 拓

Inventor： 藤井 映志 ,  鳥井 秀雄 ,  高山 良一 ,  友澤 淳 ,  村田 晶子 ,  平澤 拓

IPC: H01L41/08

CPC classification number: H01L41/0815 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/03 ,  G01C19/5607 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/49401

Abstract: A piezoelectric element includes a substrate (11), on which an adhesion layer (12) is provided. On this adhesion layer (12), there is provided a first electrode layer (14) made of a noble metal containing titanium or titanium oxide. On this first electrode layer (14), there is provided an orientation control layer (15) orientated by priority on the plane (100) or plane (001). The orientation control layer (15) has such a surface and its vicinity on the first electrode (14) side that a region of the plane (100) or the plane (001) orientation exists on the titanium or titanium oxide located on the surface of the orientation control layer (15) side of the first electrode layer (14) and the aforementioned region has an area on the cross section vertical to the layer thickness direction becoming greater from the first electrode layer (14) side toward the opposite side. On this orientation control layer (15), there is provided a piezoelectric layer (16) orientated on the (001) plane by priority.

Abstract translation: 压电元件包括​​其上设置有粘合层（12）的基板（11）。 在该粘合层（12）上，设置有由含有钛或氧化钛的贵金属制成的第一电极层（14）。 在该第一电极层（14）上设置有优先在平面（100）或平面（001）上取向的取向控制层（15）。 取向控制层（15）在第一电极（14）侧具有这样的表面及其附近，即在位于表面上的钛或氧化钛上存在平面（100）或平面（001）取向的区域 第一电极层（14）的取向控制层（15）侧和上述区域的垂直于层厚方向的截面的面积从第一电极层（14）侧朝向相反侧变大。 在该取向控制层（15）上，优先设置在（001）面上取向的压电体层（16）。

公开(公告)号：WO2005086248A1

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：PCT/JP2005/002739

申请日：2005-02-21

Applicant: 松下電器産業株式会社 ,  友澤 淳 ,  藤井 映志 ,  鳥井 秀雄

Inventor： 友澤 淳 ,  藤井 映志 ,  鳥井 秀雄

IPC: H01L41/09

CPC classification number: G01C19/5628 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/1425 ,  B41J2002/14258 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316

Abstract: 　圧電体素子は、２つの電極膜と、それらの電極膜に挟まれた、（１１１）面優先配向の２層の圧電体薄膜からなる圧電体積層膜とを備えている。２層の圧電体薄膜は、互いに連続して繋がった柱状粒子の集合体である。第２の圧電体薄膜の柱状粒子の平均断面径が第１の圧電体薄膜の柱状粒子の平均断面径よりも大きい。第２の圧電体薄膜の柱状粒子の平均断面径に対する圧電体積層膜の厚みの比が２０以上６０以下である。

Abstract translation: 一种压电元件，包括两个电极膜和保持在这些电极膜之间并由优先取向（111）面的双层压电薄膜组成的压电层叠膜。 双层压电薄膜形成连续相互连接的柱状颗粒的聚集体。 第二压电薄膜中的柱状粒子的平均截面直径大于第一压电薄膜中的柱状粒子的直径。 第二压电薄膜中的柱状粒子的平均截面直径与压电层压薄膜的厚度之比为20〜60。