公开(公告)号：WO2011152192A1

公开(公告)日：2011-12-08

申请号：PCT/JP2011/061146

申请日：2011-05-16

Applicant: 株式会社村田製作所 ,  小中義宏 ,  丹羽亮介 ,  吉田康一 ,  吉田順一

Inventor： 小中義宏 ,  丹羽亮介 ,  吉田康一 ,  吉田順一

IPC: H01G5/16 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01G5/16 ,  B81B3/0008 ,  B81B2201/0221

Abstract: 　駆動ＤＣ電圧を大きくすることなく、チャージアップによるＭＥＭＳの動作不良を防ぐことができる可変容量素子を提供する。可変容量素子（１）は、梁側容量形成部（３Ａ～３Ｃ）と支持部（３Ｄ）とを備える可動梁（３）、を筐体に収容し、梁側容量形成部（３Ａ～３Ｃ）に対向する下駆動電極（６Ａ～６Ｃ）と上駆動電極（７Ａ～７Ｃ）とを設け、筐体内部空間を減圧雰囲気とし、駆動ＤＣ電圧の印加時に、梁側容量形成部（３Ａ，３Ｂ）を下駆動電極（６Ａ，６Ｂ）または上駆動電極（７Ａ，７Ｂ）に正対する状態とし、梁側容量形成部（３Ｃ）を下駆動電極（６Ｃ）または上駆動電極（７Ｃ）に非正対な状態とし、駆動ＤＣ電圧の印加状態から非印加状態への変化により可動梁（３）の変位が非印加状態での位置を行き過ぎるようにされていることを特徴とする。

Abstract translation: 提供了一种能够在不增加驱动DC电压的情况下防止由充电引起的MEMS操作故障的可变电容元件。 可变电容元件（1）的特征如下：包括光束侧电容形成部分（3A至3C）和支撑部分（3D）的可移动光束（3）容纳在底架中。 下侧驱动电极（6A〜6C）和上部驱动电极（7A〜7C）设置为面对波束侧电容形成部（3A〜3C）。 底盘内的空间设置为减压气氛。 当施加驱动DC电压时，光束侧电容形成部分（3A，3B）直接面对下驱动电极（6A，6B）或上驱动电极（7A，7B），但是束侧电容 形成部分（3C）不直接面对下驱动电极（6C）或上驱动电极（7C）。 从施加驱动直流电压的状态到未施加驱动直流电压的状态的转变使得在不施加驱动直流电压的状态下，可移动光束（3）的位移超过该位置 。

公开(公告)号：WO2012102119A1

公开(公告)日：2012-08-02

申请号：PCT/JP2012/050768

申请日：2012-01-17

Applicant: 株式会社村田製作所 ,  吉田康一 ,  小中義宏 ,  丹羽亮介 ,  吉田順一

Inventor： 吉田康一 ,  小中義宏 ,  丹羽亮介 ,  吉田順一

IPC: H01G5/16

CPC classification number: H01G5/16

Abstract: 　可変容量素子（１）は、可動梁（３１Ａ）と、支持基板（１１）とを備える。可動梁（３１Ａ）は、容量形成部（３４Ａ～３４Ｃ）と、連結部（３３Ａ～３３Ｃ）と、支持部（３２）とを備える。連結部（３３Ａ～３３Ｃ）は、容量形成部（３４Ａ～３４Ｃ）を連結し、容量形成部（３４Ａ～３４Ｃ）よりも薄く形成されている。支持基板（１１）は、表面に支持部（３２）が接続されており、表面に形成されたＲＦ容量電極（１５Ｂ）と、駆動電極（１５Ａ，１５Ｃ）とを備える。容量形成部（３４Ａ～３４Ｃ）は、それぞれ、ＲＦ容量電極（１５Ｂ）と駆動電極（１５Ａ，１５Ｃ）とのいずれかと対向しており、容量形成部（３４Ａ～３４Ｃ）のＲＦ容量電極（１５Ｂ）と駆動電極（１５Ａ，１５Ｃ）とのいずれかと対向している側の面における周縁部には、支持基板（１１）側に突出するストッパ（３５）が設けられている。

Abstract translation: 可变电容元件（1）包括可移动光束（31A）和支撑衬底（11）。 可移动光束（31A）包括电容形成部分（34A至34C），连接部分（33A至33C）和支撑部分（32）。 连接部分（33A至33C）连接电容形成部分（34A至34C），并且比电容形成部分（34A至34C）薄。 支撑部分（32）连接到支撑基板（11）的表面，并且支撑基板（11）包括形成在其表面上的RF电容电极（15B）和驱动电极（15A，15C）。 电容形成部（34A〜34C）分别面对RF电容电极（15B）和驱动电极（15A，15C）中的任一个，并且朝向支撑基板（11）突出的止动件（35）设置在周边 电容形成部（34A〜34C）的面的表面的边缘部分面对RF电容电极（15B）和驱动电极（15A，15C）中的任一个。

公开(公告)号：WO2005027257A1

公开(公告)日：2005-03-24

申请号：PCT/JP2004/009642

申请日：2004-07-07

Applicant: 株式会社村田製作所 ,  吉田康一 ,  小口貴弘 ,  小中義宏

Inventor： 吉田康一 ,  小口貴弘 ,  小中義宏

IPC: H01P1/12

CPC classification number: H01P1/127 ,  H01G5/0136 ,  H01G5/16 ,  H01G5/18 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0072

Abstract: 　可動体を常に一方向に反らせることにより、温度の変化等に対して静電容量を安定的に変化させることができ、信頼性を高めるようにする。 　基板２には、支持部４、支持梁７等を介して可動体６を変位可能に設け、その導体対向面６Ａには絶縁被膜８と可動電極９とを設ける。そして、駆動電極１３により可動体６等を信号遮断位置と信号通過位置との間で変位させ、伝送線路３を伝わる高周波信号を遮断し、または通過させる。この場合、絶縁被膜８は、その圧縮応力により可動体６と可動電極９とを伝送線路３に向けて凸湾曲形状となる方向に反らせると共に、この反りの方向を常に保持する。これにより、可動体６等の反りの方向が温度の高低等によって変化し、可動電極９と伝送線路３との間の静電容量が変動するのを防止でき、スイッチ動作を安定的に行うことができる。

Abstract translation: 可变电容元件通过使一个可动体在一个方向上恒定地翘曲并且可靠性得到提高，其中电容可以相对于温度变化等而稳定地变化。 可移动体（6）可移动地设置在具有支撑部分（4）的基板（2）和支撑梁（7）等之间以及绝缘涂层（8）和可动电极（9）之间 设置在面向导体的表面（6A）上。 可移动体（6）等被信号阻挡位置和信号通过位置之间的驱动电极（13）移位，从而阻塞或通过在传输线（3）上传输的高频信号。 绝缘涂层（8）的压缩应力使得可移动体（6）和可动电极（9）沿着形成朝向传输线（3）的凸起的方向弯曲，并且还恒定地保持翘曲的方向。 这防止了可移动体（6）的翘曲方向由于温度的上升和下降而改变，防止可动电极（9）和传输线（3）之间的电容变化。 结果，可以稳定地进行切换。