公开(公告)号：WO2017032868A1

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：PCT/EP2016/070163

申请日：2016-08-26

Applicant: CERAMTEC GMBH

Inventor： SCHREINER, Hans-Jürgen ,  EINHELLINGER-MÜLLER, Tanja ,  SCHMIDT, Tobias ,  MOOS, Ralf ,  SCHUBERT, Michael ,  BINDIG, Reiner

IPC: H01L41/053 ,  H01L41/23

CPC classification number: H01L41/0533 ,  H01L41/083 ,  H01L41/23

Abstract: Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein piezokeramischer Vielschichtaktor mit einer feuchtigkeitsbeständigen Schutzschicht und ein Verfahren zu dessen Herstellung.

Abstract translation: 本发明是一个压电陶瓷致动器的多层用耐湿保护层及其制造方法。

公开(公告)号：WO2017036945A1

公开(公告)日：2017-03-09

申请号：PCT/EP2016/070162

申请日：2016-08-26

Applicant: CERAMTEC GMBH

Inventor： SCHREINER, Hans-Jürgen ,  EINHELLINGER-MÜLLER, Tanja ,  SCHMIDT, Tobias ,  MOOS, Ralf ,  SCHUBERT, Michael

IPC: H01L41/314

CPC classification number: H01L41/314 ,  C23C24/04 ,  C23C28/32 ,  C23C28/345

Abstract: Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine Schicht mit piezoelektrischen Eigenschaften sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Schicht mit piezoelektrischen Eigenschaften, insbesondere über ein Aerosolabscheideverfahren (ADM-Prozess (Aerosol Deposition Method).

Abstract translation: 本发明是具有压电特性的层，以及用于制造具有压电特性的层经由Aerosolabscheideverfahren ADM处理（）的方法（尤其是气溶胶沉积法。