公开(公告)号：WO2004095661A1

公开(公告)日：2004-11-04

申请号：PCT/JP2004/005490

申请日：2004-04-16

Applicant: 株式会社小松製作所 ,  ギガフォトン株式会社 ,  若林 理 ,  有我 達也 ,  熊崎 貴仁 ,  笹野 幸太郎

Inventor： 若林 理 ,  有我 達也 ,  熊崎 貴仁 ,  笹野 幸太郎

IPC: H01S3/23

CPC classification number: H01S3/2308 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/083

Abstract: 本発明は、ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒ−レンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステ−ジレ−ザ装置に関するものであり、発振段レ−ザ（５０）と増幅段レ−ザ（６０）とからなる露光用２ステ−ジレ−ザ装置であって、発振段レ−ザ（５０）として発振レ−ザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レ−ザ（６０）は入力側ミラ−（１）と出力側ミラ−（２）とからなるファブリペロ−エタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成している。

Abstract translation: 提供了适用于具有高稳定性，高输出效率和MOPO方法的窄线宽度以及低空间相干性的半导体曝光装置的2级激光装置。 用于曝光的2级激光器件包括振荡级激光器（50）和放大级激光器（60）。 振荡台激光器（50）振荡具有发散的激光束。 放大级激光器（60）包括由输入侧反射镜（1）和输出侧反射镜（2）组成的法布里 - 珀罗标准具共振器，谐振器构成稳定的谐振器。

公开(公告)号：WO2006077759A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：PCT/JP2006/300246

申请日：2006-01-12

Applicant: 株式会社小松製作所 ,  金山 登 ,  笹野 幸太郎 ,  川村 公一

Inventor： 金山 登 ,  笹野 幸太郎 ,  川村 公一

IPC: E02F9/20 ,  E02F9/22 ,  E02F9/26

CPC classification number: E02F9/2225 ,  E02F9/2025 ,  E02F9/2228 ,  E02F9/2235 ,  E02F9/2285 ,  E02F9/2292 ,  E02F9/2296 ,  E02F9/26 ,  Y10S37/902

Abstract: 　異なる動作を行う複数のアクチュエータ（２，６，７）と、この各アクチュエータを駆動させる駆動手段（１０，１１，１２，１４，１５，１６）と、この各駆動手段の動作を指令する複数の操作レバー（２２ａ～２２ｃ）と、この各操作レバーが操作領域終端近傍に達したことをそれぞれ検出する複数のリミットスイッチ（７２ａ～７２ｅ）と、これらリミットスイッチのオン・オフ状態の組み合わせに応じて、優先作業モードであるかを判定するモード判定手段（コントローラ２３）と、このモード判定手段によって優先作業モードであると判定された際、特定の１以上の駆動手段の出力が通常時よりも高くなる、または、他の駆動手段との対比において出力比が高くなるように駆動手段を制御する駆動制御手段（コントローラ２３）とを備える。

Abstract translation: 一种施工机械控制模式切换装置，包括：执行不同操作的多个致动器（2,6,7），用于驱动各个致动器的驱动装置（10,11,12,14,15,16），多个操作杆 用于指示各个驱动装置的操作的多个限位开关（22a至22c），用于检测每个操作杆已经到达操作区域结束附近的多个限位开关（72a至72e），模式判断装置（控制器23） 用于根据限位开关的开/关状态的组合以及当模式判断装置判断模式是优先工作模式时使用的驱动控制装置（控制器23）来判断模式是优先工作模式， 用于控制驱动装置，使得至少一个特定驱动装置的输出变得比通常更高，或者与其他驱动装置相比输出比变高。