公开(公告)号：WO2019066179A1

公开(公告)日：2019-04-04

申请号：PCT/KR2018/004929

申请日：2018-04-27

Applicant: 주식회사 한솔케미칼

Inventor： 박정우 ,  장동학 ,  우경택

IPC: C07F15/04 ,  C23C16/455 ,  C23C16/18 ,  H01L21/02

Abstract: 본 발명은 기상 증착을 통하여 박막 증착이 가능한 기상 증착 화합물에 관한 것으로서, 구체적으로는 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD) 또는 화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD)에 적용가능하고 열적 안정성 및 반응성이 우수한 니켈 및 코발트 전구체 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：WO2018062590A1

公开(公告)日：2018-04-05

申请号：PCT/KR2016/010941

申请日：2016-09-30

Applicant: 주식회사 한솔케미칼

Inventor： 박정우 ,  장동학 ,  김영은

IPC: C07F15/06 ,  C07F15/02 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  C23C16/40

CPC classification number: C07F15/02 ,  C07F15/06 ,  C23C16/18 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455

Abstract: 본 발명은 기상 증착을 통하여 박막 증착이 가능한 유기금속 화합물에 관한 것으로서, 구체적으로는 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD) 또는 화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD)에 적용 가능한 Co 또는 Fe 전구체 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

Abstract translation:

本发明涉及通过气相沉积将有机金属化合物膜沉积可能的，特别是原子层沉积（原子层沉积，ALD）或化学气相沉积法（化学气相沉积法，CVD法） 本发明涉及适用于本发明的Co或Fe前体及其制备方法。