公开(公告)号：WO2014023002A1

公开(公告)日：2014-02-13

申请号：PCT/CN2012/079881

申请日：2012-08-09

Applicant: 浙江盾安人工环境股份有限公司 ,  清华大学 ,  邓宁 ,  王喆垚 ,  陈培毅 ,  张胜昌 ,  江挺侯

Inventor： 邓宁 ,  王喆垚 ,  陈培毅 ,  张胜昌 ,  江挺侯

IPC: F16K31/00 ,  F16K31/02

CPC classification number: F16K99/0034 ,  F16K99/0042 ,  F16K2099/009

Abstract: 一种微阀装置及控制流体流动的方法。微阀装置包括：微阀本体，该微阀本体由多层构成，并且包括第一层（1）以及与第一层（1）结合的第二层（2），第二层（2）具有多个流体端口（7，8，9）；腔体（6），设置在第一层和第二层之间；多个执行器（3，4，5），分别对应每个流体端口设置，其中多个流体端口（7，8，9）的开闭由多个执行器独立地（3，4，5）控制。控制流体流动的方法包括采用多个执行器分别对多个流体端口的开闭独立地控制。

公开(公告)号：WO2014107892A1

公开(公告)日：2014-07-17

申请号：PCT/CN2013/070392

申请日：2013-01-11

Applicant: 浙江盾安人工环境股份有限公司 ,  江挺候 ,  张胜昌 ,  邓宁 ,  王喆垚 ,  陈培毅

Inventor： 江挺候 ,  张胜昌 ,  邓宁 ,  王喆垚 ,  陈培毅

IPC: F16K31/02 ,  F16K11/065

CPC classification number: F16K99/0011 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0048 ,  F16K2099/008 ,  H01L41/25 ,  Y10T29/43

Abstract: 一种微阀装置和微阀装置的制造方法，该微阀装置包括：本体，包括第一层（7）和与第一层（7）构成腔室（9）的至少第二层（8），其中，第一层（7）具有与腔室（9）流体相通的至少两个流体端口（4，5，6）；以及对应于预定的流体端口（4，5，6）设置有压电执行器（1，2，3），其中，压电执行器（1，2，3）置于腔室（9）中并且其应变伸缩方向平行于第一层（7），其中，压电执行器（1，2，3）的在应变伸缩方向上的自由端用于遮挡流体端口（4，5，6）以控制流体端口（4，5，6）的开关状态。压电执行器（1，2，3）在应变伸缩方向上的自由端直接遮蔽流体端口（4，5，6），通过控制压电执行器（1，2，3）的应变伸缩，实现了对流体端口（4，5，6）直接控制的目的。