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    複合センサ
    1.
    发明申请
    複合センサ 审中-公开
    复合传感器

    公开(公告)号：WO2017033717A1

    公开(公告)日：2017-03-02

    申请号：PCT/JP2016/073237

    申请日：2016-08-08

    Applicant: 株式会社デンソー ,  セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 吉田　直記 ,  井出　次男

    IPC: G01C19/5628 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5621 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  H01L41/113

    CPC classification number: B81B3/00 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  H01L41/113

    Abstract: 複合センサは、回路基板（３００）に対するノイズ遮蔽部として機能する第１シールドパターン（９１）と、第１センサ（１００）に対するノイズ遮蔽部として機能する第２シールドパターン（９２）と、第２センサ（２００）に対するノイズ遮蔽部として機能する第３シールドパターン（９３）とを備える。そして、第１シールドパターン（９１）が第２、第３シールドパターン（９２）、（９３）よりインピーダンスが低くなるようにし、第２シールドパターン（９２）と第３シールドパターン（９３）とを第１シールドパターン（９１）を介して電気的に接続する。これにより、電気的なノイズによって検出精度が低下することを抑制する。

    Abstract translation: 该复合传感器包括：用作电路板（300）的噪声屏蔽单元的第一屏蔽图案（91）。 用作第一传感器（100）的噪声屏蔽单元的第二屏蔽图案（92）; 以及用作第二传感器（200）的噪声屏蔽单元的第三屏蔽图案（93）。 此外，第一屏蔽图案（91）的阻抗被设定为低于第二屏蔽图案（92），第三屏蔽图案（93）和第二屏蔽图案（92）和第三屏蔽图案（93）的阻抗， 经由第一屏蔽图案（91）电连接。 因此，抑制了由电噪声引起的检测精度的降低。

    複合センサ
    2.
    发明申请
    複合センサ 审中-公开
    复合传感器

    公开(公告)号：WO2016113828A1

    公开(公告)日：2016-07-21

    申请号：PCT/JP2015/006468

    申请日：2015-12-25

    Applicant: 株式会社デンソー ,  セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 吉田　直記 ,  青山　孝志 ,  上原　純

    IPC: G01P15/08 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113

    CPC classification number: G01C19/5705 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/1132

    Abstract: 　複合センサは、検出対象に応じた第１センサ信号を出力する第１センサ（１００）と、異なる検出対象に応じた第２センサ信号を出力する第２センサ（２００）と、第１、第２センサと電気的に接続される回路基板（３００）と、第１、第２センサおよび回路基板が配置される一面（３３ａ）を有する被搭載部材（１０）と、を備える。第１、第２センサは、所定の振幅および周波数を有する入力信号が入力されるための入力端子（１６１、２４４ａ）および第１、第２センサ信号を出力するための出力端子（１６２、１６３、２４１ａ～２４３ａ）をそれぞれ有する。第１、第２センサの配列方向に沿った方向であって、第１、第２センサの中心を通る直線を仮想線（Ｋ）としたとき、入力端子が仮想線に対して分割される一方の同じ領域側に位置し、出力端子が仮想線に対して分割される他方の同じ領域側に位置している。

    Abstract translation: 该复合传感器设置有：第一传感器（100），其输出与待检测对象相对应的第一传感器信号; 输出对应于要检测的不同被摄体的第二传感器信号的第二传感器（200） 与第一和第二传感器电连接的电路板（300）; 以及具有一个表面（33a）的安装构件（10），第一和第二传感器和电路板设置在该表面上。 第一传感器和第二传感器分别具有输入端子（161,244a），输入端子（161,243a，243a），输入信号具有预定的幅度和频率，以及用于输出第一和第二传感器信号的输出端子（162,163,241a-243a）。 当设置第一和第二传感器的方向上的直线被设置为虚拟线（K）时，所述直线穿过第一和第二传感器的中心，输入端子被定位在除以 虚拟线路和输出端子位于由虚拟线分割的另一相同区域中。

