公开(公告)号：WO2018202607A1

公开(公告)日：2018-11-08

申请号：PCT/EP2018/061008

申请日：2018-04-30

Applicant: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH

Inventor： LIEDTKE, Mirko ,  KÜHM, Andreas ,  ROSCHER, Burkhard ,  PRESSER, Nico

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/36 ,  G06F1/10

CPC classification number: G02B21/008 ,  G02B21/002 ,  G02B21/365 ,  G06F1/10

Abstract: Ein Mikroskopsystem umfasst mehrere Mikroskopmodule, welche zur Datenübertragung miteinander verbunden sind. Das Mikroskopsystem ist gekennzeichnet durch einen zentralen Taktgeber, dessen Taktsignal an alle Mikroskopmodule gegeben wird. Die Mikroskopmodule sind dazu eingerichtet, das Taktsignal oder einen hieraus abgeleiteten Takt als internen Takt zu verwenden. Zudem wird ein entsprechendes Verfahren zum Betreiben eines solchen Mikroskopsystems beschrieben.

公开(公告)号：WO2017169335A1

公开(公告)日：2017-10-05

申请号：PCT/JP2017/006666

申请日：2017-02-22

Applicant: SONY CORPORATION

Inventor： KISHIMA, Koichiro ,  KISHIMOTO, Takuya ,  FURUKAWA, Akio ,  MAEDA, Hiroshi

IPC: A61B1/00 ,  A61B1/04 ,  A61B1/06 ,  A61B1/055

CPC classification number: A61B1/042 ,  A61B1/00009 ,  A61B1/00163 ,  A61B1/00172 ,  A61B1/00186 ,  A61B1/043 ,  A61B1/055 ,  A61B1/0669 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0071 ,  A61B5/0084 ,  G02B5/04 ,  G02B5/30 ,  G02B21/002 ,  G02B23/2453 ,  G02B27/1013 ,  G02B27/126

Abstract: A medical imaging system (10) including an optical branching device (101) having a plurality of optical paths for guiding light for imaging a target comprising a biotissue, each of the optical paths corresponding to an optical port connectable to an external device for imaging, wherein at least one path of the plurality of optical paths is configured both to guide the irradiation light to the biotissue and to guide light from the biotissue, and wherein the optical branching device includes a plurality of prisms and at least one joint surface.

Abstract translation: 医疗成像系统（10）包括光学分支设备（101），所述光学分支设备具有多个光路，用于引导用于对包括生物组织的目标进行成像的光，每个光路对应于光学端口 可连接到用于成像的外部装置，其中，所述多个光路中的至少一个路径被配置为既将照射光引导至生物组织，又引导来自生物组织的光，并且其中光分支装置包括多个棱镜并且 至少有一个关节面。

公开(公告)号：WO2017144442A1

公开(公告)日：2017-08-31

申请号：PCT/EP2017/053890

申请日：2017-02-21

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH

Inventor： SCHUMANN, Christian

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/16 ,  G02B21/06

CPC classification number: G02B21/16 ,  G02B21/002 ,  G02B21/06 ,  G02B21/367

Abstract: Beschrieben ist ein Lichtblattmikroskop (10), umfassend eine Beleuchtungsoptik (12) zum Erzeugen eines Lichtblatts in einem Zwischenbildraum (18), eine beidseitig telezentrisch ausgebildete Transportoptik (14) zum Abbilden des in dem Zwischenbildraum (18) erzeugten Lichtblatts in eine Probe und zum Abbilden eines mit dem Lichtblatt beleuchteten Bereichs der Probe als Zwischenbild in den Zwischenbildraum (18), und eine Detektionsoptik (16) zum Abbilden des in dem Zwischenbildraum (18) erzeugten Zwischenbildes auf einen Detektor (30). Die optischen Achsen (O 1 , O 2 , O 3 ) der Beleuchtungsoptik (12), der Transportoptik (14) und der Detektionsoptik (16) schneiden einander in dem Zwischenbildraum (18). In der Transportoptik (14) ist ein Abtastelement (50) angeordnet, durch welches das Lichtblatt in der Probe quer zur optischen Achse (O 2 ) der Transportoptik (14) bewegbar ist.

Abstract translation:

本发明涉及一种光片显微镜（10）包括用于在中间图像空间（18）产生光片的照明光学部件（12），在两侧焦阑形成传输光纤（14），用于在所述中间图像区域成像（18） 样品中和用于产生光片成像的由样品如在中间图像区域（18）的中间影像的光片区域照射，并且用于成像在中间图像的中间图像的区域（18）到检测器（30）产生的检测光学器件（16）。 照明光学部件的光轴（O <子> 1 0 <子> 2 0 <子> 3 ）（12），所述输送光学器件（14）和检测光学系统（16 ）在中间图像空间（18）中相互交叉。 在输送光学器件（14）被布置的感测元件（50），通过该光片在样品垂直于光轴的传输光纤的（O <子> 2 ）（14）是可移动的。

公开(公告)号：WO2016102200A1

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：PCT/EP2015/079331

申请日：2015-12-11

Applicant: KONINKLIJKE PHILIPS N.V.

