Abstract:
본 발명은 세라믹 본체와 상기 세라믹 본체의 내부에 위치하는 내부 전극을 포함하는 소자부와, 상기 세라믹 본체의 양측면을 각각 덮는 측면 전극과 상면 양측의 일부를 각각 덮는 상부 전극 및 하면 양측의 일부를 각각 덮는 하부 전극을 구비하는 제 1 외부 전극 및 제 2 외부 전극을 포함하는 외부 전극부 및 전기 절연성 물질로 형성되며, 상기 상부 전극을 포함하는 영역에 코팅되어 형성되는 나노 박막층을 포함하는 나노 박막층을 구비하는 적층 세라믹 칩 부품과 이의 제조 방법 및 이를 위한 원자층 증착 장치를 개시한다.