公开(公告)号：WO2015059301A1

公开(公告)日：2015-04-30

申请号：PCT/EP2014/072913

申请日：2014-10-24

Applicant: AUXITROL S.A.

Inventor： BRIDA, Sebastiano ,  SEYER, David

IPC: G01L19/14 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L19/04 ,  G01L19/146 ,  G01L19/147

Abstract: L'invention concerne un capteur de pression comprenant : un élément sensible comprenant un substrat support ledit substrat support comprenant une surface supérieure et une surface inférieure, l'élément sensible comprenant en outre une membrane déformable connectée à la surface supérieure du substrat support; un boîtier dans lequel l'élément sensible est disposé, le boîtier comprenant un socle; une structure intermédiaire disposée entre le socle du boîtier et le substrat support, ladite structure intermédiaire comprenant une base, la base comprenant une surface supérieure et une surface inférieure connectée au socle du boîtier, ladite structure intermédiaire étant configurée pour maintenir à une distance prédéterminée le substrat support de la surface supérieure de la structure intermédiaire; une couche d'adhésif s'étendant sur la surface supérieure de la structure intermédiaire ladite couche d'adhésif étant d'épaisseur contrôlée par la distance prédéterminée à laquelle le substrat support est maintenu de la surface supérieure de la structure intermédiaire. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel capteur de pression.

Abstract translation: 本发明涉及一种压力传感器，包括：敏感元件，包括安装基板，所述安装基板包括顶表面和底表面，所述敏感元件还包括连接到所述安装基板的顶表面的可变形隔膜; 其中放置敏感元件的壳体，所述壳体包括底座; 设置在所述壳体的基部和所述安装基板之间的中间结构，所述中间结构包括基部，所述基部包括连接到所述壳体的基部的顶表面和底表面，所述中间结构被配置为 将安装基板保持在与中间结构的顶表面相距预定距离处; 以及延伸到中间结构的顶表面上的粘合剂层。 所述粘合剂层具有由安装基板从中间结构的顶表面保持的预定距离控制的厚度。 本发明还涉及制造这种压力传感器的方法。