Inventor： HULSKEN, Bas

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/22 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B21/367 ,  G02B21/002 ,  G02B21/22 ,  G02B21/365 ,  H04N13/218

Abstract: A novel method is disclosed to allow for the simultaneous capture of image data from multiple depths of a volumetric sample. The method allows for the seamless acquisition of a 2D or 3D image, while changing on the fly the acquisition depth in the sample. This method can also be used for auto focusing. Additionally this method of capturing image data from the sample allows for optimal efficiency in terms of speed, and light sensitivity, especially for the herein mentioned purpose of 2D or 3D imaging of samples when using a tilted configuration as depicted in Fig. 2. The method may be particularly used with an imaging sensor comprising a 2D array of pixels in an orthogonal XY coordinate system where gaps for electronic circuitry are present. Also other imaging sensor may be used. Further, an imaging device is presented which automatically carries out the method.

Abstract translation: 公开了一种新颖的方法，以允许从体积样品的多个深度同时捕获图像数据。 该方法允许无缝地采集2D或3D图像，同时随时更改样本中的采集深度。 该方法也可用于自动对焦。 此外，从采样中获取图像数据的这种方法允许在速度和光灵敏度方面获得最佳效率，特别是当使用如图1所示的倾斜配置时，本文提及的样本2D或3D成像的目的。 该方法可以特别用于包括在正交XY坐标系中存在用于电子电路的间隙的像素的2D阵列的成像传感器。 还可以使用其它成像传感器。 此外，呈现自动执行该方法的成像装置。

公开(公告)号：WO2016025505A1

公开(公告)日：2016-02-18

申请号：PCT/US2015/044695

申请日：2015-08-11

Applicant: ZYGO CORPORATION

Inventor： DE GROOT, Peter ,  BEVERAGE, Jake ,  COLONNA DE LEGA, Xavier ,  FAY, Martin F.

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/04 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30

CPC classification number: G01B9/02072 ,  G01B9/0209 ,  G02B21/002

Abstract: Calibrating a scanning interferometry imaging system includes: configuring the scanning interferometry imaging system for operation with an interference objective using light having a narrowband wavelength spectrum; using the scanning interferometry imaging system to direct measurement light and reference light along different paths and to overlap the measurement and reference light on a detector, the measurement and reference light having the narrowband wavelength spectrum; scanning an optical path length difference between the measurement light and the reference light at the detector while acquiring intensity data using the detector, the detector acquiring the intensity data at a frame rate and the scanning being performed at a scan speed; determining information about the scan speed based on the acquired intensity data, geometric information about the scanning interferometry imaging system, and the narrowband wavelength spectrum; and calibrating the scanning interferometry imaging system based on the information about the scan speed.

Abstract translation: 校准扫描干涉测量成像系统包括：使用具有窄带波长频谱的光，配置扫描干涉测量成像系统以用干涉物镜进行操作; 使用扫描干涉测量成像系统沿着不同路径引导测量光和参考光，并且将检测器上的测量和参考光重叠，具有窄带波长谱的测量和参考光; 在使用所述检测器获取强度数据的同时，在检测器处扫描测量光和参考光之间的光程长度差，所述检测器以帧速率获取强度数据，并以扫描速度进行扫描; 基于获取的强度数据，关于扫描干涉测量成像系统的几何信息和窄带波长谱确定关于扫描速度的信息; 并基于关于扫描速度的信息来校准扫描干涉测量成像系统。

公开(公告)号：WO2015181068A1

公开(公告)日：2015-12-03

申请号：PCT/EP2015/061378

申请日：2015-05-22

Applicant: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH ,  CARL ZEISS AG

Inventor： SCHWEDT, Daniel ,  WALD, Matthias ,  ANHUT, Tiemo

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0032 ,  G02B21/002 ,  G02B21/004 ,  G02B21/0052 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008

