公开(公告)号：WO2012039523A1

公开(公告)日：2012-03-29

申请号：PCT/KR2010/006626

申请日：2010-09-29

Applicant: 에스엔유 프리시젼 주식회사 ,  윤형석 ,  남궁성태 ,  김장미 ,  박일준

Inventor： 윤형석 ,  남궁성태 ,  김장미 ,  박일준

IPC: B01D8/00 ,  C23C14/12 ,  H01L51/56

CPC classification number: B01D8/00 ,  B05D1/60 ,  C23C14/12 ,  C23C14/56 ,  H01L51/56

Abstract: 본 발명은 모노머 냉각트랩에 관한 것으로서, 증착 공정 중 발생하는 가스 및 모노머(monomer)를 외부로 배출하는 유로 상에 설치되며, 케이스; 상기 가스 및 모노머가 흡입되는 흡입구; 상기 케이스 내부에 수용되며, 내부에 냉매가 유동할 수 있는 유로가 형성되고, 표면에서 상기 모노머가 부착되며, 상하면을 관통하도록 형성된 관통홀을 구비하는 냉각 플레이트; 및 상기 케이스 내부의 가스가 배기되는 배기구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种单体冷却阱，其安装在将在蒸发过程中产生的气体和单体排放到外部的路径上，其特征在于包括：壳体; 用于吸入气体和单体的吸孔; 容纳在壳体中的冷却板，并且具有形成在内部的路径，使得制冷剂可以流过其中，单体附着的表面和形成为穿透上表面和下表面的通孔; 以及用于从壳体的内部排出气体的排气孔。

公开(公告)号：WO2012039524A1

公开(公告)日：2012-03-29

申请号：PCT/KR2010/006635

申请日：2010-09-29

Applicant: 에스엔유 프리시젼 주식회사 ,  윤형석 ,  남궁성태 ,  이태성 ,  박일준

Inventor： 윤형석 ,  남궁성태 ,  이태성 ,  박일준

IPC: H01L51/56 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  B05D1/60 ,  C23C14/564

Abstract: 기판에 모노머를 증착시키는 과정에서 기판 주변의 부재들에 모노머가 증착되는 것을 최소화할 수 있게 한 모노머 증착장치가 개시된다. 이를 위한, 모노머 증착장치는 기판이 처리되는 처리공간이 형성된 챔버와, 적어도 일부가 상기 챔버 내에 수용되고 상기 기판과 일정거리 이격되도록 배치되어 상기 기판으로 모노머를 배출시키는 증착유닛을 포함하며, 모노머의 배출이 간섭되지 않도록 상기 증착유닛 주변에 인접하게 배치되고, 상기 기판으로부터 일정거리 이격되도록 배치되어 기판에 증착되지 않은 모노머를 냉각하여 응축시키는 냉각 플레이트를 더 포함한다. 이에 따라, 기판에 증착되지 않은 모노머가 냉각 플레이트에 응축되므로, 기판 주변의 부재들에 모노머 증기가 증착되는 것을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 메인터넌스 작업 주기를 연장시킬 수 있으므로, 생산성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제조비용을 절감할 수 있다.

Abstract translation: 提供了一种单体沉积设备，当单体沉积到基底上时，使单体沉积在基底周围的构件上最小化。 为此，单体沉积装置包括限定其中处理基板的处理空间的室和沉积单元，其沉积单元的至少一部分被容纳在室中并且与基板隔开预定距离，以便 以将单体排出到基底上。 单体沉积装置还包括与沉积单元的圆周相邻设置的冷却板，使得不会干扰单体的排出，冷却板与基板间隔预定距离以冷却未沉积的单体 到基板上。 因此，由于未沉积在基板上的单体被冷却板冷却，所以可以将单体蒸气沉积到基板周围的构件上。 因此，由于可以延长定期维护的期间，因此可以提高生产率，并且可以降低制造成本。

公开(公告)号：WO2012039522A1

公开(公告)日：2012-03-29

申请号：PCT/KR2010/006625

申请日：2010-09-29

Applicant: 에스엔유 프리시젼 주식회사 ,  윤형석 ,  남궁성태 ,  이태성 ,  박일준

Inventor： 윤형석 ,  남궁성태 ,  이태성 ,  박일준

IPC: H01L51/56 ,  C23C14/56 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/56 ,  H01L51/56

Abstract: 본 발명은 모노머 증착장치 및 이를 이용하는 모노머 증착장치의 배기방법에 관한 것으로서, 본 발명의 모노머 증착장치는, 기판상에 모노머가 증착되는 메인 챔버; 상기 모노머가 증기 상태로 수용되는 모노머 챔버; 상기 모노머가 상기 모노머 챔버로부터 상기 메인 챔버로 분사되도록 상기 모노머 챔버를 개방시키는 셔터; 상기 모노머 챔버에서 외부로 배출되는 가스로부터 모노머를 회수하는 모노머 회수유닛; 상기 메인 챔버 또는 상기 모노머 회수유닛에 연결되며, 상기 메인 챔버 또는 상기 모노머 챔버 내의 가스를 흡입하는 제1진공펌프; 상기 메인 챔버와 상기 제1진공펌프 사이의 유로를 개방 또는 차단하는 제1밸브; 상기 모노머 회수유닛과 상기 제1진공펌프 사이의 유로를 개방 또는 차단하는 제2밸브;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Abstract translation: 本发明涉及使用其的单体蒸发装置的单体蒸发装置和排气方法。 根据本发明的单体蒸发装置包括：用于蒸发基材上的单体的主室; 用于接收气态单体的单体室; 用于打开单体室的快门，使得单体从单体室注入主室; 用于从从单体室排出到外部的气体回收单体的单体回收单元; 连接到主室或单体回收单元的第一真空泵吸入主室或单体室中的气体; 用于打开或关闭主室和第一真空泵之间的路径的第一阀; 以及用于打开或关闭单体回收单元和第一真空泵之间的路径的第二阀。