公开(公告)号：WO2012010139A2

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：PCT/DE2011/001385

申请日：2011-06-10

Applicant: HESSE & KNIPPS GMBH ,  WALTHER, Frank ,  JOCHHEIM, Andreas

Inventor： WALTHER, Frank ,  JOCHHEIM, Andreas

IPC: H01L21/60

CPC classification number: H01L21/67132 ,  B23Q1/44 ,  B23Q1/5462 ,  B23Q1/621 ,  H01L21/67138 ,  H01L21/67144 ,  H01L2224/78 ,  H01L2224/8512

Abstract: Es wird eine Präzisionswerkzeugmaschine, insbesondere für die Halbleiterindustrie, beschrieben, bei der es sich beispielsweise um einen Drahtbonder, Die-Bonder, Bestückungsautomat oder Dispenser handeln kann. Die Maschine weist ein speziell ausgebildetes Antriebssystem auf, das eine aus einer xy-Parallelkinematik und einer Portalkinematik kombinierte Antriebseinheit umfasst. Mit diesem Antriebssystem lässt sich bei besonders wenig bewegten Massen eine besonders hohe Positioniergenauigkeit bei einem gleichzeitig großen Verfahrbereich und hoher Dynamik erzielen.

Abstract translation: 它是一种精密机床，特别是用于半导体工业中，所描述的，其可以是焊线机，模粘合机，装配机或分配器，例如。 该机具有专门设计的驱动系统，包括一个从XY组合并行运动学和门户驱动单元的运动学。 有了这个驱动系统提供了在同一时间很少运动群众在大运行范围特别高的定位精度可以达到和高动态。