Abstract: Die Erfindung betrifft ein funktionsintegriertes Laser-Scanning-Mikroskop, ausgebildet zur Abtastung einer Probe mit einer Laserbeleuchtung wahlweise in einem Konfokal-, Linien- oder Weitfeld-Betriebsmodus, umfassend − eine Laserlichtquelle, einen Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang, eine Detektionseinrichtung und mindestens ein Objektiv, jeweils ausgebildet zur Nutzung für jeden wählbaren Betriebsmodus, wobei − der Beleuchtungs- und Detektionsstrahlengang optische Mittel zur Konfiguration der Laserbeleuchtung, mindestens einen Scanner zur Abtastung der Probe mit der Laserbeleuchtung, und einen Strahlteiler zur Trennung von Beleuchtungs- und Detektionslicht aufweist, und − im Detektionsstrahlengang steuerbare optische Elemente zur Änderung der Strahlführung in Abhängigkeit vom jeweils gewählten Betriebsmodus vorgesehen sind. Die steuerbaren optischen Baugruppen sind über eine Befehlseingabeeinrichtung mit einer Steuerschaltung verbunden, die zur Umschaltung auf den jeweils gewünschten Betriebsmodus ausgebildet ist, und es ist Hard- und Software zum Generieren von Bildern der Probe aus den von der Detektionseinrichtung abgegebenen elektronischen Bildsignalen vorhanden.

Abstract translation: 本发明涉及一种适用于扫描的样品用激光照射的功能集成激光扫描显微镜无论是在一个共焦，线或宽视场模式，包括： - 激光源，照明和检测光束路径，检测装置和至少一个透镜， 每个均适于使用用于每个可选择的操作模式， - 具有用于将激光，至少一个扫描器，用于与激光扫描样品，和用于照明和检测光的分离的光束分离器的配置的照明和检测光束路径的光学装置，以及 - 检测光束路径 在所选择的操作模式的依赖被提供以改变光束引导可控光学元件。 所述可控光学部件通过命令输入连接装置包括一个控制电路，其被配置为切换到特定的期望工作模式，并有硬件和软件，以从电子图像信号可用检测装置的输出生成样本的图像。

公开(公告)号：WO2015158861A1

公开(公告)日：2015-10-22

申请号：PCT/EP2015/058328

申请日：2015-04-16

Applicant: CARL ZEISS AG ,  CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH

Inventor： WALD, Matthias ,  BÖHME, Beate ,  SCHWEDT, Daniel ,  ANHUT, Tiemo

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0072 ,  G02B5/10 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0032

Abstract: Lichtrastermikroskope umfassen oft eine Abtastungsoptik (35) zum Erzeugen einer zur Pupillenebene des Mikroskopobjektivs konjugierten Pupillenebene (ΡΕ') und eine variabel einstellbare Strahlablenkeinheit (30) in der konjugierten Pupillenebene, wobei zwischen dem Mikroskopobjektiv und der Abtastungsoptik ein Zwischenbild (Zb1) liegt und die Lichtstrahlen in der konjugierten Pupillenebene kollimiert sind. Solche Abtastungsoptiken sind aufwendig und nicht lichteffizient, da sie unterschiedliche Abbildungsfehler wie Bildfeldwölbung und Farbquerfehler kompensieren müssen. Zudem ist aufgrund des geringen Abstands der konjugierten Pupillenebene von der Abtastungsoptik der für die Ablenkeinheit verfügbare Bauraum klein. Die Erfindung soll den Einsatz einer einfacheren Abtastungsoptik ermöglichen und mehr Bauraum verfügbar machen. Das gelingt dadurch, dass die Abtastungsoptik ein zweites Zwischenbild (Zb2) über die Strahlablenkeinheit in das erste Zwischenbild abbildet, wobei das zweite Zwischenbild räumlich gekrümmt ist. Die Ablenkeinheit ist nicht mehr in einem kollimierten, sondern in einem konvergenten Abschnitt des Strahlengangs angeordnet. Die Abtastungsoptik braucht dann in ihren optischen Eigenschaften und ihrer Güte eher lediglich einem Okular als einem herkömmlichen Abtastobjektiv zu entsprechen. Nichtlineare Mikroskopie.

Abstract translation: 光扫描显微镜通常包括用于与显微镜物镜光瞳平面（ΡΕ“）和在共轭光瞳平面中的可变调节光束偏转单元（30）的光瞳平面中，其中所述显微镜透镜和扫描光学器件之间是中间图像（ZB1）和光束产生的缀合物的扫描光学系统（35） 被准直在共轭光瞳平面。 这样的扫描光学装置是昂贵的并且不光效率，因为它们具有以补偿不同的象差，例如场弯曲和倍率色像差。 此外，由于可用的时的扫描光学系统的偏转单元安装空间的共轭光瞳平面的短距离是小的。 本发明将允许使用简单抽样外观和腾出更多的空间。 这得以实现，所述扫描光学系统的图像的第2中间图像（ZB2）经由光束偏转单元中的第一中间图像，其中，所述第2中间图像在空间上是弯曲英寸 偏转单元没有被布置在准直的，但在光束路径中的会聚部分。 然后，扫描光学系统需要，而只满足一个目镜作为常规扫描透镜在它们的光学特性和他们的好意。 非线性显微镜。