    角速度センサ
    3.
    发明申请
    角速度センサ 审中-公开
    角速度传感器

    公开(公告)号：WO2003100350A1

    公开(公告)日：2003-12-04

    申请号：PCT/JP2003/006605

    申请日：2003-05-27

    Applicant: 富士通メディアデバイス株式会社 ,  太田 和弘 ,  谷内 雅紀 ,  高橋 克彦

    Inventor： 太田 和弘 ,  谷内 雅紀 ,  高橋 克彦

    IPC: G01C19/56

    CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5628

    Abstract: 　基台１０と、該基台に支持された振動子１２とを有し、該振動子１２は前記基台１０の実装面１１に対し傾斜している。実装面１１に対する前記振動子１２の傾斜角度は調整可能である。このために、振動子１２を保持する保持部材１８を有する。この保持部材は例えば、弾性変形可能なように形成されている。保持部材は例えば、単一の部材を折り曲げ加工したものである。

    Abstract translation: 一种角速度传感器，包括基座（10）和支撑在基座上的振动器（12），其中振动器（12）相对于基座（10）的安装表面（11）倾斜，倾斜 可以通过用于保持振动器（12）的保持构件（18）来调节振动器（12）相对于安装表面（11）的角度，并且保持构件例如形成为可弹性变形， 例如，通过弯曲单个构件。

    角速度センサ
    4.
    发明申请
    角速度センサ 审中-公开
    角速度传感器

    公开(公告)号：WO2015198536A1

    公开(公告)日：2015-12-30

    申请号：PCT/JP2015/002811

    申请日：2015-06-03

    Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社

    Inventor： 石田　貴巳

    IPC: G01C19/5628 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/332

    CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/113 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/332

    Abstract: 　この角速度センサは、基板と、基板上に設けられた下部電極と、下部電極上に設けられた圧電体と、圧電体上に設けられた上部電極とを備える。圧電体は、圧電体の下面に繋がる側面を有する第１の部分と、圧電体の上面に繋がる側面を有してかつ第１の部分の上方に位置する第２の部分とを有する。圧電体の上面と圧電体の第２の部分の側面との間の角度の補角は、圧電体の下面と圧電体の第１の部分の側面との間の角度より小さい。この角速度センサは、圧電体への応力集中を効果的に抑制できる。

    Abstract translation: 该角速度传感器设置有：基板; 设置在所述基板上的下电极; 设置在下电极上的压电体; 以及设置在压电体上的上电极。 压电体具有：具有与压电体的下表面连接的侧面的第一部分; 以及第二部分，其具有连接到压电体的上表面并且位于第一部分上方的侧表面。 压电体的上表面与压电体的第二部分的侧面之间的角度的补角比压电体的下表面与第一部分的压电体的侧表面之间的角度小 压电体。 角速度传感器能够有效地抑制压电体的应力集中。

    水晶振動子の製造方法
    6.
    发明申请
    水晶振動子の製造方法 审中-公开
    QUARTZ振荡器制造方法

    公开(公告)号：WO2010044491A1

    公开(公告)日：2010-04-22

    申请号：PCT/JP2009/068216

    申请日：2009-10-16

    Applicant: シチズンホールディングス株式会社 ,  加藤晶子 ,  柳沢徹

    Inventor： 加藤晶子 ,  柳沢徹

    IPC: H03H3/02 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22

    CPC classification number: H03H9/215 ,  G01C19/5628 ,  H03H9/02023 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/21 ,  H03H2003/026 ,  Y10T29/42

    Abstract: 水晶振動子に余分な外力を加えることなく高精度な微細調整を実現し、且つ、複数の水晶振動子を一括して調整できる水晶振動子の製造方法を提供する。所定の外形形状を形成する第１エッチング工程と、前記外形形状の表面の少なくとも一部に電極を形成する電極形成工程と、前記外形形状の漏れ振動による漏れ量を測定する漏れ量測定工程と、バランスを調整する為に前記漏れ量測定工程の測定結果に基づいた量のエッチングを前記外形形状に対して行う第２のエッチング工程を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。

    Abstract translation: 提供一种石英振荡器的制造方法，可以在不对石英振荡器施加过大的力的情况下实现高精度，微调，并且可以一次调节多个石英振荡器。 石英振荡器的制造方法的特征在于包括形成规定的外部形状的第一蚀刻工序，在外部形状的至少一部分上形成电极的电极形成工序，测量量 由于外部形状的泄漏振动引起的泄漏量，以及第二蚀刻步骤，以基于渗漏量测量步骤的测量结果来蚀刻外部形状，以便调整平衡。

