公开(公告)号：WO2009113682A1

公开(公告)日：2009-09-17

申请号：PCT/JP2009/054933

申请日：2009-03-13

Applicant: 栗田工業株式会社 ,  床嶋裕人 ,  森田博志 ,  亀谷茂二

Inventor： 床嶋裕人 ,  森田博志 ,  亀谷茂二

IPC: B08B3/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: C02F1/68 ,  C02F1/66 ,  C02F1/685 ,  C02F1/727 ,  C02F1/74

Abstract: 　高濃度のガス溶解水を効率よく製造し、ユースポイントに循環供給することができるガス溶解水供給システム。貯留槽１に、ガス（酸素）を溶解させた水で被洗浄物を洗浄した後の排水（洗浄排水）が配管１５を経由して貯留され、また、補給水配管１ａを経由して補給水が供給される。貯留槽１の水は圧送ポンプ２及び水温を一定に保つための熱交換器３を経由して、純化装置４に送られる。純化装置４で異物が除去された水は、流量計５を経て、脱気装置６へ送られる。その後、ガス溶解装置７でガスが溶解され、薬品が添加され、ユースポイントに供給される。

Abstract translation: 提供一种气体溶解的供水系统，其可以有效地产生高密度的气体溶解的水，并且可以将水循环并供应到使用点。 在通过管道（15）清洗被清洗物体后，用含有溶解气体（氧气）的水进行清洗，并将废水保留在废水（或漂洗废水）中。 供水通过供水管道（1a）进料。 储存槽（1）的水通过强制供给泵（2）和用于保持水温恒定的热交换器（3）送入净化装置（4）。 通过净化装置（4）清除异物的水通过流量计（5）送入脱气装置（6）。 之后，通过气体溶解装置（7）将气体溶解，向其使用之后，向其供给化学物质后的水。