公开(公告)号：WO2015132210A1

公开(公告)日：2015-09-11

申请号：PCT/EP2015/054326

申请日：2015-03-02

Applicant: COHERENT LASERSYSTEMS GMBH & CO. KG

Inventor： VAN DER WILT, Paul

IPC: H01L21/268 ,  G01N21/47 ,  G01N21/84 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67253 ,  C30B1/02 ,  C30B29/06 ,  G01N21/21 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/8422 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8461 ,  G01N2021/8477 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/0697 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/105 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0092 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/268 ,  H01L22/12

Abstract: A method is disclosed evaluating a silicon layer (22) crystallized by irradiation with pulses from an excimer-laser. The crystallization produces periodic features on the crystallized layer dependent on the number of and energy density ED in the pulses to which the layer has been exposed. An area of the layer is illuminated with light (29). A microscope image of the illuminated area is made from light diffracted from the illuminated area by the periodic features. The microscope image includes corresponding periodic features. The ED is determined from a measure of the contrast of the periodic features in the microscope image.

Abstract translation: 公开了评估通过从准分子激光器的脉冲照射而结晶的硅层（22）的方法。 结晶层上产生周期性特征，取决于层暴露于的脉冲中的数量和能量密度ED。 该层的一个区域用光照亮（29）。 照明区域的显微镜图像由通过周期性特征从被照射区域衍射的光制成。 显微镜图像包括相应的周期特征。 ED是从显微镜图像中的周期特征的对比度的量度确定的。

公开(公告)号：WO2015066534A1

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：PCT/US2014/063544

申请日：2014-10-31

Applicant: 3SCAN INC.

Inventor： GOODMAN, Matthew ,  DANIEL, Cody

IPC: G01N1/06

CPC classification number: G02B21/362 ,  B26D5/007 ,  G01N1/06 ,  G01N1/286 ,  G01N21/55 ,  G01N2001/2873 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/06113 ,  G02B21/002 ,  G02B21/32

Abstract: Motion strategies in two and three dimensions for scanning microscope imaging are described. An object, sample, or specimen is mounted on a precision three- dimensional stage. The object is moved concurrently with respect to a first axis and a second axis orthogonal to the first against a cutting tool to cut the object. An image of the cut portion is generated as the object is moved. The cutting tool may act as an optical waveguide for illuminating the portion of the object cut. An optical element captures images of the cut and illuminated object. The object may further be concurrently moved with respect to a third axis orthogonal to both the first and second.

Abstract translation: 描述扫描显微镜成像的二维和三维运动策略。 物体，样品或样品安装在精密三维平台上。 该物体相对于第一轴线和与第一轴线正交的第二轴线相对于切割工具同时移动以切割物体。 当物体移动时，产生切割部分的图像。 切割工具可以用作用于照射被切割部分的光波导。 光学元件捕获切割和照射的物体的图像。 该物体可以进一步相对于与第一和第二两者正交的第三轴同时移动。

公开(公告)号：WO2014192258A1

公开(公告)日：2014-12-04

申请号：PCT/JP2014/002675

申请日：2014-05-21

Applicant: CANON KABUSHIKI KAISHA

Inventor： KYOGAKU, Masafumi

IPC: G01N21/27 ,  G01N21/65

CPC classification number: G01J3/4412 ,  G01J3/06 ,  G01N21/3151 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/653 ,  G02B21/002

Abstract: A spectral microscopy device includes a spectral detecting unit including a light source that is capable of controlling an output wavelength, a microscope section that is provided with an observation area that is illuminated with light output from the light source, and a signal detector that detects light from the observation area as spectral data; a moving unit configured to move the observation area; and a controller that performs a control operation to allow the spectral detecting unit and the moving unit to move in response to each other. The spectral microscopy device is controlled so that switching between different measurement conditions is performed at an observation area movement time in which the observation area is moved by the moving unit and measurement is performed and at an observation area movement stoppage time in which the observation area is fixed and measurement is performed.

Abstract translation: 光谱显微镜装置包括：光谱检测单元，其包括能够控制输出波长的光源;显微镜部分，其设置有从光源输出的光照射的观察区域;以及信号检测器，其检测光 从观测区作为光谱数据; 移动单元，被配置为移动所述观察区域; 以及控制器，其执行控制操作以允许所述光谱检测单元和所述移动单元彼此响应地移动。 控制光谱显微镜装置，使得在观察区域移动时间，在观察区域移动时通过移动单元进行测量并且在观察区域移动停止时间内进行不同测量条件之间的切换，其中观察区域是观察区域 进行固定和测量。