광자결정 반도체 레이저 소자 및 그 제작 방법

    公开(公告)号:WO2022197115A1

    公开(公告)日:2022-09-22

    申请号:PCT/KR2022/003738

    申请日:2022-03-17

    Inventor: 전헌수 김명은

    Abstract: 본 발명의 일 실시예는, n형의 제1 기판의 제1 면 상에 형성된 n형 클래드층;상기 n형 클래드층 상에 형성되며 활성층을 포함하는 가이드층; 상기 가이드층 상에 형성된 p형 클래드층; 상기 p형 클래드층 상에 형성된 p형 컨택트층; 상기 p형 컨택트층 상에 형성된 p형 전극층; 및 상기 n형의 제1 기판의 상기 제1 면 또는 상기 제1 면에 대향되는 제2 면의 적어도 일부에 접촉하는 n형 전극층;을 포함하고, 상기 p형 컨택트층, 상기 p형 클래드층, 상기 활성층을 포함하는 가이드층 및 상기 n형 클래드층에는 상기 p형 컨택트층, 상기 p형 클래드층, 상기 활성층을 포함하는 가이드층 및 상기 n형 클래드층을 관통하는 구멍들이 형성되며, 상기 구멍들은 광자결정 패턴을 형성하는, 광자결정 반도체 레이저 소자를 제공한다.

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