公开(公告)号：WO2018174455A1

公开(公告)日：2018-09-27

申请号：PCT/KR2018/002927

申请日：2018-03-13

Applicant: 한양대학교에리카산학협력단

Inventor： 좌용호 ,  엄누시아 ,  임효령 ,  송요셉

IPC: G01N27/12

Abstract: 다공성의 베이스 기판을 준비하는 단계, 상기 다공성의 베이스 기판 상에 그래핀이 베이스 용매에 분산된 소스 용액을 제공하는 단계, 건조 공정을 통해, 그래핀이 담지된 베이스 기판을 제조하는 단계, 및 상기 그래핀이 담지된 베이스 기판 상에 제1 전극 및 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 가스 센서의 제조 방법이 제공될 수 있다.

公开(公告)号：WO2019045126A1

公开(公告)日：2019-03-07

申请号：PCT/KR2017/009389

申请日：2017-08-28

Applicant: 한양대학교에리카산학협력단

Inventor： 좌용호 ,  임효령 ,  엄누시아

IPC: H01L21/322 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/02 ,  H01L21/322 ,  H01L21/324

Abstract: 박막 게터가 제공된다. 기판, 및 상기 기판 상의 흡수층을 포함하되, 상기 흡수층은, 타겟 가스를 흡수하는 게터재, 및 상기 타겟 가스의 이동 경로를 제공하는 보조재를 포함하되, 상기 게터재는, 상기 보조재에 의해 복수의 게터 영역으로 구분될 수 있다.

公开(公告)号：WO2017191857A1

公开(公告)日：2017-11-09

申请号：PCT/KR2016/004745

申请日：2016-05-04

Applicant: 한양대학교에리카산학협력단

Inventor： 좌용호 ,  엄누시아 ,  임효령

IPC: H01J7/18 ,  B01J20/10 ,  H01L23/26 ,  B01J20/28

Abstract: 수분 수소 흡착 게터가 제공 된다. 상기 수분 수소 흡착 게터는, 오목부 및 볼록부를 갖는 실리콘 기판, 오목부 및 볼록부를 갖는 실리콘 기판상에서 아래로 연장된 복수의 홀, 수분을 흡수하는 실리콘 산화물층, 수소를 흡수하는 수소흡착 패턴, 패시베이션 금속 촉매 입자를 포함할 수 있다.

Abstract translation: 提供了一种水氢吸附吸气剂。 吸湿氢吸气剂包括：具有凹凸部的硅基板;在具有凹凸部的硅基板上向下延伸的多个孔;吸收水分的氧化硅层;吸收氢的氢吸附图案; 金属催化剂颗粒。