公开(公告)号：WO2014107892A1

公开(公告)日：2014-07-17

申请号：PCT/CN2013/070392

申请日：2013-01-11

Applicant: 浙江盾安人工环境股份有限公司 ,  江挺候 ,  张胜昌 ,  邓宁 ,  王喆垚 ,  陈培毅

Inventor： 江挺候 ,  张胜昌 ,  邓宁 ,  王喆垚 ,  陈培毅

IPC: F16K31/02 ,  F16K11/065

CPC classification number: F16K99/0011 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0048 ,  F16K2099/008 ,  H01L41/25 ,  Y10T29/43

Abstract: 一种微阀装置和微阀装置的制造方法，该微阀装置包括：本体，包括第一层（7）和与第一层（7）构成腔室（9）的至少第二层（8），其中，第一层（7）具有与腔室（9）流体相通的至少两个流体端口（4，5，6）；以及对应于预定的流体端口（4，5，6）设置有压电执行器（1，2，3），其中，压电执行器（1，2，3）置于腔室（9）中并且其应变伸缩方向平行于第一层（7），其中，压电执行器（1，2，3）的在应变伸缩方向上的自由端用于遮挡流体端口（4，5，6）以控制流体端口（4，5，6）的开关状态。压电执行器（1，2，3）在应变伸缩方向上的自由端直接遮蔽流体端口（4，5，6），通过控制压电执行器（1，2，3）的应变伸缩，实现了对流体端口（4，5，6）直接控制的目的。