公开(公告)号：WO2022250261A1

公开(公告)日：2022-12-01

申请号：PCT/KR2022/003754

申请日：2022-03-17

Applicant: 삼성전자 주식회사 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 김성환 ,  이종흔 ,  임겨레 ,  조영규 ,  문영국 ,  박장표 ,  정용원

IPC: G01N33/00 ,  G01N27/12 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 본 개시의 다양한 실시예에 따른, 센서는 기판, 상기 기판 상 또는 내부에 패턴화된 나노섬유를 포함하고, 상기 나노섬유는 산화구리 및 산화철구리를 포함하고, 상기 산화철구리의 외곽에 상기 산화구리가 배치될 수 있다. 본 개시의 다양한 실시예에 따른 나노섬유가 포함된 센서를 제조하는 방법은 금속결정, 폴리머, 용매가 포함된 용액을 주사기를 통해 메탈 콜렉터 상에 배치된 기판에 패턴을 가지도록 나노섬유를 배치하는 공정, 상기 기판에 배치된 상기 나노섬유의 상기 폴리머를 분해시키고 상기 금속결정을 산화시키는 상기 기판을 열처리하는 공정을 포함하고, 상기 주사기와 상기 메탈 콜렉터는 서로 직교하는 3축을 따라 이동가능하고, 상기 금속결정은 구리 및 철을 포함하는 질산염을 포함하고, 열처리된 상기 나노섬유는 산화구리 및 산화철구리를 포함하고, 상기 용액에 포함된 상기 금속결정, 상기 폴리머 및 상기 용매의 질량비는 1:10:50일 수 있다.