    角速度センサおよびその製造方法
    9.
    发明申请
    角速度センサおよびその製造方法 审中-公开
    角速度传感器及其制造方法

    公开(公告)号：WO2005085757A1

    公开(公告)日：2005-09-15

    申请号：PCT/JP2005/002866

    申请日：2005-02-23

    Applicant: 松下電器産業株式会社 ,  安見 正博 ,  小牧 一樹 ,  村嶋 祐二 ,  中村 友騎 ,  川崎 哲生

    Inventor： 安見 正博 ,  小牧 一樹 ,  村嶋 祐二 ,  中村 友騎 ,  川崎 哲生

    IPC: G01C19/56

    CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5621 ,  Y10T29/42

    Abstract: 　基板は、互いに平行に延びる複数のアーム部と、複数のアーム部のそれぞれに一端を連結する連結部とを有する音叉形状の単結晶シリコンよりなる。角速度センサは、その基板のそれぞれの複数のアーム部上に設けられた酸化シリコンを含むバリア層と、バリア層上に設けられたチタンを含む第１の密着層と、第１の密着層上に設けられた、チタンと酸化チタンのうちの少なくとも１つと白金とを含む第1の電極層と、第１の電極層上に設けられた配向制御層と、配向制御層上に設けられた圧電体層と、圧電体層上に設けられた第２の密着層と、第２の密着層上に設けられた第２の電極層とを備える。その角速度センサは小型で、安定したセンサ特性を有する。

    Abstract translation: 一个板由音叉形单晶硅制成，具有彼此平行延伸的多个臂部分，以及用于将一个边缘与多个臂部分中的每一个连接的连接部分。 角速度传感器设置有阻挡层，其包括设置在板的每个臂部上的氧化硅，设置在阻挡层上并包括钛的第一紧密接触层，设置在第一电极层上的第一电极层 所述第一紧密接触层并且至少包括钛或氧化钛和铂，设置在所述第一电极层上的取向控制层，设置在所述取向控制层上的压电层，设置在所述压电层上的第二紧密接触层，以及 设置在第二紧密接触层上的第二电极层。 角速度传感器小，传感器特性稳定。

    振動子の支持部材
    10.
    发明申请
    振動子の支持部材 审中-公开
    支持振动员

    公开(公告)号：WO2005047820A1

    公开(公告)日：2005-05-26

    申请号：PCT/JP2004/016361

    申请日：2004-10-28

    Applicant: 日本碍子株式会社 ,  石川 誠司 ,  菊池 尊行 ,  林 茂樹

    Inventor： 石川 誠司 ,  菊池 尊行 ,  林 茂樹

    IPC: G01C19/56

    CPC classification number: G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01C19/5783

    Abstract: 　本発明は、振動子を用いる物理量測定装置において、検出信号のゼロ点温度ドリフトを低減できるような振動子の支持構造を提供する。振動子1Ａをボンディングワイヤ２６によって支持する支持部材２２を提供する。支持部材２２は、振動子１Ａの直下に配置されるべき開口２５が形成されている支持板４０、および振動子１Ａに接合固定されるべき接合端部２９、支持板４０に固定された固定部２６ａ、および開口２５下に存在する折曲部２８を備えているボンディングワイヤ２６を備えている。ボンディングワイヤ２６の支持板４０からの突出開始位置３９と折曲部２８との間隔Ｌ１が、折曲部２８と接合端部２９との間隔Ｌ２の１０％以上である。

    Abstract translation: 一种振动器的支撑构件，其能够使用振动器减少物理量测量装置中的检测信号的零点温度漂移，其中支撑构件（22）通过接合线（26）支撑振动器（1A）。 支撑构件（22）包括支撑板（40），其中形成在振动器（1A）正下方的开口（25），并且接合线（26）具有接合端部（29），该接合端部 振动器（1A），固定到支撑板（40）的固定部分（26a）和存在于开口（25）的下侧上的弯曲部分（28）。 来自支撑板（40）的接合线（26）的突出开始位置（39）与弯曲部（28）之间的距离L1为弯曲部（28）与弯曲部（28）之间的距离L2的10％ 接合端部（29）。

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