Abstract:
Verfahren zur Sanneransteuerung in mindestens einer Scanachse in einem Laser-Scanning-Mikroskop, wobei das Scanfeld in Teilbereiche unterteilt wird, wobei ein von einem Hinscan erzeugtes erstes Bild eines Teilbereiches mit einem von einem Rückscan erzeugten zweiten Bild des Teilbereiches verglichen wird und aus der Abweichung zwischen erstem und zweiten Bild ein Korrekturwert für die Scanneransteuerung bestimmt wird.
Abstract:
Eine Bildverarbeitungseinrichtung, die eine Erfassungsschnittstelle (46) zur Erfassung von Aufnahmebilddaten oder -Signalen und eine Graphikschnittstelle (47) für eine Anzeigeeinrichtung (9) umfaßt, ist so ausgebildet, daß über die Erfassungsschnittstelle (46) und eine damit verbundenen Bilddatenerfassungseinrichtung (7) eine zeitliche Folge von Aufnahmebildern erfaßbar und aus der Aufnahmebildfolge eine zeitliche Folge von Darstellungsbildern (42), vorzugsweise mit einer über den Erfassungszeitraum der Aufnahmebildfolge geringeren Anzahl von Darstellungsbildern (42), erzeugbar ist, wobei jeweils ein Darstellungsbild (42) der Darstellungsbildfolge aus einer diesem zugeordneten Teilfolge von wenigstens zwei bereits erfaßten Aufnahmebildern (41) der Aufnahmebildfolge erzeugt wird, und die Darstellungsbilder (42) über die Graphikschnittstelle (47) an die Anzeigeeinrichtung (9) ausgebbar sind.
Abstract:
Anordnung zur Aufteilung von Detektionslicht in einem Laser-Scanning-Mikroskop, wobei eine spektrale Separierung unterschiedlicher Spektralanteile in transmittierte und ausgeblendete Anteile erfolgt, wobei die Aufteilung durch mindestens einen in einem Winkel ungleich 90 und Null Grad zur optischen Achse verkippten beschichteten Filter erfolgt, wobei der Winkel zur optischen Achse weniger als 20 Grad, vorteilhaft weniger als 10 Grad von der optischen Achse abweicht.
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reduktion der gasbedingten Lichtabsorption beziehungsweise Lichtstreuung und/oder Kontamination bei Einsatz von Licht einer Einsatzwellenlänge unterhalb von 200 nm in optischen Strahlengängen. Dies wird erreicht, indem die im Strahlengang befindlichen Gase zumindest teilweise auf einen unteratmosphärischen Druck evakuiert werden und gleichzeitig oder darauffolgend ein Spülgas in den Strahlengang eingeleitet wird, der trotz dieser Spülgaseinleitung auf einem unteratmosphärischen Druck verbleibt, wobei die Gesamtabsorption in den so behandelten Strahlengang höchstens 50 % aufweist.
Abstract:
Reduktion der gasbedingten Lichtabsorption beziehungsweise Lichtstreuung und/oder Kontamination bei Einsatz von Licht einer Einsatzwellenlänge unterhalb von 200 nm in optischen Strahlengängen. Dies wird erreicht, indem die Strahlengang befindlichen Gase zumindest teilweise auf einen unteratmosphärischen Druck evakuiert werden und gleichzeitig oder darauffolgend ein Spülgas in den Strahlengang eingeleitet wird, der trotz dieser Spülgaseinleitung auf einem unteratmosphärischen Druck verbleibt, wobei die Gesamtabsorption in den so behandelten Strahlengang höchstens 50 % aufweist.